【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体，尤其涉及一种波导及其制备方法。
技术介绍
1、波导是一种用来定向引导电磁波的介质装置。例如，它可以将光束限制在一个特定的区域内，使光能够沿着特定的路径传输。铌酸锂和钽酸锂材料是两种常见的波导材料，二者因具有优异的电光和非线性光学性能的光学材料，被广泛应用于光学器件领域。示例性的，铌酸锂薄膜波导是一种利用铌酸锂薄膜制作的光波导器件，其可以限制和传导光波，实现光信号的传输和控制。
2、在波导的制备过程中，首先需要将两个薄膜键合在一起，然后再对键合体进行退火处理，最后再对处理所得的功能层刻蚀。
3、然而，现有的波导制备过程复杂，耗时较长且制备所得波导的质量差。
技术实现思路
1、本申请实施例提供了一种波导及其制备方法，用以解决现有的波导制备过程复杂，耗时较长且制备所得波导的质量差的问题。
2、第一方面，本申请实施例提供了一种波导制备方法，包括：
3、制备薄膜，薄膜至少包括功能层；
4、对功能层进行刻蚀处理，得到中间体；
5、在本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种波导制备方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的波导制备方法，其特征在于，所述在所述中间体的两侧设置金属电极包括：沿所述中间体的延伸方向，在所述中间体的两侧分别设置大于或等于所述中间体长度的金属电极。
3.根据权利要求1所述的波导制备方法，其特征在于，利用金属剥离工艺在所述中间体的两侧制备金属电极。
4.根据权利要求3所述的波导制备方法，其特征在于，所述金属电极的材质可为铜、金、钛、铂、钼、钌、铬、铝或锡中的至少一者。
5.根据权利要求1-4任一所述的波导制备方法，其特征在于，所述波导制备方法还包括：<...
【技术特征摘要】
1.一种波导制备方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的波导制备方法，其特征在于，所述在所述中间体的两侧设置金属电极包括：沿所述中间体的延伸方向，在所述中间体的两侧分别设置大于或等于所述中间体长度的金属电极。
3.根据权利要求1所述的波导制备方法，其特征在于，利用金属剥离工艺在所述中间体的两侧制备金属电极。
4.根据权利要求3所述的波导制备方法，其特征在于，所述金属电极的材质可为铜、金、钛、铂、钼、钌、铬、铝或锡中的至少一者。
5.根据权利要求1-4任一所述的波导制备方法，其特征在于，所述波导制备方法还包括：
6.根据权利要求1-4任一所述的波...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘桂银，张秀全，杨超，刘亚明，
申请(专利权)人：济南晶正电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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