一种可调节激光模组的曝光机制造技术

技术编号:33819540 阅读:39 留言:0更新日期:2022-06-16 10:40
本实用新型专利技术公开了曝光机技术领域的一种可调节激光模组的曝光机,包括支撑台、输送机构、升降机构、曝光机构、调整机构和控制装置,所述输送机构通过螺栓固定连接在所述支撑台的顶部,所述升降机构通过螺栓固定连接哎所述输送机构的顶部中间处,所述曝光机构位于所述升降机构的内部,所述调整机构通过螺栓固定连接在所述输送机构的内部右侧,所述控制装置通过螺栓固定连接在所述支撑台的右侧壁,该可调节激光模组的曝光机,结构设计合理,能够对产品进行移动调节两面同时曝光,提高曝光效率的同时也提高了产品曝光的产量,能够对曝光产品进行自动上料送料,省时省力的同时也降低了劳动强度,并且提高曝光产品的曝光质量。并且提高曝光产品的曝光质量。并且提高曝光产品的曝光质量。

【技术实现步骤摘要】
一种可调节激光模组的曝光机


[0001]本技术涉及曝光机
,具体为一种可调节激光模组的曝光机。

技术介绍

[0002]在显示领域中,光刻工艺过程中需要使用带有图形的掩模板及曝光机对待曝光的基板进行曝光,成膜后的基板经曝光、刻蚀等工艺,形成具有一定图案的器件或者紫外掩模玻璃板。
[0003]现有的曝光机使用的激光模组对产品进行曝光时,只能够固定的对对产品的一面进行曝光,不能够进行移动调节曝光,曝光的效率,曝光产量较低,并且现有的曝光产品需要人工对其进行上料推送,费时费力,且劳动强度较大,并且无法能够保证曝光产品的平整度,造成曝光后的产品质量问题,为此我们提出了一种可调节激光模组的曝光机。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种可调节激光模组的曝光机,以解决上述
技术介绍
中提出了现有的曝光机使用的激光模组对产品进行曝光时,只能够固定的对对产品的一面进行曝光,不能够进行移动调节曝光,并且现有的曝光产品需要人工对其进行上料推送,并且无法能够保证曝光产品的平整度的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可调节激光模组的曝光机,其特征在于:包括支撑台(100)、输送机构(200)、升降机构(300)、曝光机构(400)、调整机构(500)和控制装置(600),所述输送机构(200)通过螺栓固定连接在所述支撑台(100)的顶部,所述升降机构(300)通过螺栓固定连接在所述输送机构(200)的顶部中间处,所述曝光机构(400)位于所述升降机构(300)的内部,所述调整机构(500)通过螺栓固定连接在所述输送机构(200)的内部右侧,所述控制装置(600)通过螺栓固定连接在所述支撑台(100)的右侧壁,所述控制装置(600)通过电线与所述输送机构(200)、所述升降机构(300)、所述曝光机构(400)和所述调整机构(500)电性连接。2.根据权利要求1所述的一种可调节激光模组的曝光机,其特征在于:所述输送机构(200)包括支撑板(210)、转轴(220)和伺服电机(230),所述转轴(220)转动连接在所述支撑板(210)的内侧壁之间,且从左至有依次排列,所述伺服电机(230)通过螺栓固定连接在所述支撑台(100)的内腔底部右侧后侧,所述伺服电机(230)的动力输出轴后端贯穿所述支撑台(100)并延伸至所述支撑台(100)的后侧壁,且固定连接有主动轮(231)。3.根据权利要求2所述的一种可调节激光模组的曝光机,其特征在于:所述转轴(220)的之间通过皮带转动连接,右侧所述转轴(220)与所述主动轮(231)的之间通过皮带转动连接。4.根据权利要求1所述的一种可调节激光模组的曝光机,其特征在于:所述升降机构(300)包括设备箱(310)、电动伸缩杆(320)...

【专利技术属性】
技术研发人员:冯梦飞王群孙行
申请(专利权)人:江苏富港智能科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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