一种用于晶片取放的泵吸装置与系统制造方法及图纸

本申请提供了一种用于晶片取放的泵吸装置与系统，所述装置包括：真空泵、连接管、出管、防倒吸装置、进管和真空吸笔；所述真空泵的一端通过所述连接管连接所述出管的尾部，所述真空泵的另一端与电源连接；所述防倒吸装置为密封的杯型容器；所述出管和所述进管的管口分别插入所述防倒吸装置内；所述进管的尾部通过所述连接管与所述真空吸笔连接。本申请通过设置真空吸盘吸取晶片的背面，解决了用镊子夹取晶片边缘，造成晶片边缘不键合、边缘卡痕以及边沿凸起的问题，并且还设置有防倒吸装置，可以有效防止真空吸笔在吸取晶片时，将水倒吸至真空泵中，对真空泵起到保护作用。对真空泵起到保护作用。对真空泵起到保护作用。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶片取放的泵吸装置与系统


[0001]本技术涉及晶片取出
，尤其涉及一种用于晶片取放的泵吸装置与系统。

技术介绍

[0002]在晶片制造工业中，最注重的就是产品良率的改进。晶片的好坏直接影响生产效率，在生产、取用的过程当中，如何尽量减少晶片的损耗，是晶片生产厂最关注的问题。
[0003]晶片在键合工艺之前，需要进行抛光和清洗等工艺步骤，清洗后的晶片置于清洗的水溶液中，现有技术中多数取用晶片是通过镊子进行夹取的方式，存在的弊端是镊子在夹取的过程中，虽然只是接触晶片边沿几毫米的位置，但是也会在边缘的接触面出现不键合，卡痕或者凸起等缺陷问题。
[0004]为了避免镊子在夹取过程中，晶片出现卡痕或凸起的情况，可以使用真空吸笔的方式取出晶片，而真空吸笔在取片过程中，由于晶片置于水溶液中，可能会导致水溶液倒流进真空泵。

技术实现思路

[0005]本申请提供了一种用于晶片取放的泵吸装置与系统，以解决现有技术中晶片边缘出现不键合，边缘卡痕或者边缘凸起的问题。本申请通过采用真空吸笔上的真空吸盘吸取晶片的方式，减少晶片在取出过程由于手抖或其他因素导致相邻晶片发生碰撞的情况, 从而提高晶片的完整性和产品良率。并且还设置有防倒吸装置，可以有效防止真空吸笔在吸取晶片时，将水倒吸至真空泵中，对真空泵起到保护作用。
[0006]本技术通过以下技术方案来实现：
[0007]第一方面，本申请提供了一种用于晶片取放的泵吸装置，包括：真空泵、连接管、出管、防倒吸装置、进管和真空吸笔；
[0008]所述真空泵的一端通过所述连接管连接所述出管的尾部，所述真空泵的另一端与电源连接；
[0009]所述防倒吸装置为密封的杯型容器；所述出管和所述进管的管口分别插入所述防倒吸装置内；所述进管的尾部通过所述连接管与所述真空吸笔连接。
[0010]进一步地，所述真空吸笔还包括真空吸盘，所述真空吸盘与所述真空吸笔的笔尖连接。
[0011]进一步地，所述防倒吸装置底部设置有液体排出口。
[0012]进一步地，所述防倒吸装置为设有密封塞的密封容器，密封塞上设置有两个孔位用于插入所述出管和所述进管。
[0013]进一步地，所述出管与所述进管平行设置。
[0014]第二方面，本申请还提供了一种用于晶片取放系统，包括如上任意一项所述的用于晶片取放的泵吸装置和晶片存放器，所述晶片存放器中设置有若干个晶片放置槽。
[0015]进一步地，所述晶片放置槽呈倾斜状或垂直状。
[0016]进一步地，所述晶片放置槽的倾斜角度在5
°
至30
°
之间。
[0017]本申请提供了一种用于晶片取放的泵吸装置与系统，所述装置包括：真空泵、连接管、出管、防倒吸装置、进管和真空吸笔；所述真空泵的一端通过所述连接管连接所述出管的尾部，所述真空泵的另一端与电源连接；所述防倒吸装置为密封的杯型容器；所述出管和所述进管的管口分别插入所述防倒吸装置内；所述进管的尾部通过所述连接管与所述真空吸笔连接。本申请通过设置真空吸盘吸取晶片的背面，解决了用镊子夹取晶片边缘，造成晶片边缘不键合、边缘卡痕以及边沿凸起的问题，并且还设置有防倒吸装置，可以有效防止真空吸笔在吸取晶片时，将水倒吸至真空泵中，对真空泵起到保护作用。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本申请的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为本申请提供的一种用于晶片取放的泵吸装置的结构示意图；
[0020]图2为本申请提供的一种用于晶片取放装置与系统中晶片存放容器的结构示意图；
[0021]图3为本申请提供的一种用于晶片取放装置与系统中真空吸笔的部分结构示意图。
[0022]图示说明：
[0023]其中：1
‑
真空泵；2
‑
连接管；3
‑
出管；4
‑
防倒吸装置；5
‑
进管；6
‑
真空吸笔；61
‑ꢀ
真空吸盘；7
‑
晶片存放容器；8
‑
晶片放置槽；9
‑
晶片；91
‑
晶片背面；92
‑
键合工艺面； 10
‑
水面。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]正如
技术介绍
所描述的，现有技术多数取用晶片是通过镊子进行夹取的方式，存在的弊端是镊子在夹取的过程中，虽然只是接触晶片边沿几毫米的位置，但是也会在边缘的接触面出现不键合，卡痕或者凸起等缺陷问题。为了避免镊子在夹取过程中，晶片出现卡痕或凸起的情况，可以使用真空吸笔的方式取出晶片，而真空吸笔在取片过程中，由于晶片置于水溶液中，可能会导致水溶液倒流进真空泵。因此，本申请提供一种用于晶片取放的泵吸装置与系统，通过设置真空吸盘吸取晶片的背面，解决了用镊子夹取晶片边缘，造成晶片边缘不键合、边缘卡痕以及边沿凸起的问题，并且还设置有防倒吸装置，可以有效防止真空吸笔在吸取晶片时，将水倒吸至真空泵中，对真空泵起到保护作用。下面对本申请技术方案进行详细说明：
[0026]参见图1，本申请提供了一种用于晶片取放的泵吸装置的结构示意图；
[0027]由图1可知，为本申请提供的一种用于晶片取放的泵吸装置，所述装置包括：真空
泵1、连接管2、出管3、防倒吸装置4、进管5和真空吸笔6；
[0028]所述真空泵1的一端通过所述连接管2连接所述出管3的尾部，所述真空泵1的另一端与电源连接；具体的，所述真空泵1通过变压器与电源连接，对设备起到保护作用。
[0029]所述防倒吸装置4为密封的杯型容器，密封的作用是为了有利于真空泵1吸取气体产生吸力。可选的，所述防倒吸装置4为设有密封塞的密封容器，密封塞上设置有两个孔位用于插入所述出管3和所述进管5，保证密封容器的密封性。
[0030]防倒吸装置4的另一个作用是用于盛装真空吸笔6在吸取晶片9时倒吸的水。这样被倒吸的水经过进管5进入防倒吸装置4中，这样就不会倒吸至真空泵1中，可以有效保护真空泵1，不会造成真空泵1的损坏。
[0031]所述防倒吸装置4底部设置有液体排出口，当防倒吸装置4内的水过多时，可以通过液体排出口将水排出，操作起来比较简单方便，有利于晶片9吸取过程的连贯性，不会出现由于防倒吸装置4中水溢满而中断的情况。
[0032]所述出管3和所述进管5的管口分别插入所述防倒吸装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶片取放的泵吸装置，其特征在于，所述装置包括：真空泵(1)、连接管(2)、出管(3)、防倒吸装置(4)、进管(5)和真空吸笔(6)；所述真空泵(1)的一端通过所述连接管(2)连接所述出管(3)的尾部，所述真空泵(1)的另一端与电源连接；所述防倒吸装置(4)为密封的杯型容器；所述出管(3)和所述进管(5)的管口分别插入所述防倒吸装置(4)内；所述进管(5)的尾部通过所述连接管(2)与所述真空吸笔(6)连接。2.根据权利要求1所述的一种用于晶片取放的泵吸装置，其特征在于，所述真空吸笔(6)还包括真空吸盘(61)，所述真空吸盘(61)与所述真空吸笔(6)的笔尖连接。3.根据权利要求1所述的一种用于晶片取放的泵吸装置，其特征在于，所述防倒吸装置(4)底部设置有液体排出口。4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：连坤，王金翠，刘桂银，张秀全，孙丙瑞，王有贵，李道玉，
申请(专利权)人：济南晶正电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：