收纳装置、曝光装置以及物品制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供收纳装置、曝光装置以及物品制造方法。收纳装置收纳包括形成有图案的图案面的原版，并具有：第1供给部，以形成沿着原版的与图案面相反侧的第1面的第1气流及沿着保护构件的与图案面侧相反侧的第2面的第2气流中的至少一方气流的方式吹出并供给气体，保护构件与图案面分离设置并保护图案面；第2供给部，以形成与由第1供给部形成的至少一方气流干涉的第3气流的方式吹出并供给气体；以及构件，包括与从第2供给部吹出的气体的吹出方向交叉并用于接受由第2供给部形成的第3气流的接受面，第1供给部以用于搬送原版的搬送口为基准配置在收纳原版的收纳空间的进深侧，第2供给部以搬送口为基准配置在收纳空间的近前侧。搬送口为基准配置在收纳空间的近前侧。搬送口为基准配置在收纳空间的近前侧。

【技术实现步骤摘要】
收纳装置、曝光装置以及物品制造方法


[0001]本专利技术涉及收纳装置、曝光装置以及物品制造方法。

技术介绍

[0002]在半导体元件或液晶显示元件的制造工序(光刻(Lithography)工序)中，使用了将原版(掩模或者光罩)的图案向配置有抗蚀剂材料的基板(晶圆)投影而在基板上转印(形成)图案的曝光装置。在曝光装置中，当将原版的图案向基板上投影时，即在基板曝光时，若在原版上有异物等存在，则该异物会连同图案一起被转印到基板上而成为缺陷(不良)的原因。
[0003]因而，一般来讲，为了防止在原版的图案面(形成有图案的面)上附着异物，在原版上设有被称为蒙版(Pellicle)的保护构件。在蒙版中例如有由合成树脂构成的膜状制品。蒙版经由蒙版支撑框从原版的图案面偏移了规定距离地被支撑。由此，由于异物附着在从原版的图案面偏移了规定距离的蒙版膜上，所以，在曝光时在基板上无法结成焦点，只不过是作为光斑显现。这样，通过在原版设置蒙版，能够降低曝光时的异物影响。
[0004]另外，在曝光装置中，为了应对半导体元件的微细化来实现高分辨率，正在发展曝光波长的短波长化。当前，对于曝光波长，KrF准分子激光器的248nm、属于真空紫外区的ArF准分子激光器的193nm是主流，在将ArF准分子激光器那样的短波长(高能)用作光源的曝光装置中，原版的模糊成为问题。具体来讲，首先，因存在于原版的表面或氛围气体中的氧与碱的反应或者有机杂质的光化学反应，会在原版上形成出构成模糊起因的物质。并且，通过水分的存在和紫外线的照射(曝光的能量)使得模糊起因凝聚，成长为构成缺陷原因的尺寸的模糊。
[0005]针对原版的模糊，从原版的保管环境以及搬送环境将作为模糊原因物质的挥发性杂质(主要是SO
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、NH3、有机物)或作为模糊生成物质的水分除去(低湿度化)成为了总体上抑制原版模糊的有效对策。作为这样对策的一例，在日本特开平11－249286号公报、日本专利第4585514号公报中提出了以下技术：在原版的周围环境中供给清洁干燥空气(CDA)等气体来进行气体吹扫，即由吹扫气体置换原版的周围环境。
[0006]另外，原版的模糊也因存在于蒙版膜内部的水分而形成。但是，即便蒙版膜内部暴露于低湿度环境，在蒙版膜内部被置换成低湿度之前需要耗费时间。因此，对原版的保管库等保管环境进行气体吹扫的方式对蒙版膜内部的低湿度化是有效的，对抑制原版的模糊是有效的。

技术实现思路

[0007]专利技术所要解决的课题
[0008]然而，在现有技术中，存在着为了使原版的保管环境等周围环境低湿度化而需要大量(大流量)的吹扫气体这样的课题。
[0009]本专利技术提供有利于将原版的收纳空间低湿度化的收纳装置。
[0010]用于解决课题的方案
[0011]为了达成上述目的，作为本专利技术的一个方面的收纳装置，该收纳装置收纳包括形成有图案的图案面的原版，其特征在于，上述收纳装置具有：第1供给部，该第1供给部以形成第1气流以及第2气流中的至少一方气流的方式吹出并供给气体，上述第1气流沿着上述原版的与上述图案面相反侧的第1面，上述第2气流沿着保护构件的与上述图案面那侧相反侧的第2面，上述保护构件与上述图案面分离设置并保护上述图案面；第2供给部，该第2供给部以形成第3气流的方式吹出并供给气体，上述第3气流与由上述第1供给部形成的上述至少一方气流干涉；以及构件，该构件包括与从上述第2供给部吹出的气体的吹出方向交叉并用于接受由上述第2供给部形成的上述第3气流的接受面，上述第1供给部以用于搬送上述原版的搬送口为基准而配置在收纳上述原版的收纳空间的进深侧，上述第2供给部以上述搬送口为基准而配置在上述收纳空间的近前侧。
[0012]作为本专利技术的另一方面的曝光装置，该曝光装置对基板进行曝光，其特征在于，上述曝光装置具有：收纳部，该收纳部收纳包括形成有图案的图案面的原版；原版保持部，该原版保持部保持从上述收纳部搬送的上述原版；以及投影光学系统，该投影光学系统将上述原版保持部所保持的上述原版的图案投影到上述基板上，上述收纳部具有：第1供给部，该第1供给部以形成第1气流以及第2气流中的至少一方气流的方式吹出并供给气体，上述第1气流沿着上述原版的与上述图案面相反侧的第1面，上述第2气流沿着保护构件的与上述图案面那侧相反侧的第2面，上述保护构件与上述图案面分离设置并保护上述图案面；第2供给部，该第2供给部以形成第3气流的方式吹出并供给气体，上述第3气流与由上述第1供给部形成的上述至少一方气流干涉；以及构件，该构件包括与从上述第2供给部吹出的气体的吹出方向交叉并用于接受由上述第2供给部形成的上述第3气流的接受面，上述第1供给部以用于搬送上述原版的搬送口为基准而配置在收纳上述原版的收纳空间的进深侧，上述第2供给部以上述搬送口为基准而配置在上述收纳空间的近前侧。
[0013]作为本专利技术的再一方面的物品制造方法，其特征在于，该物品制造方法具有：使用上述的曝光装置对基板进行曝光的工序；对经过曝光的上述基板进行显影的工序；以及从经过显影的上述基板制造物品的工序。
[0014]本专利技术的另外目的或者其他方面将通过以下参照附图来说明的实施方式而变得清楚。
[0015]专利技术的效果
[0016]根据本专利技术，例如可提供有利于将原版的收纳空间低湿度化的收纳装置。
附图说明
[0017]图1是示出本专利技术的第1实施方式中的收纳装置的构成的概略图。
[0018]图2是用于说明第1气流的流量、第2气流的流量和第3气流的流量的关系的图。
[0019]图3是示出本专利技术的第1实施方式中的收纳装置的构成的概略图。
[0020]图4是示出本专利技术的第1实施方式中的收纳装置的构成的概略图。
[0021]图5是示出本专利技术的第1实施方式中的收纳装置的构成的概略图。
[0022]图6是示出本专利技术的第1实施方式中的收纳装置的构成的概略图。
[0023]图7A以及图7B是示出本专利技术的第2实施方式中的收纳装置的构成的概略图。
[0024]图8是示出本专利技术的第3实施方式中的收纳装置的构成的概略图。
[0025]图9是示出本专利技术的第4实施方式中的收纳装置的构成的概略图。
[0026]图10是示出作为本专利技术的一个方面的曝光装置的构成的概略图。
[0027]图11是示出现有技术中的收纳装置的构成的概略图。
[0028]图12是示出现有技术中的收纳装置的构成的概略图。
具体实施方式
[0029]以下，参照附图来详细说明实施方式。另外，以下的实施方式并不限定权利要求书所涉及的专利技术。在实施方式中记载有多个特征，但这些特征并非全部都是专利技术的必要技术特征，另外多个特征也可以任意组合。进而，在附图中，对相同或相似的构成标注相同的附图标记，省略重复说明。
[0030]首先，在说明本实施方式之前，对有关收纳(保管)原版的收纳装置(保管库)的现有技术进行说明。
[0031]图11是示出专利文献1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种收纳装置，该收纳装置收纳包括形成有图案的图案面的原版，其特征在于，上述收纳装置具有：第1供给部，该第1供给部以形成第1气流以及第2气流中的至少一方气流的方式吹出并供给气体，上述第1气流沿着上述原版的与上述图案面相反侧的第1面，上述第2气流沿着保护构件的与上述图案面那侧相反侧的第2面，上述保护构件与上述图案面分离设置并保护上述图案面；第2供给部，该第2供给部以形成第3气流的方式吹出并供给气体，上述第3气流与由上述第1供给部形成的上述至少一方气流干涉；以及构件，该构件包括与从上述第2供给部吹出的气体的吹出方向交叉并用于接受由上述第2供给部形成的上述第3气流的接受面，上述第1供给部以用于搬送上述原版的搬送口为基准而配置在收纳上述原版的收纳空间的进深侧，上述第2供给部以上述搬送口为基准而配置在上述收纳空间的近前侧。2.如权利要求1所述的收纳装置，其特征在于，上述第1供给部以作为上述至少一方气流形成从上述收纳空间的进深侧朝向上述收纳空间的近前侧的一个方向的气流的方式吹出并供给气体。3.如权利要求1所述的收纳装置，其特征在于，上述第2供给部以作为上述第3气流形成与由上述第1供给部形成的上述至少一方气流碰撞的气流的方式吹出并供给气体。4.如权利要求1所述的收纳装置，其特征在于，上述构件以上述接受面在与上述图案面正交的方向上位于比上述第2面靠下方的位置的方式配置。5.如权利要求1所述的收纳装置，其特征在于，上述构件以在与上述图案面正交的方向上的上述接受面与上述第2供给部的气体的吹出口之间的距离为10mm以上且500mm以下的方式配置。6.如权利要求1所述的收纳装置，其特征在于，上述接受面相对于上述保护构件的上述第2面在沿着上述第2面的方向上在自上述第2面起向外侧为0mm以上且300mm以下的范围内延伸。7.如权利要求1所述的收纳装置，其特征在于，上述第1供给部以形成上述第1气流以及上述第2气流的方式吹出并供给气体，上述第3气流的流量小于上述第1气流的流量与上述第2气流的流量之和。8.如权利要求1所述的收纳装置，其特征在于，上述接受面包括向上述第2供给部那侧突出的凸部。...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤野康平，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：