微机电光学开关及其制造方法技术

技术编号:3388903 阅读:167 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
提供了具有改善特性的一种基于MEMS的光学开关(100),以及用于制造该光学开关的方法。根据一个实施例,光学开关包括具有偏移梁结构(124)的单梳(122)驱动致动器(104)和与致动器耦合的镜(102)。镜能在插入在所述波导通道(106)间的伸展位置和远离所述波导通道的收缩位置之间移动。致动器施加力就能将梁结构偏移并将镜向伸展位置或收缩位置之一移动,并且在不施加力时,梁结构将镜返回到伸展位置或收缩位置中的另一位置。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种在基片上形成镜面的方法,其特征在于,所述方法包括下列步骤: 在所述基片上形成已形成图案的掩膜层,所述掩膜层覆盖了基片的第一区域以及基片的两侧区域,所述两侧区域的每一侧都邻近所述第一区域的一侧; 使用所述已形成图案的掩膜层将基片的未覆盖部分去除,以在所述第一基片区域中留下第一凸起结构,并在邻近所述第一凸起结构的每侧基片区域上留下两个防蚀凸起结构; 当留下完整的所述第一凸起结构时,选择性地去除防蚀凸起结构;和 在所述第一凸起结构的侧壁上形成反射面。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:N张
申请(专利权)人:ADC电信股份公司
类型:发明
国别省市:US[美国]

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