一种运动平台的校准方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种运动平台的校准方法及装置，所述运动平台包括特征图案，所述校准方法包括：获取所述特征图案在标定图像中的基准位置，其中，标定图像由所述运动平台运动至预设坐标位置并采集得到；控制运动平台运动至预设坐标位置，并获取特征图案在测试图像中的当前位置；基于基准位置和当前位置之间的位置关系，获取运动平台的偏移信息；基于偏移信息校准运动平台。上述过程中，基于基准位置和当前位置之间的位置关系，获取运动平台的偏移信息；基于偏移信息校准所述运动平台，避免了运动平台受温度、导轨磨损等外部环境影响导致运动平台的预设坐标位置发生偏移，导致包含运动平台的测量设备测量的准确性降低的问题。平台的测量设备测量的准确性降低的问题。平台的测量设备测量的准确性降低的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种运动平台的校准方法及装置


[0001]本专利技术涉及检测
，尤其涉及一种运动平台的校准方法及装置。

技术介绍

[0002]通过电机水平运动平台X/Y STAGE以及与其独立悬挂的垂直运动平台(Z STAGE)构建的坐标系在检测领域有一定的应用，例如二维影像仪，三维轮廓度测量仪等。
[0003]但是，电机水平运动平台X/Y STAGE受温度、导轨磨损等外部环境影响，运动平台发生偏移，导致包含运动平台的测量设备测量的准确性降低。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术提供了一种运动平台的校准方法及装置，用以解决运动平台受温度、导轨磨损等外部环境影响，预设坐标位置发生偏移，导致包含运动平台的测量设备测量的准确性降低的问题。具体方案如下：
[0005]一种运动平台的校准方法，所述运动平台包括特征图案，所述校准方法包括：
[0006]获取所述特征图案在标定图像中的基准位置，其中，所述标定图像由所述运动平台运动至预设坐标位置并采集得到；
[0007]控制所述运动平台运动至所述预设坐标位置，并获取所述特征图案在测试图像中的当前位置；
[0008]基于所述基准位置和所述当前位置之间的位置关系，获取所述运动平台的偏移信息；
[0009]基于所述偏移信息校准所述运动平台。
[0010]上述的方法，可选的，所述基准位置为所述特征图案在所述标定图像中的基准像素坐标，所述当前位置为所述特征图案在所述测试图像中的当前像素坐标，基于所述基准位置和所述当前位置之间的位置关系，获取所述运动平台的偏移信息，包括：
[0011]分别将所述基准像素坐标转换为基准坐标，将所述当前像素坐标转换为当前坐标，所述基准坐标与所述当前坐标为所述运动平台的物理坐标下的坐标；
[0012]计算所述基准坐标和所述当前坐标之间的偏移信息。
[0013]上述的方法，可选的，所述当前像素坐标包括：第一当前像素坐标值和第二当前像素坐标值，所述当前坐标包括：第一当前坐标值和第二当前坐标值，将所述当前像素坐标转换为当前坐标，包括：
[0014]获取所述标定图像及所述测试图像的放大倍数和尺度因子，其中，所述尺度因子包括：第一尺度因子和第二尺度因子；
[0015]基于所述第一当前像素值、所述放大倍数和所述第一尺度因子确定所述第一当前坐标值；
[0016]基于所述第二当前像素值、所述放大倍数和所述第二尺度因子确定所述第二当前坐标值；
[0017]其中，所述第一当前坐标值和所述第二当前坐标值组成所述当前坐标。
[0018]上述的方法，可选的，所述基准位置为基准像素坐标，所述当前位置为当前像素坐标，基于所述基准位置和所述当前位置之间的位置关系，获取所述运动平台的偏移信息，包括：
[0019]计算所述基准像素坐标和所述当前像素坐标的图上偏移量；
[0020]获取所述标定图像及所述测试图像的放大倍数、尺度因子和像素阵列偏角；
[0021]基于所述放大倍数、所述尺度因子、所述像素阵列偏角和所述图上偏移量计算所述偏移信息。
[0022]上述的方法，可选的，基于所述偏移信息校准所述运动平台，包括：
[0023]基于所述偏移信息校准所述预设坐标位置的初始坐标；或者基于所述偏移信息校准基于所述预设坐标位置获取的测量结果。
[0024]一种运动平台的校准装置，所述运动平台包括特征图案，所述校准装置包括：
[0025]位置获取模块，用于获取所述特征图案在标定图像中的基准位置，其中，所述标定图像由所述运动平台运动至预设坐标位置并采集得到；
[0026]控制器，用于控制所述运动平台运动至所述预设坐标位置；
[0027]处理器，用于获取所述特征图案在测试图像中的当前位置，基于所述基准位置和所述当前位置之间的位置关系，获取所述运动平台的偏移信息，基于所述偏移信息校准所述运动平台。
[0028]上述的装置，可选的，所述基准位置为所述特征图案在所述标定图像中的基准像素坐标，所述当前位置为所述特征图案在所述测试图像中的当前像素坐标，所述处理器用于分别将所述基准像素坐标转换为基准坐标，将所述当前像素坐标转换为当前坐标，所述基准坐标与所述当前坐标为所述运动平台的物理坐标下的坐标，计算所述基准坐标和所述当前坐标之间的偏移信息。
[0029]上述的装置，可选的，所述当前像素坐标包括：第一当前像素坐标值和第二当前像素坐标值，所述处理器中将所述当前像素坐标转换为当前坐标包括：获取所述标定图像及所述测试图像的放大倍数和尺度因子，其中，所述尺度因子包括：第一尺度因子和第二尺度因子，基于所述第一当前像素值、所述放大倍数和所述第一尺度因子确定所述第一当前坐标值，基于所述第二当前像素值、所述放大倍数和所述第二尺度因子确定所述第二当前坐标值；
[0030]其中，所述第一当前坐标值和所述第二当前坐标值组成所述当前坐标。
[0031]上述的装置，可选的，所述基准位置为基准像素坐标，所述当前位置为当前像素坐标，所述处理器用于计算所述基准像素坐标和所述当前像素坐标的图上偏移量，获取所述标定图像及所述测试图像的放大倍数、尺度因子和像素阵列偏角，基于所述放大倍数、所述尺度因子、所述像素阵列偏角和所述图上偏移量计算所述偏移信息。
[0032]上述的装置，可选的，所述处理器用于基于所述偏移信息校准所述预设坐标位置的初始坐标；或者基于所述偏移信息校准基于所述预设坐标位置获取的测量结果。
[0033]与现有技术相比，本专利技术包括以下优点：
[0034]本专利技术公开了一种运动平台的校准方法及装置，所述运动平台包括特征图案，所述校准方法包括：获取所述特征图案在标定图像中的基准位置，其中，所述标定图像由所述
运动平台运动至预设坐标位置并采集得到；控制所述运动平台运动至所述预设坐标位置，并获取所述特征图案在测试图像中的当前位置；基于所述基准位置和所述当前位置之间的位置关系，获取所述运动平台的偏移信息；基于所述偏移信息校准所述运动平台。上述过程中，基于基准位置和当前位置之间的位置关系，获取所述运动平台的偏移信息；基于偏移信息校准所述运动平台，避免了运动平台受温度、导轨磨损等外部环境影响导致发生偏移，并进一步导致包含运动平台的测量设备测量的准确性降低的问题。
[0035]当然，实施本专利技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
[0036]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0037]图1为本申请实施例公开的一种运动平台的校准方法流程图；
[0038]图2为本申请实施例公开的一种运动平台的校准方法又一流程图；
[0039]图3为本申请实施例公开的一种水平本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种运动平台的校准方法，其特征在于，所述运动平台包括特征图案，所述校准方法包括：获取所述特征图案在标定图像中的基准位置，其中，所述标定图像由所述运动平台运动至预设坐标位置并采集得到；控制所述运动平台运动至所述预设坐标位置，并获取所述特征图案在测试图像中的当前位置；基于所述基准位置和所述当前位置之间的位置关系，获取所述运动平台的偏移信息；基于所述偏移信息校准所述运动平台。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基准位置为所述特征图案在所述标定图像中的基准像素坐标，所述当前位置为所述特征图案在所述测试图像中的当前像素坐标，基于所述基准位置和所述当前位置之间的位置关系，获取所述运动平台的偏移信息，包括：分别将所述基准像素坐标转换为基准坐标，将所述当前像素坐标转换为当前坐标，所述基准坐标与所述当前坐标为所述运动平台的物理坐标下的坐标；计算所述基准坐标和所述当前坐标之间的偏移信息。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述当前像素坐标包括：第一当前像素坐标值和第二当前像素坐标值，所述当前坐标包括：第一当前坐标值和第二当前坐标值，将所述当前像素坐标转换为当前坐标，包括：获取所述标定图像及所述测试图像的放大倍数和尺度因子，其中，所述尺度因子包括：第一尺度因子和第二尺度因子；基于所述第一当前像素值、所述放大倍数和所述第一尺度因子确定所述第一当前坐标值；基于所述第二当前像素值、所述放大倍数和所述第二尺度因子确定所述第二当前坐标值；其中，所述第一当前坐标值和所述第二当前坐标值组成所述当前坐标。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基准位置为基准像素坐标，所述当前位置为当前像素坐标，基于所述基准位置和所述当前位置之间的位置关系，获取所述运动平台的偏移信息，包括：计算所述基准像素坐标和所述当前像素坐标的图上偏移量；获取所述标定图像及所述测试图像的放大倍数、尺度因子和像素阵列偏角；基于所述放大倍数、所述尺度因子、所述像素阵列偏角和所述图上偏移量计算所述偏移信息。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，基于所述偏移信息校准所述运动平台，包括：基于所述偏移信息校准所述预设坐标位置的初始坐标...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，刘欢敏，贺金龙，李青格乐，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：