连接器装配件、系统和光刻设备技术方案

本发明专利技术涉及一种连接器布置(200)，其包括：第一连接器元件(202)；第二连接器元件(204)，其能够与第一连接器元件(202)在插入方向(E)上插接在一起以便形成电连接；支撑元件(210)，其支撑第一连接器元件(202)；以及接受器(218)，其中容纳支撑元件(210)以垂直于插入方向(E)可移动，以便当将第一和第二连接器元件(202、204)插接在一起时产生容差补偿。支撑元件(210)是电路板。件(210)是电路板。件(210)是电路板。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】连接器装配件、系统和光刻设备
[0001]本专利技术涉及连接器布置、系统以及具有这样的连接器布置和/或这样的系统的光刻设备。
[0002]通过引用将于2019年9月16日提交的优先权申请DE 10 2019 214 050.5的内容全部并入本文。
[0003]微光刻用于制造微结构部件，例如集成电路。使用具有照明系统和投射系统的光刻设备执行微光刻工艺。通过照明系统照明的掩模(掩模母版)的像，在这种情况下，通过投射系统投射至涂覆有感光层(光刻胶)且布置在投射系统的像平面中的基板(例如硅晶片)上，以便将掩模结构转印至基板的感光涂层。
[0004]光刻设备可以包括多个致动器和传感器，它们作为装配件与光刻设备的其他装配件电接触。由于设置空间有限，使用例如用手接触的电缆可能会很困难。此外，由于制造容差，难以将配备在印刷电路板上的多个连接器与配备在另一印刷电路板上的对应配对连接器相连接。
[0005]为了将光刻设备的两个装配件彼此电连接，已知使用带来容差补偿的连接器。在这方面，存在包括弹簧接触销并在插入方向上实现容差补偿的连接器。此外，已知的插口通过弹簧元件安装并且垂直于插入方向产生容差补偿。插口通过弹簧元件支撑在印刷电路板上。
[0006]针对该背景，本专利技术的目的是提供改进的连接器布置。
[0007]因此，提出了一种连接器布置，特别是用于光刻设备的连接器布置。连接器布置包括：第一连接器元件；第二连接器元件，第二连接器元件可以在插入方向上与第一连接器元件插接在一起以形成电连接；携载第一连接器元件的携载元件；以及接受器，携载元件被容纳其中以垂直于插入方向可移动，以便在将第一和第二连接器元件插接在一起时产生容差补偿。
[0008]因此，连接器元件不一定必须引起垂直于插入方向的容差补偿，因为携载元件在接受器中产生容差补偿。此外，还有可以使用较不复杂的连接器元件的优点。以这种方式可以提供容差补偿连接器的替代例。此外，还有以下优点：可以通过可移动的携载元件产生更大的容差补偿，因为在容差补偿连接器的情况下在这方面设定了更窄的界限。
[0009]可移动性特别通过浮置支撑来实现。第一连接器元件优选地是连接器并且第二连接器元件优选地是相关联的配对连接器。这形成连接器对。携载元件配备为在垂直于插入方向延伸的第一移动方向上可移动。携载元件优选地具有二维形式并且具有1.5和4mm、特别是2和3mm之间的厚度。
[0010]特别是，第一连接器元件通过物质接合的连接、特别是通过粘合接合，或者通过形状适配的连接、特别是通过插入式连接来固定连接到携载元件。优选地，携载元件配备为在第二移动方向上可移动，该第二移动方向垂直于插入方向并且垂直于第一移动方向延伸。容纳在携载元件中意味着接受器在空间上至少部分地包围携载元件。接受器包围比携载元件更大的腔，以在其中容纳携载元件。携载元件和接受器配备为在第一移动方向上产生0.1
‑
10mm之间的容差补偿。此外，形成通向腔的开口。从开口观看，腔包括至少一个切口。连
接器布置优选地包括2、3或4个携载元件，这些携载元件被容纳在接受器中，以便垂直于插入方向可移动。
[0011]根据一个实施例，携载元件是印刷电路板。
[0012]印刷电路板可以被称为PCB并且包括导体轨道。优选地，印刷电路板还包括纤维增强塑料(FRP)，其形成用于导体轨道的支撑结构。特别地，印刷电路板可以包括陶瓷或形成为陶瓷印刷电路板。印刷电路板例如可以是其他电气部件的携载件。特别是，所有携载元件都形成为印刷电路板。
[0013]根据另外的实施例，携载元件被容纳在接受器中，使得提供垂直于插入方向的间隙，该间隙限定和界定垂直于插入方向的可移动性。
[0014]特别地，该间隙是气隙。携载元件优选地搁置在连接器布置的支撑表面上并且配备为在其上可自由移动，其中需要克服发生移动时携载元件与支撑表面之间的摩擦。例如，由于携载元件的可移动性，间隙可以是可变的。特别地，最大间隙(即，当携载元件搁置在接受器的侧壁上时)在0.1和15mm之间，特别是1和5mm之间。优选地，在携载元件之间，特别是在携载元件的上侧与接受器之间在插入方向上观看时提供空隙，以便确保携载元件在接受器中的自由移动性。空隙优选地在0.05和2mm之间，特别是在0.1和1.5mm之间。这防止了携载元件卡在接受器中。
[0015]根据另外的实施例，间隙形成为围绕携载元件的环形间隙。
[0016]这具有的优点是，携载元件可以在一个平面中在所有方向上移动。环形间隙优选地具有封闭的环形形状。环形形状意味着可以具有角和/或圆形轮廓的形状。当在插入方向上观看或与插入方向相反观看时，环形间隙例如可以具有框架形状。例如，当携载元件在接受器中居中对准时，环形间隙的宽度为0.05
‑
7.5mm，特别是0.5和2.5mm。
[0017]根据另外的实施例，连接器布置具有其中提供接受器的第一壳体元件和/或第二连接器元件连接到的第二壳体元件。
[0018]例如，第一和第二壳体元件可以各自形成为壳体。第二连接器元件优选地通过物质接合连接(例如通过粘合剂接合)和/或通过形状适配连接来连接到第二壳体元件。
[0019]根据另外的实施例，连接器布置具有直接或间接刚性连接到携载元件的第一定中心元件和配置在第二壳体元件上的第二定中心元件，其中第一和第二定中心元件相互作用，使得第一连接器元件和第二连接器元件当它们在插入方向上插接在一起时特别以精确适配相对于彼此定中心。
[0020]这具有以下优点：当壳体元件在插入方向上朝向彼此移动时，第一连接器元件和第二连接器元件可靠地找到彼此。例如，携载元件和第一定中心元件通过物质接合的连接，特别是通过粘合接合和/或形状适配的连接来相互连接。替代地，这些可以整体地形成。第一定中心元件可以是销的形式。优选地，第一定中心元件和/或第二定中心元件包括插入斜面和/或尖端以产生定中心效果。预先定中心优选地借助于第一和第二定中心元件发生，并且最终定中心借助于第一和第二连接器元件发生。
[0021]根据另外实施例，第一定中心元件配备为靠近第一连接器元件，在插入方向上延伸超过第一连接器元件，并且直接或间接刚性连接到第一连接器元件，其中第二定中心元件包括接收元件，接收元件配备为容纳第一定中心元件以达到实现定中心的目的。
[0022]第一定中心元件和第二定中心元件优选地至少部分地以旋转对称的方式配备。这
具有可以在一个平面中在所有方向上实现定中心效果的优点。特别地，接收元件包括用于容纳第一定中心元件的腔。例如，第一定中心元件可以直接连接到第一连接器元件或配备为与其接触。替代地，第一定中心元件和第一连接器元件可以彼此相距一定距离地连接到携载元件。
[0023]根据另外的实施例，连接器布置具有：第三连接器元件；第四连接器元件，可以与第三连接器元件在插入方向上插接在一起以形成电连接；另外的携载元件，携载第三连接器元件；以及另外的接受器，另外的携载元件被容纳其中以垂直于插入方向可移动以便当第三本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种连接器布置(200)，具有：第一连接器元件(202)，第二连接器元件(204)，其能够与所述第一连接器元件(202)在插入方向(E)上插接在一起以形成电连接，携载元件(210)，其携载所述第一连接器元件(202)，以及接受器(218)，所述携载元件(210)被容纳其中以垂直于所述插入方向(E)可移动，以便当将所述第一和第二连接器元件(202、204)插接在一起时产生容差补偿，其中，所述携载元件(210)是印刷电路板。2.根据权利要求1所述的连接器布置，其中，所述携载元件(210)容纳在所述接受器(218)中，使得提供垂直于所述插入方向(E)的间隙(S)，所述间隙限定和界定垂直于所述插入方向(E)的可移动性。3.根据权利要求2所述的连接器布置，其中，所述间隙(S)形成为围绕所述携载元件(210)的环形间隙。4.根据权利要求1至3中任一项所述的传感器布置，具有：第一壳体元件(220)，其中提供所述接受器(218)，和/或第二壳体元件(232)，所述第二连接器元件(204)连接到所述第二壳体元件(232)。5.根据权利要求4所述的传感器布置，具有：第一定中心元件(500)，其直接或间接刚性连接到所述携载元件(210)，以及第二定中心元件(502)，其配备在所述第二壳体元件(232)上，其中，所述第一和第二定中心元件(500、502)相互作用使得所述第一连接器元件(202)和所述第二连接器元件(204)当它们在所述插入方向(E)上插接在一起时相对于彼此定中心。6.根据权利要求5所述的连接器布置，其中，所述第一定中心元件(500)配备为靠近在所述第一连接器元件(202)，在所述插入方向(E)上延伸超过所述第一连接器元件(202)，并且直接或间接地刚性连接到所述第一连接器元件(202)，其中，所述第二定中心元件(502)包括接收元件(504)，所述接收元件(504)配备为容纳所述第一定中心元件(500)以达到实现定中心的目的。7.根据权利要求4至6中任一项所述的传感器布置，具有：第三连接器元件(406)，第四连接器元件(412)，其能够与所述第三连接器元件(406)在所述插入方向(E)上插接在一起以形成电连接，另外的携载元件(400)，其携载所述第三连接器元件(406)，以及另外的接受器(414)，所述另外的携载元件(400)被容纳其中以便垂直于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：T沃尔夫施泰纳，
申请(专利权)人：卡尔蔡司SMT有限责任公司，
类型：发明
国别省市：