一种具有防振机构的曝光机制造技术

本发明专利技术涉及曝光机领域，尤其涉及一种具有防振机构的曝光机。曝光机在运作过程中，由于内部精密机械部件的快速移动、电机的高速旋转以及工作台的高精度定位等复杂操作，不可避免地会产生一定程度的振动。包括有曝光主机，曝光主机底面设置有放置板，放置板底面固定连接有底板，底板底面设置有气压防振机构，气压防振机构侧面设置有弹簧防振机构，底面设置有锁紧机构，锁紧机构包括有传动齿轮。下防振连杆一端转动连接在下连接轴外侧面，另一端通过轴转动连接在弹簧连接块一端，上防振连杆通过轴带动下防振连杆推动防振弹簧，防振弹簧由于被挤压压缩产生弹力从而抵消向下的力来缓冲曝光主机产生的振动。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及曝光机领域，尤其涉及一种具有防振机构的曝光机。

技术介绍

1、曝光机是一种利用光的化学反应来实现图像转移或印刷版制作的机器设备，它通过将胶片或其他透明体上的图像信息，利用紫外线或激光等光源，转移到涂有感光物质的表面上，这种设备广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技等领域，也常用于制作胶印版、丝印版等印刷版，曝光主机支持恒定光强或恒定功率模式，具有高精度、高稳定性和长使用寿命等优点，随着技术的不断发展，曝光机也在不断升级和改进，以适应不同领域和行业的需求。

2、曝光机在运作过程中，由于内部精密机械部件的快速移动、电机的高速旋转以及工作台的高精度定位等复杂操作，不可避免地会产生一定程度的振动，曝光主机在进行图案转移时，需要将光掩模与基板精确对准，振动可能导致对准系统的微小偏差，从而影响最终图案的对准精度；振动会导致曝光光源在基板上的投影发生抖动，使得曝光图案边缘变得模糊，降低成像质量。

技术实现思路

1、本专利技术为了克服本专利技术为了克服曝光主机运行过程中容易产生振动干扰曝光过程本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有防振机构的曝光机，其特征在于，包括有曝光主机（1），所述曝光主机（1）底面设置有放置板（5），所述放置板（5）底面固定连接有底板（4），所述底板（4）底面设置有气压防振机构（3），所述气压防振机构（3）侧面设置有弹簧防振机构（2），所述底板（4）内部设置有锁紧机构（6），所述锁紧机构（6）包括有传动齿轮（605），所述传动齿轮（605）中部固定连接有固定轴（612），所述固定轴（612）贯穿所述传动齿轮（605），所述固定轴（612）一端与所述底板（4）转动连接，所述固定轴（612）另一端固定连接有锁紧盘（613），所述锁紧盘（613）下表面通过转轴对称转动连接有四个L形传动...

【技术特征摘要】

1.一种具有防振机构的曝光机，其特征在于，包括有曝光主机（1），所述曝光主机（1）底面设置有放置板（5），所述放置板（5）底面固定连接有底板（4），所述底板（4）底面设置有气压防振机构（3），所述气压防振机构（3）侧面设置有弹簧防振机构（2），所述底板（4）内部设置有锁紧机构（6），所述锁紧机构（6）包括有传动齿轮（605），所述传动齿轮（605）中部固定连接有固定轴（612），所述固定轴（612）贯穿所述传动齿轮（605），所述固定轴（612）一端与所述底板（4）转动连接，所述固定轴（612）另一端固定连接有锁紧盘（613），所述锁紧盘（613）下表面通过转轴对称转动连接有四个l形传动杆（602），所述l形传动杆（602）另一端的上表面通过转轴转动连接有t形块（614），所述t形块（614）的上表面固定连接有锁紧条（601），所述传动齿轮（605）的侧面啮合连接有传动齿条（603），所述传动齿条（603）的一端固定连接有复位弹簧（606），所述复位弹簧（606）的另一端通过固定块与所述底板（4）固定连接，所述传动齿条（603）的另一端转动连接有滑动杆（604），所述滑动杆（604）的另一端穿过所述底板（4）侧面且端部固定连接有把手（607），所述滑动杆（604）外侧且位于所述把手（607）与所述传动齿条（603）之间固定连接有锁定块（609）。

2.根据权利要求1所述的一种具有防振机构的曝光机，其特征在于，所述锁紧机构（6）还包括有锁定框（608），所述锁定框（608）固定连接在所述底板（4）外侧面，所述锁定框（608）两个相对的内侧面对称固定连接有滑动条，所述锁定框（608）内部通过滑动条滑动连接有滑动块（610），所述滑动块（610）下部开设有滑槽，滑槽的尺寸与所述锁定块（609）的大小相匹配，所述滑动块（610）上表面固定连接有锁定柱（611），所述锁定柱（611）为l形，所述锁定柱（611）贯穿所述锁定框（608），所述锁定框（608）外侧且位于所述锁定框（608）内部套设有推动弹簧。

3.根据权利要求2所述的一种具有防振机构的曝光机，其特征在于，所述放置板（5）上开设有十字形滑槽，所述t形块（614）滑动连接在所述放置板（5）开设的十字形滑槽内，所述底板（4）侧面在所述滑动杆（604）穿过的位置开设有长方形的滑槽，长方形的滑槽的尺寸与所述锁定块（609）的大小一致。

4.根据权利要求3所述的一种具有防振机构的曝光机，其特征在于，所述气压防振机构（3）包括有支撑板（301），所述支撑板（301）固定连接在所述底板（4）底面，所述支撑板（301）底面固定连接有气压杆（302），所述气压杆（302）远离所述支撑板（301）一端密封滑动连接有气压缸（303），所述气压杆（302）远离所述支撑板（301）一端中部开设有两个矩形滑槽，矩形滑槽相对内侧面对称...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯梦飞，孙行，丁宁，
申请(专利权)人：江苏富港智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：