一种执行器同步扫描的控制方法、上位机以及控制系统技术方案

本申请提供了一种执行器同步扫描的控制方法、上位机以及控制系统，所述控制方法包括：获取参与扫描的各个子系统执行器的扫描时间区间；根据获取到的多个扫描时间区间之间的时间交叉关系，确定扫描时间值，并根据扫描时间值，确定出准备时间值；根据扫描时间值以及准备时间值，同时向各个子系统执行器下发扫描控制指令，控制多个子系统执行器对待曝光晶圆进行同步扫描。采用本申请提供的技术方案能够通过获取扫描时间区间与准备时间区间，确定出扫描时间值，以及准备时间值，并通过扫描时间值时间与准备时间值控制多个子系统执行器对待曝光晶圆进行同步扫描，从而在保障曝光图像质量的同时提高晶圆曝光的工作效率。量的同时提高晶圆曝光的工作效率。量的同时提高晶圆曝光的工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种执行器同步扫描的控制方法、上位机以及控制系统


[0001]本申请涉及半导体
，尤其是涉及一种执行器同步扫描的控制方法、上位机以及控制系统。

技术介绍

[0002]晶圆曝光过程是利用光照将掩模版上的图形经过光学系统后投影到晶圆上，实现图形转移，是集成电路制造中光刻工艺的重要工序之一，在晶圆曝光之前需要对待曝光晶圆进行扫描，目前，扫描的模式为各个子系统顺序执行扫描过程，这种模式会导致曝光的时间为所有子系统执行时间的总和，所以导致曝光效率低下；因此，如何在保障曝光图像的质量的同时提高曝光效率，成为了亟待解决的问题。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本申请的目的在于提供一种执行器同步扫描的控制方法、上位机以及控制系统，能够通过获取扫描时间区间与准备时间区间，确定出扫描时间值，以及准备时间值，并通过扫描时间值时间与准备时间值控制多个子系统执行器对待曝光晶圆进行同步扫描，从而在保障曝光图像质量的同时提高晶圆曝光的工作效率。
[0004]本申请主要包括以下几个方面：
[0005]第一方面，本申请实施例提供了一种执行器同步扫描的控制方法，应用于上位机，所述控制方法包括：
[0006]获取参与扫描的各个子系统执行器的扫描时间区间；其中，扫描时间区间是根据上位机发送的动作数据确定的，所述动作数据包括子系统执行器扫描的起始位置和终止位置；
[0007]根据获取到的多个扫描时间区间之间的时间交叉关系，确定扫描时间值，并根据扫描时间值，确定出准备时间值；
[0008]根据所述扫描时间值以及所述准备时间值，同时向各个子系统执行器下发扫描控制指令，控制多个子系统执行器对待曝光晶圆进行同步扫描。
[0009]进一步的，通过以下步骤确定扫描时间值：
[0010]根据获取到的多个扫描时间区间，确定多个扫描时间区间之间是否存在交集；
[0011]若存在交集，将交集区间的下限时间值或者交集时间值确定为扫描时间值；
[0012]若不存在交集，则生成无法执行的显示信息。
[0013]进一步的，通过以下步骤确定准备时间值：
[0014]根据所述扫描时间值，获取多个子系统执行器的准备时间区间；其中，所述准备时间区间是所述子系统执行器根据扫描时间值重新规划运动路径后所确定的；
[0015]根据获取的多个准备时间区间，确定多个准备时间区间之间是否存在交集；
[0016]若存在交集，将交集区间的下限时间值或者交集时间值确定为准备时间值；
[0017]若不存在交集，则生成无法执行的显示信息。
[0018]进一步的，所述控制方法还包括：
[0019]接收同步扫描完成信号，从各个子系统执行器中获取对应的扫描结果，并更新各个子系统执行器的可用状态；
[0020]根据所述扫描结果进行数据分析，对所述子系统执行器进行优化，并根据子系统执行器的状态进行下一次同步扫描过程。
[0021]第二方面，本申请实施例还提供了一种上位机，所述上位机包括：
[0022]获取模块，用于获取参与扫描的多个子系统执行器的扫描时间区间；其中，扫描时间区间是根据上位机发送的动作数据确定的，所述动作数据包括子系统执行器扫描的起始位置和终止位置；
[0023]确定模块，用于根据获取到的多个扫描时间区间之间的时间交叉关系，确定扫描时间值，并根据扫描时间值，确定出准备时间值；
[0024]控制模块，用于根据所述扫描时间值以及所述准备时间值，同时向各个子系统执行器下发扫描控制指令，控制多个子系统执行器对待曝光晶圆进行同步扫描。
[0025]第三方面，本申请实施例还提供一种执行器同步扫描的控制系统，所述系统包括如上述所述的上位机、单板计算机板卡、同步板卡以及至少一个子系统执行器；
[0026]所述上位机，用于根据扫描数据确定出参与扫描的多个子系统，向确定出的各个子系统的子系统执行器下发动作数据；接收各个子系统执行器发送的对应的扫描时间区间，根据接收到的多个扫描时间区间确定出扫描时间值；将所述扫描时间值发送给确定出的各个子系统的子系统执行器；接收各个子系统执行器发送的对应的准备时间区间，根据接收到的各个准备时间区间确定出准备时间值；将所述扫描时间值以及所述准备时间值作为扫描参数发送给所述单板计算机板卡；
[0027]所述单板计算机板卡，用于接收所述上位机发送的扫描参数，并将所述扫描参数发送给所述同步板卡；
[0028]所述同步板卡，用于接收所述单板计算机板卡发送的扫描参数，并根据所述扫描参数生成同步触发信号，将所述同步触发信号发送给所述子系统执行器；
[0029]所述子系统执行器，用于接收所述上位机发送的动作数据并存储，根据所述动作数据确定出扫描时间区间，并将所述扫描时间区间发送给所述上位机；接收所述上位机发送的扫描时间值，根据所述扫描时间值确定出准备时间区间，并将所述准备时间区间发送给所述上位机；接收所述同步板卡发送的同步触发信号，根据所述同步触发信号以及存储的动作数据执行对应的动作。
[0030]进一步的，所述上位机，还用于接收所述单板计算机板卡通过所述同步板卡发送的同步扫描完成信号，根据所述同步扫描完成信号从各个子系统执行器中获取扫描结果，根据所述扫描结果进行数据分析，对所述子系统执行器进行优化。
[0031]进一步的，所述上位机，还用于在接收到所述扫描结果之后，将所述子系统执行器的状态由不可用状态更新为可用状态。
[0032]进一步的，所述子系统执行器，还用于维护子系统状态，所述子系统状态包括初始化命令、开始准备、开始扫描、结束以及异常中的任一一项；
[0033]当接收到同步板卡发送的同步触发信号时，确定该同步触发信号是否符合当前子系统状态，若不符合，则生成异常信息通过同步板卡以及单板计算机板卡通知所述上位机
进行异常处理。
[0034]进一步的，所述同步板卡中具有计时器，根据所述计时器定时向对应的子系统执行器发送同步触发信号。
[0035]本申请实施例提供的一种执行器同步扫描的控制方法、上位机以及控制系统，所述控制方法包括：获取参与扫描的各个子系统执行器的扫描时间区间；其中，扫描时间区间是根据上位机发送的动作数据确定的，所述动作数据包括子系统执行器扫描的起始位置和终止位置；根据获取到的多个扫描时间区间之间的时间交叉关系，确定扫描时间值，并根据扫描时间值，确定出准备时间值；根据所述扫描时间值以及所述准备时间值，同时向各个子系统执行器下发扫描控制指令，控制多个子系统执行器对待曝光晶圆进行同步扫描。
[0036]这样，采用本申请提供的技术方案能够通过获取扫描时间区间与准备时间区间，确定出扫描时间值，以及准备时间值，并通过扫描时间值时间与准备时间值控制多个子系统执行器对待曝光晶圆进行同步扫描，从而在保障曝光图像质量的同时提高晶圆曝光的工作效率。
[0037]为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种执行器同步扫描的控制方法，其特征在于，应用于上位机，所述控制方法包括：获取参与扫描的各个子系统执行器的扫描时间区间；其中，扫描时间区间是根据上位机发送的动作数据确定的，所述动作数据包括子系统执行器扫描的起始位置和终止位置；根据获取到的多个扫描时间区间之间的时间交叉关系，确定扫描时间值，并根据扫描时间值，确定出准备时间值；根据所述扫描时间值以及所述准备时间值，同时向各个子系统执行器下发扫描控制指令，控制多个子系统执行器对待曝光晶圆进行同步扫描。2.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，通过以下步骤确定扫描时间值：根据获取到的多个扫描时间区间，确定多个扫描时间区间之间是否存在交集；若存在交集，将交集区间的下限时间值或者交集时间值确定为扫描时间值；若不存在交集，则生成无法执行的显示信息。3.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，通过以下步骤确定准备时间值：根据所述扫描时间值，获取多个子系统执行器的准备时间区间；其中，所述准备时间区间是所述子系统执行器根据扫描时间值重新规划运动路径后所确定的；根据获取的多个准备时间区间，确定多个准备时间区间之间是否存在交集；若存在交集，将交集区间的下限时间值或者交集时间值确定为准备时间值；若不存在交集，则生成无法执行的显示信息。4.根据权利要求1所述的控制方法，其特征在于，所述控制方法还包括：接收同步扫描完成信号，从各个子系统执行器中获取对应的扫描结果，并更新各个子系统执行器的可用状态；根据所述扫描结果进行数据分析，对所述子系统执行器进行优化，并根据子系统执行器的状态进行下一次同步扫描过程。5.一种上位机，其特征在于，所述上位机包括：获取模块，用于获取参与扫描的多个子系统执行器的扫描时间区间；其中，扫描时间区间是根据上位机发送的动作数据确定的，所述动作数据包括子系统执行器扫描的起始位置和终止位置；确定模块，用于根据获取到的多个扫描时间区间之间的时间交叉关系，确定扫描时间值，并根据扫描时间值，确定出准备时间值；控制模块，用于根据所述扫描时间值以及所述准备时间值，同时向各个子系统执行器下发扫描控制指令，控制多个子系统执行器对待曝光晶圆进行同步扫描。6.一种执行器同步扫描的控制系统，其特征在于，所述系统包括如权利要求5所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛岩，付纯鹤，苏鹏方，杜婷婷，徐圆圆，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：