提供各种喷头及方法。一种喷头可以包含：面板，其部分地由前表面和背表面限定；背板，其具有气体入口、第一圆锥台表面以及第二圆锥台表面；充气部容积，其流体连接至所述气体入口，且至少部分地由所述气体入口、所述面板的所述背表面、所述第一圆锥台表面、以及所述第二圆锥台表面限定；以及挡板，其位于所述充气部容积内，且具有多个挡板通孔，所述多个挡板通孔延伸穿过所述挡板。所述第二圆锥台表面可以相对于所述喷头的中心轴而从所述第一圆锥台表面径向地往外定位，并且所述第二圆锥台表面可以沿着所述中心轴而定位成比所述第一圆锥台表面更远离所述气体入口。表面更远离所述气体入口。表面更远离所述气体入口。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】金属沉积
通过引用并入
[0001]PCT申请表作为本申请的一部分与本说明书同时提交。如在同时提交的PCT申请表中所标识的本申请要求享有其权益或优先权的每个申请均通过引用全文并入本文且用于所有目的。
技术介绍
[0002]使用化学气相沉积(CVD)技术的钨(W)膜沉积是半导体制造工艺的不可或缺的部分。例如，钨膜可用作水平互连形式中的低电阻率电连接件，相邻金属层之间的通孔，以及第一金属层和硅衬底上的装置之间的触点。钨膜也可用在多种存储器应用中，包括用于动态随机存取存储器(DRAM)的掩埋字线(bWL)架构的形成、用于3D NAND的字线的形成、以及逻辑应用中。然而，特征尺寸和膜厚度的持续减小带来了各种挑战，这些挑战包括较薄的膜的较高的电阻率。诸如钼(Mo)之类的其他金属正受评估以作为W的低电阻率替代品。
[0003]这里提供的背景描述是为了总体呈现本公开的背景的目的。当前指定的专利技术人的工作在其在此
技术介绍
部分以及在提交申请时不能确定为现有技术的说明书的各方面中描述的范围内既不明确也不暗示地承认是针对本公开的现有技术。
技术实现思路
[0004]本说明书中所述的主题的一或更多实现方案的细节在附图及以下说明中阐述。通过说明书、附图、以及权利要求，其他特征、方面以及优点将变得显而易见。以下的非限制性实现方案被视为本公开内容的一部分；通过本公开内容全文及附图，其他实现方案将是明显的。
[0005]在一些实施方案中，可以提供一种喷头。该喷头可以包含：面板，其部分地由前表面和背表面限定，且具有多个面板通孔，所述多个面板通孔从所述前表面延伸穿过所述面板到达所述背表面；背板，其具有气体入口、第一圆锥台表面以及第二圆锥台表面；充气部容积，其流体连接至所述气体入口，且至少部分地由所述气体入口、所述面板的所述背表面、所述第一圆锥台表面、以及所述第二圆锥台表面限定；以及挡板，其位于所述充气部容积内，且部分地由顶表面和底表面限定，且具有多个挡板通孔，所述多个挡板通孔从所述顶表面延伸穿过所述挡板到达所述底表面。所述第二圆锥台表面可以相对于所述喷头的中心轴而从所述第一圆锥台表面径向地往外定位，所述第二圆锥台表面可以沿着所述中心轴而定位成比所述第一圆锥台表面更远离所述气体入口，所述第一圆锥台表面可以相对于所述中心轴而成第一角度，并且所述第二圆锥台表面可以相对于所述中心轴而成第二角度。
[0006]在一些实施方案中，所述第二圆锥台表面的内圆周可以相对于所述中心轴而从所述第一圆锥台表面的外圆周径向地往外定位。
[0007]在一些实施方案中，所述第一角度可以大于所述第二角度。
[0008]在一些这样的实施方案中，所述第一角度介于约50
°
至约90
°
之间，且所述第二角度介于约45
°
至约85
°
之间。
[0009]在一些实施方案中，所述背板还包含第三表面，其横跨于所述第一圆锥台表面与所述第二圆锥台表面之间。
[0010]在一些实施方案中，所述第三表面可以包含垂直于所述中心轴的平面部分。
[0011]在一些实施方案中，所述背板还可以包含第三圆锥台表面，其相对于所述中心轴而从所述第二圆锥台表面径向地往外定位，使得所述第二圆锥台表面径向地插入所述第一圆锥台表面与所述第三圆锥台表面之间，并且可以将所述第三圆锥台表面定位成相对于所述中心轴而成第三角度。
[0012]在一些这样的实施方案中，所述第三角度可以大于所述第一角度和所述第二角度。
[0013]在一些实施方案中，所述挡板的外缘可以相对于所述中心轴而从所述第一圆锥台表面径向地往外定位。
[0014]在一些这样的实施方案中，所述挡板的所述外缘可以相对于所述中心轴而定位成径向地插入所述第二圆锥台表面的内圆周与所述第二圆锥台表面的外圆周之间。
[0015]在一些实施方案中，所述挡板可以沿着所述中心轴而定位成使得所述第一圆锥台表面比所述挡板更靠近所述气体入口。
[0016]在一些这样的实施方案中，所述挡板的所述顶表面可以面对所述气体入口，且所述挡板的所述底表面可以面对所述面板，并且所述挡板还可以沿着所述中心轴而定位，使得所述挡板的所述顶表面沿着所述中心轴而介于所述第二圆锥台表面的内圆周与所述第二圆锥台表面的外圆周之间。
[0017]在还有的一些实施方案中，所述挡板还可以沿着所述中心轴定位，使得所述挡板的所述底表面比所述第二圆锥台表面的外圆周更远离所述气体入口。
[0018]在一些实施方案中，所述挡板还包含挡板圆锥台表面，其面对所述背板。
[0019]在一些这样的实施方案中，所述挡板圆锥台表面可以从所述中心轴偏移第四角度，其中所述第四角度与所述第二角度互补。
[0020]在一些实施方案中，所述多个挡板通孔可以具有随着所述径向位置相对于所述中心轴距离增大而增大的外径。
[0021]在一些这样的实施方案中，第一数量的挡板通孔可以定位于所述挡板的第一区段中，且具有第一外径，第二数量的挡板通孔可以定位于所述挡板的第二区段中，且具有第二外径，所述第二外径大于所述第一外径，并且所述第二区段可以相对于所述中心轴而从所述第一区段径向地往外偏移。
[0022]在还有的一些这样的实施方案中，所述第一外径可以介于约0.3mm至约0.65mm之间，且所述第二外径介于约0.5mm至约0.75mm之间。
[0023]在还有的一些这样的实施方案中，第三数量的挡板通孔可以定位于所述挡板的第三区段中，且具有第三外径，所述第三外径大于所述第二外径，并且所述第三区段可以相对于所述中心轴而从所述第二区段径向地往外偏移。
[0024]在一些实施方案中，所述第三外径介于约0.7mm至约1.1mm之间。
[0025]在一些实施方案中，所述第一圆锥台表面的内圆周可以部分地限定所述气体入口。
[0026]在一些实施方案中，所述面板还可以包含面板圆锥台表面，所述面板圆锥台表面
相对于所述中心轴而从所述面板的所述前表面径向地往外定位，且从所述中心轴偏移第五角度，所述第五角度大于90
°
。
[0027]在一些实施方案中，所述喷头还可以包含：端口，其包含第一端和位于第二端的开口，并且延伸通过所述面板，并且所述开口可以位于所述面板中且位于从所述前表面径向往外处，以及窗部，其定位成邻近所述端口的所述第一端。
[0028]在一些此类实施方案中，所述喷头还可以包含传感器，其定位成邻近所述窗部，使得所述窗部介于所述第一端与所述传感器之间。
[0029]在还有的一些这样的实施方案中，所述传感器可以被配置成判定以下一者或多者：所述开口外部的物体的距离、所述开口外部的温度、以及所述开口外部的气体种类。
[0030]在一些这样的实施方案中，所述窗部可以由包含蓝宝石的材料所制成。
[0031]在一些这样的实施方案中，所述喷头还可以包含三个端口和三个窗部。每个窗部可以被定位成邻近一个相应端口的所述第一端，并且所本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种喷头，其包含：面板，其部分地由前表面和背表面限定，且具有多个面板通孔，所述多个面板通孔从所述前表面延伸穿过所述面板到达所述背表面；背板，其具有气体入口、第一圆锥台表面以及第二圆锥台表面；充气部容积，其流体连接至所述气体入口，且至少部分地由所述气体入口、所述面板的所述背表面、所述第一圆锥台表面、以及所述第二圆锥台表面限定；以及挡板，其位于所述充气部容积内，且部分地由顶表面和底表面限定，且具有多个挡板通孔，所述多个挡板通孔从所述顶表面延伸穿过所述挡板到达所述底表面，其中：所述第二圆锥台表面相对于所述喷头的中心轴而从所述第一圆锥台表面径向地往外定位，所述第二圆锥台表面沿着所述中心轴而定位成比所述第一圆锥台表面更远离所述气体入口，所述第一圆锥台表面相对于所述中心轴而成第一角度，并且所述第二圆锥台表面相对于所述中心轴而成第二角度。2.根据权利要求1所述的喷头，其中所述第二圆锥台表面的内圆周相对于所述中心轴而从所述第一圆锥台表面的外圆周径向地往外定位。3.根据权利要求1所述的喷头，其中所述第一角度大于所述第二角度。4.根据权利要求3所述的喷头，其中所述第一角度介于约50
°
至约90
°
之间，且所述第二角度介于约45
°
至约85
°
之间。5.根据权利要求1所述的喷头，其中所述背板还包含第三表面，其横跨于所述第一圆锥台表面与所述第二圆锥台表面之间。6.根据权利要求5所述的喷头，其中所述第三表面包含垂直于所述中心轴的平面部分。7.根据权利要求1所述的喷头，其中：所述背板还包含第三圆锥台表面，其相对于所述中心轴而从所述第二圆锥台表面径向地往外定位，使得所述第二圆锥台表面径向地插入所述第一圆锥台表面与所述第三圆锥台表面之间，并且将所述第三圆锥台表面定位成相对于所述中心轴而成第三角度。8.根据权利要求7所述的喷头，其中所述第三角度大于所述第一角度和所述第二角度。9.根据权利要求1所述的喷头，其中所述挡板的外缘相对于所述中心轴而从所述第一圆锥台表面径向地往外定位。10.根据权利要求9所述的喷头，其中所述挡板的所述外缘相对于所述中心轴而定位成径向地插入所述第二圆锥台表面的内圆周与所述第二圆锥台表面的外圆周之间。11.根据权利要求1所述的喷头，其中所述挡板沿着所述中心轴而定位成使得所述第一圆锥台表面比所述挡板更靠近所述气体入口。12.根据权利要求11所述的喷头，其中：所述挡板的所述顶表面面对所述气体入口，且所述挡板的所述底表面面对所述面板，并且所述挡板还沿着所述中心轴而定位，使得所述挡板的所述顶表面沿着所述中心轴而插入在所述第二圆锥台表面的内圆周与所述第二圆锥台表面的外圆周之间。
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【专利技术属性】
技术研发人员：拉维，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：
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