一种可调节激光模组的曝光机制造技术

技术编号:33819540 阅读:10 留言:0更新日期:2022-06-16 10:40
本实用新型专利技术公开了曝光机技术领域的一种可调节激光模组的曝光机,包括支撑台、输送机构、升降机构、曝光机构、调整机构和控制装置,所述输送机构通过螺栓固定连接在所述支撑台的顶部,所述升降机构通过螺栓固定连接哎所述输送机构的顶部中间处,所述曝光机构位于所述升降机构的内部,所述调整机构通过螺栓固定连接在所述输送机构的内部右侧,所述控制装置通过螺栓固定连接在所述支撑台的右侧壁,该可调节激光模组的曝光机,结构设计合理,能够对产品进行移动调节两面同时曝光,提高曝光效率的同时也提高了产品曝光的产量,能够对曝光产品进行自动上料送料,省时省力的同时也降低了劳动强度,并且提高曝光产品的曝光质量。并且提高曝光产品的曝光质量。并且提高曝光产品的曝光质量。

【技术实现步骤摘要】
一种可调节激光模组的曝光机


[0001]本技术涉及曝光机
,具体为一种可调节激光模组的曝光机。

技术介绍

[0002]在显示领域中,光刻工艺过程中需要使用带有图形的掩模板及曝光机对待曝光的基板进行曝光,成膜后的基板经曝光、刻蚀等工艺,形成具有一定图案的器件或者紫外掩模玻璃板。
[0003]现有的曝光机使用的激光模组对产品进行曝光时,只能够固定的对对产品的一面进行曝光,不能够进行移动调节曝光,曝光的效率,曝光产量较低,并且现有的曝光产品需要人工对其进行上料推送,费时费力,且劳动强度较大,并且无法能够保证曝光产品的平整度,造成曝光后的产品质量问题,为此我们提出了一种可调节激光模组的曝光机。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种可调节激光模组的曝光机,以解决上述
技术介绍
中提出了现有的曝光机使用的激光模组对产品进行曝光时,只能够固定的对对产品的一面进行曝光,不能够进行移动调节曝光,并且现有的曝光产品需要人工对其进行上料推送,并且无法能够保证曝光产品的平整度的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种可调节激光模组的曝光机,包括支撑台、输送机构、升降机构、曝光机构、调整机构和控制装置,所述输送机构通过螺栓固定连接在所述支撑台的顶部,所述升降机构通过螺栓固定连接在所述输送机构的顶部中间处,所述曝光机构位于所述升降机构的内部,所述调整机构通过螺栓固定连接在所述输送机构的内部右侧,所述控制装置通过螺栓固定连接在所述支撑台的右侧壁,所述控制装置通过电线与所述输送机构、所述升降机构、所述曝光机构和所述调整机构电性连接。
[0006]优选的,所述输送机构包括支撑板、转轴和伺服电机,所述转轴转动连接在所述支撑板的内侧壁之间,且从左至有依次排列,所述伺服电机通过螺栓固定连接在所述支撑台的内腔底部右侧后侧,所述伺服电机的动力输出轴后端贯穿所述支撑台并延伸至所述支撑台的后侧壁,且固定连接有主动轮。
[0007]优选的,所述转轴的之间通过皮带转动连接,右侧所述转轴与所述主动轮的之间通过皮带转动连接。
[0008]优选的,所述升降机构包括设备箱、电动伸缩杆和安装板,所述电动伸缩杆通过螺栓固定连接在所述设备箱的内腔顶部前后两侧左侧,所述安装板通过螺栓固定连接在所述电动伸缩杆的底端之间。
[0009]优选的,所述设备箱的内腔前后侧壁左右两侧竖向开有滑槽,所述滑槽的内腔滑动连接有电动滑块,所述电动滑块的内侧壁通过螺栓固定连接有电动推杆,前侧两个所述电动推杆的之间和后侧两个所述电动推杆的之间通过螺栓固定连接有夹杆,所述夹杆的底端延伸至转轴的之间。
[0010]优选的,所述曝光机构包括滑轨、电动滑座和激光模组,所述滑轨通过螺栓固定连接在安装板的底部和顶部前后两侧,所述电动滑座滑动连接在所述滑轨的外侧,所述激光模组通过螺栓固定连接在所述电动滑座的外侧壁之间。
[0011]优选的,所述调整机构包括移动轨道、气动滑块、安装杆和夹板,所述气动滑块滑动连接在所述移动轨道的顶部前后两侧,所述安装杆通过螺栓分别固定连接在前侧两个所述气动滑块的顶部之间和后侧两个所述气动滑块的顶部之间,所述夹板通过螺栓固定连接在所述安装杆的顶部。
[0012]与现有技术相比,本技术的有益效果是:
[0013]1、该可调节激光模组的曝光机,通过电动滑块带动电动推杆下降,通过电动推杆带动夹杆对转轴上的曝光产品进行夹取,将曝光产品提升,通过电动伸缩杆带动安装板下降,使安装板和曝光产品平行,通过电动滑座带动激光模组移动到曝光产品的顶部和底部,对曝光产品的两面进行同时曝光,并且能够更具不同规格的产品进行移动调节曝光,从而能够对产品进行移动调节两面同时曝光,提高曝光效率的同时也提高了产品曝光的产量。
[0014]2、该可调节激光模组的曝光机,通过启动伺服电机,伺服电机通过皮带带动转轴进行转动,转轴之间通过皮带转动连接,支撑板之间的转轴同时转动,对转轴上的曝光产品进行输送,同时转轴对产品进行输送能够提高产品的平整度,从而能够对曝光产品进行自动上料送料,省时省力的同时也降低了劳动强度,并且提高曝光产品的曝光质量。
附图说明
[0015]图1为本技术主视剖视结构示意图;
[0016]图2为本技术右视剖视结构示意图;
[0017]图3为本技术输送机构俯视剖视结构示意图;
[0018]图4为本技术调整机构结构示意图。
[0019]图中:100、支撑台;200、输送机构;210、支撑板;220、转轴;230、伺服电机;231、主动轮;300、升降机构;310、设备箱;311、滑槽;312、电动滑块;313、电动推杆;314、夹杆;320、电动伸缩杆;330、安装板; 400、曝光机构;410、滑轨;420、电动滑座;430、激光模组;500、调整机构;510、移动轨道;520、气动滑块;530、安装杆;540、夹板;600、控制装置。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0021]本技术提供一种可调节激光模组的曝光机,移动调节曝光,提高效率,提高产量,平整度高,自动送料,请参阅图1

4,包括支撑台100、输送机构200、升降机构300、曝光机构400、调整机构500和控制装置600;
[0022]请再次参阅图1

4,支撑台100用于安装支撑输送机构200、升降机构300、曝光机构400、调整机构500和控制装置600;
[0023]请参阅图1,输送机构200通过螺栓固定连接在支撑台100的顶部,输送机构200用
于产品的自动输送;
[0024]请参阅图2,升降机构300通过螺栓固定连接在输送机构200的顶部中间处,升降机构300用于调节曝光设备;
[0025]请再次参阅图2,曝光机构400位于升降机构300的内部,具体的,曝光机构400通过螺栓固定连接在安装板330的顶部和底部,曝光机构400用于对产品进行曝光处理;
[0026]请参阅图4,调整机构500通过螺栓固定连接在输送机构200的内部右侧,调整机构500用于对产品进行位置调整;
[0027]请再次参阅图1,控制装置600通过电线与输送机构200、升降机构300、曝光机构400和调整机构500电性连接,控制装置600通过螺栓固定连接在支撑台100的右侧壁,控制装置600用于控制输送机构200、升降机构300、曝光机构400和调整机构500的启停。
[0028]请再次参阅图2,为了能够实现产品的制动上料送料,降低劳动强度,输送机构200包括支撑板210、转轴220和伺服本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可调节激光模组的曝光机,其特征在于:包括支撑台(100)、输送机构(200)、升降机构(300)、曝光机构(400)、调整机构(500)和控制装置(600),所述输送机构(200)通过螺栓固定连接在所述支撑台(100)的顶部,所述升降机构(300)通过螺栓固定连接在所述输送机构(200)的顶部中间处,所述曝光机构(400)位于所述升降机构(300)的内部,所述调整机构(500)通过螺栓固定连接在所述输送机构(200)的内部右侧,所述控制装置(600)通过螺栓固定连接在所述支撑台(100)的右侧壁,所述控制装置(600)通过电线与所述输送机构(200)、所述升降机构(300)、所述曝光机构(400)和所述调整机构(500)电性连接。2.根据权利要求1所述的一种可调节激光模组的曝光机,其特征在于:所述输送机构(200)包括支撑板(210)、转轴(220)和伺服电机(230),所述转轴(220)转动连接在所述支撑板(210)的内侧壁之间,且从左至有依次排列,所述伺服电机(230)通过螺栓固定连接在所述支撑台(100)的内腔底部右侧后侧,所述伺服电机(230)的动力输出轴后端贯穿所述支撑台(100)并延伸至所述支撑台(100)的后侧壁,且固定连接有主动轮(231)。3.根据权利要求2所述的一种可调节激光模组的曝光机,其特征在于:所述转轴(220)的之间通过皮带转动连接,右侧所述转轴(220)与所述主动轮(231)的之间通过皮带转动连接。4.根据权利要求1所述的一种可调节激光模组的曝光机,其特征在于:所述升降机构(300)包括设备箱(310)、电动伸缩杆(320)...

【专利技术属性】
技术研发人员:冯梦飞王群孙行
申请(专利权)人:江苏富港智能科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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