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提供了具有改善特性的一种基于ＭＥＭＳ的光学开关（１００），以及用于制造该光学开关的方法。根据一个实施例，光学开关包括具有偏移梁结构（１２４）的单梳（１２２）驱动致动器（１０４）和与致动器耦合的镜（１０２）。镜能在插入在所述波导通道（１０６）...
该专利属于ADC电信股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过ADC电信股份公司授权不得商用。

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