本发明专利技术提供利用多个线性标度准确地测量可动部件的位置的位置测量仪及位置测量方法。所述位置测量仪包括：第一线性标度，在第一方向上延伸；第二线性标度，在所述第一方向上延伸，并且与所述第一线性标度分离；以及头结构体，包括彼此间隔开的第一标度头和第二标度头，其中，所述头结构体在所述第一方向上移动的同时读取所述第一线性标度或所述第二线性标度，并且所述第一标度头和所述第二标度头彼此相反地启用或禁用。此相反地启用或禁用。此相反地启用或禁用。
【技术实现步骤摘要】
位置测量仪及包括其的基板处理装置
[0001]本专利技术涉及位置测量仪及包括其的基板处理装置。
技术介绍
[0002]为了测量可动部件的位置(或位移)，可以使用线性标度。作为线性标度，使用热变形小的物质(例如，玻璃陶瓷(glass ceramic))。
技术实现思路
[0003]然而，在用于生产大型产品(例如，大型显示产品)的基板处理装置中，需要相当长(例如，3m以上)的线性标度。为了提高精度，也使用诸如(零度)的特殊材质来制造线性标度。但是，用这种特殊材质难以制造3m以上的长线型标度。
[0004]本专利技术要解决的技术问题是提供利用多个线性标度准确地测量可动部件的位置的位置测量仪及位置测量方法。
[0005]本专利技术要解决的另一技术问题是提供使用上述位置测量仪的基板处理装置。
[0006]本专利技术的技术问题不限于上述技术问题，本领域的技术人员可以通过下面的描述清楚地理解未提及的其它技术问题。
[0007]用于解决上述技术问题的本专利技术的位置测量仪的一个方面包括：第一线性标度，在第一方向上延伸；第二线性标度，在所述第一方向上延伸，并且与所述第一线性标度分离；以及头结构体，包括彼此间隔开的第一标度头和第二标度头，其中，所述头结构体在所述第一方向上移动的同时读取所述第一线性标度或所述第二线性标度，并且所述第一标度头和所述第二标度头彼此相反地启用或禁用。
[0008]用于解决上述另一技术问题的本专利技术的基板处理装置的一个方面包括：基座；基板支承单元，设置在所述基座的上表面上，并且用于支承基板；门架，与所述基座的上表面间隔开地设置；移动路径，在所述门架的一个表面上在第一方向上延伸；喷墨头单元，在沿着所述移动路径移动的同时向所述基板喷出药液的液滴；以及第一位置测量仪，用于确定所述喷墨头单元的位置，并且包括：第一线性标度，设置在所述门架的一个表面上且在所述第一方向上延伸；第二线性标度，在所述第一方向上延伸且与所述第一线性标度分离；以及头结构体，包括彼此间隔开的第一标度头和第二标度头，其中，当所述喷墨头单元沿着所述移动路径在所述第一方向上移动时，所述头结构体在与所述喷墨头单元一起移动的同时读取所述第一线性标度或所述第二线性标度，并且所述第一标度头和所述第二标度头彼此相反地启用或禁用。
[0009]用于解决上述技术问题的本专利技术的位置测量方法的一个方面包括以下步骤：提供基板处理装置，所述基板处理装置包括彼此分离且在第一方向上延伸的第一线性标度和第二线性标度、以及彼此间隔开的第一标度头和第二标度头，其中，所述第一线性标度和所述第二线性标度按顺序布置成一列，并且在所述第一线性标度与所述第二线性标度之间定位有第一边界部；以及当所述第一标度头和所述第二标度头沿着所述第一方向移动时，所述
第二标度头跟随所述第一标度头，并且所述第一标度头和所述第二标度头在所述第一标度头启用且所述第二标度头禁用的状态下沿着所述第一线性标度移动，并且当所述第一标度头经过所述第一边界部时，所述第一标度头禁用并且所述第二标度头启用。
[0010]其它实施例的具体事项包括在详细的说明及附图中。
附图说明
[0011]图1是用于说明根据本专利技术一实施例的位置测量仪的概念图。
[0012]图2是用于说明根据本专利技术一实施例的位置测量方法的图。
[0013]图3是用于说明根据本专利技术另一实施例的位置测量方法的图。
[0014]图4是用于说明根据本专利技术另一实施例的位置测量仪的概念图。
[0015]图5是用于说明根据本专利技术又一实施例的位置测量方法的图。
[0016]图6是用于说明根据本专利技术一实施例的基板处理装置的立体图。
[0017]图7是用于说明根据本专利技术一实施例的基板处理装置的平面图。
[0018]图8是用于说明图6所示的喷墨头单元和位置测量仪的图。
[0019]图9是用于说明根据本专利技术另一实施例的基板处理装置的平面图。
[0020]图10是用于说明根据本专利技术又一实施例的基板处理装置的平面图。
[0021]图11是用于说明根据本专利技术又一实施例的基板处理装置的图。
具体实施方式
[0022]下面，将参照附图详细描述本专利技术的优选的实施例。本专利技术的优点和特征以及实现这些优点和特征的方法将通过参照下面与附图一起详细描述的实施例而变得清楚。然而，本专利技术并不限于以下所公开的实施例，而是能够以彼此不同的多种形态实现，本实施例只是为了使本专利技术的公开完整，并向本专利技术所属
的普通技术人员完整地告知专利技术的范围而提供的，本专利技术仅由权利要求书的范围限定。在整个说明书中，相同的附图标记指代相同的构成要素。
[0023]为了容易地描述如图所示的一个元件或构成要素与另一个元件或构成要素的相关关系，可以使用空间相对术语“下方(below)”、“下面(beneath)”、“下部(lower)”、“上方(above)”、“上部(upper)”等。应该理解的是，除了图中所示的方向之外，空间相对术语是还包括元件在使用或操作时的彼此不同的方向的术语。例如，当图中所示的元件被翻转时，被描述为在另一个元件的“下方(below)”或“下面(beneath)”的元件可以位于另一个元件的“上方(above)”。因此，示例性的术语“下方”可以包括下方和上方两种方向。元件也可以以另一个方向定向，由此空间相对术语可以根据定向进行解释。
[0024]尽管术语“第一”、“第二”等用于描述各种元件、构成要素和/或部分，但是这些元件、构成要素和/或部分显然不被这些术语所限制。这些术语仅用于区分一个元件、构成要素和/或部分与另一个元件、构成要素和/或部分。因此，以下提及的第一元件、第一构成要素或第一部分在本专利技术的技术思想之内显然也可以是第二元件、第二构成要素或第二部分。
[0025]图1是用于说明根据本专利技术一实施例的位置测量仪的概念图。
[0026]参照图1，根据本专利技术一实施例的位置测量仪1包括多个线性标度(linear scale)
11a、11b、11c和头结构体30。
[0027]例如，多个线性标度11a、11b、11c包括第一线性标度11a、第二线性标度11b和第三线性标度11c。
[0028]各个线性标度11a、11b、11c在第一方向X上延伸。此外，第一线性标度11a、第二线性标度11b和第三线性标度11c布置成在第一方向X上相邻。例如，第一线性标度11a的短边和第二线性标度11b的短边可以布置成彼此面对，并且第二线性标度11b的短边和第三线性标度11c的短边可以布置成彼此面对。
[0029]头结构体30包括彼此间隔开的多个标度头21、22。例如，多个标度头21、22包括第一标度头21和第二标度头22。如图所示，第一标度头21和第二标度头22可以在第一方向X上间隔开地布置。
[0030]头结构体30可以设置于可动部件(未示出)，以便与可动部件一起移动，或者可以是可动部件的一部分。例如，当头结构体30在X1方向上移动时，第本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种位置测量仪，包括：第一线性标度，在第一方向上延伸；第二线性标度，在所述第一方向上延伸，并且与所述第一线性标度分离；以及头结构体，包括彼此间隔开的第一标度头和第二标度头，其中，所述头结构体在所述第一方向上移动的同时读取所述第一线性标度或所述第二线性标度，并且所述第一标度头和所述第二标度头彼此相反地启用或禁用。2.根据权利要求1所述的位置测量仪，其中，当所述头结构体在所述第一方向上移动时，所述第二标度头跟随所述第一标度头。3.根据权利要求2所述的位置测量仪，其中，在所述第一标度头启用且所述第二标度头禁用的状态下，当所述第一标度头经过第一预设位置时，所述第一标度头禁用并且所述第二标度头启用。4.根据权利要求3所述的位置测量仪，其中，在所述第一标度头禁用且所述第二标度头启用的状态下，当所述第一标度头经过与所述第一预设位置不同的第二预设位置时，所述第一标度头再次启用并且所述第二标度头再次禁用。5.根据权利要求1所述的位置测量仪，其中，所述第一线性标度和所述第二线性标度按顺序布置成一列，并且在所述第一线性标度与所述第二线性标度之间定位有第一边界部，以及在所述第一标度头启用且所述第二标度头禁用的状态下，所述第一标度头和所述第二标度头沿着所述第一线性标度移动，并且所述第二标度头跟随所述第一标度头。6.根据权利要求5所述的位置测量仪，其中，当所述第一标度头经过所述第一边界部时，所述第一标度头禁用并且所述第二标度头启用，接着，当所述第二标度头经过所述第一边界部时，所述第一标度头再次启用并且所述第二标度头再次禁用。7.根据权利要求5所述的位置测量仪，其中，在所述第一标度头经过所述第一边界部期间，所述第一标度头禁用并且所述第二标度头启用，以及在所述第一标度头经过所述第一边界部之后，所述第一标度头再次启用并且所述第二标度头再次禁用。8.根据权利要求1所述的位置测量仪，其中，所述位置测量仪还包括与所述第一线性标度按顺序布置成一列的第四线性标度，并且在所述第一线性标度与所述第四线性标度之间定位有第三边界部，所述第二线性标度在第二方向上与所述第一线性标度和所述第四线性标度间隔开，并且在所述第二方向上与所述第三边界部重叠，所述第一标度头能够在启用的状态下读取所述第一线性标度和所述第四线性标度，以及所述第二标度头能够在启用的状态下读取所述第二线性标度。9.根据权利要求8所述的位置测量仪，其中，在所述第一标度头经过所述第三边界部期间，所述第一标度头禁用并且所述第二标度
头启用，以及在所述第一标度头经过所述第三边界部之后，所述第一标度头再次启用并且所述第二标度头再次禁用。10.根据权利要求1所述的位置测量仪，其中，喷墨头单元的移动路径设置在门架的一个表面上，以及所述第一线性标度和所述第二线性标度设置在所述门架的一个表面上。11.一种基板处理装置，包括：基座；基板支承单元，设置在所述基座的上表面上，并且用于支承基板；门架，与所述基座的上表面间隔开地设置；移动路径，在所述门架的一个表面上在第一方向上延伸；喷墨头单元，在沿着所述移动路径移动的同时向所述基板喷出药液的液滴；以及第一位置测量仪，用于确定所述喷墨头单元的位置，并且包括：第一线性标度，设置在所述门架的一个表面上且在所述第一方向上延伸；第二线性标度，在所述第一方向上延伸且与所述第一线性标度分离；以及头结构体，包括彼此间隔开的第一标度头和第二标度头，其中，当所述喷墨头单元沿着所述移动路径在所述第一方向上移动时，所述头结构体在与所述喷墨头单元一起移动的同时读取所述第一线...
【专利技术属性】
技术研发人员：成普滥璨，李东润，李彦锡，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：
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