本发明专利技术属于光学薄膜技术领域，具体公开了一种防污膜镀膜装置及镀膜方法，包括腔体，腔体内部设有坩埚、石墨盒和加热装置；坩埚内设有凹槽，凹槽内设有石墨盒；石墨盒内设有防污膜药丸，石墨盒顶部设有出气孔；坩埚外部设有加热装置。具体包括以下步骤：将防污膜药丸放置在石墨盒中；将石墨盒放在坩埚的凹槽中；将装有石墨盒的坩埚进行真空处理；通过加热装置加热石墨盒，石墨盒受热使防污膜药丸上的防污膜药液从出气孔中蒸发出来，从而将防污膜镀到产品上。本发明专利技术通过石墨盒和上方设置的出气孔，同时通过加热石墨盒间接加热内部的防污膜药丸，可以使防污膜药水均匀稳定排出，防污膜药丸利用率更高。药丸利用率更高。药丸利用率更高。
【技术实现步骤摘要】
一种防污膜镀膜装置及镀膜方法
[0001]本专利技术属于光学薄膜
，具体涉及一种防污膜镀膜装置及镀膜方法。
技术介绍
[0002]防污膜，又称疏(憎)水膜或者防指纹膜，主要通过真空镀膜的技术将有机氟化物材料沉积到基材上，使表面具有防水、防油、防刮、防指纹、防污染以及易清洁等功能。
[0003]现有防污膜镀膜技术常采用加热阻蒸的方法进行镀膜，使用时将防污膜药丸放到阻蒸的蒸发舟上，通过加热阻蒸，然后热传导到铜载体，使防污膜药丸内的防污膜药水以气体的形势蒸发，沉积到基板表面，生成防污膜。阻蒸系统使用时的所需电流较高，且阻蒸系统不是蒸发镀膜机的必要部件，需要使用阻蒸系统时还需要单独安装，导致成本增高。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于，提供一种防污膜镀膜装置及镀膜方法，以解决现有防污膜镀膜技术成本高，防污膜药丸利用率低的技术问题。
[0005]第一方面，防污膜镀膜装置，包括腔体，所述腔体内部设有坩埚、石墨盒和加热装置，所述坩埚内设有凹槽，所述凹槽内设有石墨盒；
[0006]所述石墨盒内设有防污膜药丸，所述石墨盒顶部设有出气孔；
[0007]所述坩埚外部设有加热装置。
[0008]本专利技术的进一步改进在于：所述加热装置为电子枪。
[0009]本专利技术的进一步改进在于：所述石墨盒包括上盖和下底，上盖和下底之间通过嵌套连接。
[0010]本专利技术的进一步改进在于：所述上盖的上表面为倾斜面，所述出气孔设置在上盖上表面高的一侧。
[0011]本专利技术的进一步改进在于：所述防污膜药丸包括导热载体，所述导热载体中部设有钢丝绒，所述钢丝绒内储存有防污膜药水。
[0012]本专利技术的进一步改进在于：所述导热载体为环形。
[0013]本专利技术的进一步改进在于：所述导热载体由铜材料制成。
[0014]第二方面，一种防污膜镀膜方法，具体包括以下步骤：
[0015]将防污膜药丸放置在石墨盒中；
[0016]将石墨盒放在坩埚的凹槽中；
[0017]将装有石墨盒的坩埚(5)放入腔体内，并封闭腔体对腔体内进行真空处理；
[0018]通过加热装置加热石墨盒，石墨盒受热使防污膜药丸上的防污膜药液从出气孔中蒸发出来，从而将防污膜镀到产品上。
[0019]本专利技术的进一步改进在于：加热装置为电子枪时，电子枪光斑打在上盖倾斜面低的一侧。
[0020]本专利技术的进一步改进在于：加热装置为电子枪时，在通过加热装置加热石墨盒前，
调整电子枪能量参数。
[0021]与现有技术相比，本专利技术至少包括以下有益效果：
[0022]1、本专利技术通过石墨盒和上方设置的出气孔，同时通过加热石墨盒间接加热内部的防污膜药丸，可以使防污膜药水均匀稳定排出，防污膜药丸利用率更高；
[0023]2、本专利技术采用电子枪进行加热，电子枪所需电流小仅需10mA左右电流，而阻蒸系统需要200mA；
[0024]3、本专利技术通过电子枪进行加热，电子枪是蒸发镀膜机的必需部件，无需配置新部件，节约成本；
[0025]4、本专利技术通过设置石墨盒保护防污膜药丸，避免电子枪直接加热防污膜药丸，导致钢丝绒被击穿。
附图说明
[0026]构成本专利技术的一部分的说明书附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：
[0027]图1为本专利技术一种防污膜镀膜装置中坩埚的结构示意图；
[0028]图2为本专利技术一种防污膜镀膜装置中石墨盒的结构示意图；
[0029]图3为本专利技术一种防污膜镀膜装置中防污膜药丸的结构示意图；
[0030]图4为本专利技术一种防污膜镀膜方法的流程图。
[0031]图中：1、钢丝绒；2、导热载体；3、出气孔；41、上盖；42、下底；5、坩埚；51、凹槽。
具体实施方式
[0032]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本专利技术。需要说明的是，在不冲突的情况下，本专利技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0033]以下详细说明均是示例性的说明，旨在对本专利技术提供进一步的详细说明。除非另有指明，本专利技术所采用的所有技术术语与本专利技术所属领域的一般技术人员的通常理解的含义相同。本专利技术所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而并非意图限制根据本专利技术的示例性实施方式。
[0034]实施例1
[0035]如图1
‑
3所示，一种防污膜镀膜装置，腔体，腔体内部设有坩埚(5)、石墨盒和加热装置；
[0036]坩埚5内设有凹槽51，凹槽51内设有石墨盒；
[0037]石墨盒内设有防污膜药丸，石墨盒顶部设有出气孔3；
[0038]坩埚5外部设有加热装置。
[0039]加热装置用于使石墨盒升温。
[0040]加热装置为电子枪，电子枪将电子束打在石墨盒表面，使石墨盒升温；
[0041]采用电子枪作为加热装置是因为电子枪是蒸发镀膜机的核心部件，每台蒸发镀膜机必须有的，而阻蒸是选配的部件，降低所需机台的配置，且电子枪所需的电流仅10mA远小于阻蒸系统的200mA，节约成本；
[0042]使用电子枪前应先调节参数保证安全。
[0043]石墨盒为空心圆柱体，包括上盖41和下底42，上盖41和下底42之间通过嵌套连接，上盖41和下底42外径大小相同，上盖41和下底42通过嵌套连接后，能放置防污膜药水蒸气不会从石墨盒侧面泄露。
[0044]上盖41的上表面为倾斜面，出气孔3设置在上盖41上表面高的一侧；
[0045]相对于直接将防污膜药丸放入坩埚5中不使用石墨盒的话，电子枪发出的电子束集中容易打穿钢丝绒1，而且只能蒸发这一点上钢丝绒1吸附的药液，造成浪费且不稳定，有石墨盒可以解决这一问题，使导热载体2全面受热，蒸发出气态的药液从出气孔3发出也更加稳定。
[0046]防污膜药丸包括导热载体2，导热载体中部设有钢丝绒1，钢丝绒1内储存有防污膜药水。
[0047]导热载体2为环形或其他封闭图形，导热载体2的外径小于石墨盒的内径，使导热载体能完整地放入石墨盒中；
[0048]导热载体2由铜材料制成。
[0049]实施例2
[0050]如图4所示，一种防污膜镀膜方法，具体包括以下步骤：
[0051]将防污膜药丸放置在石墨盒中；
[0052]将石墨盒放在坩埚5的凹槽51中；
[0053]将装有石墨盒的坩埚5放入腔体内，并封闭腔体对腔体内进行真空处理；
[0054]通过加热装置加热石墨盒，石墨盒受热使防污膜药丸上的防污膜药液从出气孔中蒸发出来，从而将防污膜镀到产品上。
[0055]加热装置为电子枪时，电子枪光斑打在上盖41倾斜面低的一侧。
[0056]对装有石墨盒的坩埚5进行真空处理时，可以将装有石墨盒的坩埚5放入真空室中进行抽真空。
[0057]将防污膜镀到产品上本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种防污膜镀膜装置，其特征在于，包括腔体，所述腔体内部设有坩埚(5)、石墨盒和加热装置，所述坩埚(5)内设有凹槽(51)，所述凹槽(51)内设有石墨盒；所述石墨盒内设有防污膜药丸，所述石墨盒顶部设有出气孔(3)；所述坩埚(5)外部设有加热装置。2.根据权利要求1所述的一种防污膜镀膜装置，其特征在于，所述加热装置为电子枪。3.根据权利要求1所述的一种防污膜镀膜装置，其特征在于，所述石墨盒包括上盖(41)和下底(42)，上盖(41)和下底(42)之间通过嵌套连接。4.根据权利要求3所述的一种防污膜镀膜装置，其特征在于，所述上盖(41)的上表面为倾斜面，所述出气孔(3)设置在上盖(41)上表面高的一侧。5.根据权利要求1所述的一种防污膜镀膜装置，其特征在于，所述防污膜药丸包括导热载体(2)，所述导热载体中部设有钢丝绒(1)，所述钢丝绒(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔户丹，王鹏涛，张景涛，
申请(专利权)人：华天慧创科技西安有限公司，
类型：发明
国别省市：
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