本实用新型专利技术提供一种芯片背面检测装置，属于检测装置结构领域。本实用新型专利技术包括工作台、设置在工作台上的二维运动模组，设置在所述二维运动模组上、由所述二维运动模组平面驱动的固定板，所述固定板下方设有旋转组件，所述旋转组件下方设有、由所述旋转组件驱动旋转的吸附组件，还包括Z轴运动模组，由所述Z轴运动模组驱动上下运动的检测组件，所述检测组件设置在所述吸附组件下方，朝向所述吸附组件设置。本实用新型专利技术的有益效果为：大大提高了检测效率。率。率。
【技术实现步骤摘要】
一种芯片背面检测装置
[0001]本技术涉及一种检测装置，尤其涉及一种芯片背面检测装置。
技术介绍
[0002]目前，已经有四、六寸芯片单面检测设备，但是，通常是将产品正面检测完，然后通过翻转治具将产品翻转，然后，在正面检测装置上进行背面检测，在一套设备上进行正面和背面检测，上料、正面检测、背面检测和下料都在一个平台上完成，通常一个工序完成才能进行下一道工序，检测效率比较低。
[0003]此外，如果翻转产品的话，需要在背面检测完，翻转一次，然后硬接触检测台，等背面检测完，还需要翻转到正面输送到下一工序，多次翻转，容易造成产品的接触摩擦，甚至损坏，从而影响芯片的外观和质量。
技术实现思路
[0004]为解决现有技术中的检测效率低问题，本技术提供一种芯片背面检测装置。
[0005]本技术包括工作台、设置在工作台上的二维运动模组，设置在所述二维运动模组上、由所述二维运动模组平面驱动的固定板，所述固定板下方设有旋转组件，所述旋转组件下方设有、由所述旋转组件驱动旋转的吸附组件，还包括Z轴运动模组，由所述Z轴运动模组驱动上下运动的检测组件，所述检测组件设置在所述吸附组件下方，朝向所述吸附组件设置。
[0006]本技术作进一步改进，还包括设置在所述工作台下方的气源减震垫。
[0007]本技术作进一步改进，所述工作台为中空的U型大理石平台，所述旋转组件、吸附组件、检测组件均设置在中空区域。
[0008]本技术作进一步改进，所述二维运动模组包括设置在U型大理石平台侧面的X轴直线运动模组，所述U型大理石两个立柱顶面设有X轴导轨，Y轴直线运动模组的两端设置在两侧的X轴导轨上，由所述X轴直线运动模组驱动沿X向导轨运动。
[0009]本技术作进一步改进，所述Y轴直线运动模组包括Y轴直线电机组件及由Y轴直线电机组件驱动的两条Y轴导轨，所述固定板的两端分别设置在两条Y轴导轨上，所述旋转组件通过固定板设置在所述Y轴导轨中间。
[0010]本技术作进一步改进，所述X轴导轨上设有调整架，所述调整架上设有若干组用于固定Y轴导轨的固定孔，远离Y轴直线电机组件的Y轴导轨通过固定孔调整与另一个Y轴导轨的宽度并固定。
[0011]本技术作进一步改进，两组固定孔之间设有减重孔，所述X轴导轨和Y轴导轨两端均设有缓冲结构和限位结构。
[0012]本技术作进一步改进，所述Z轴运动模组为气缸组件，所述检测组件为相机镜头检测组件，通过滑块固定在所述气缸组件的驱动轴上。
[0013]本技术作进一步改进，还包括设置在所述工作台附近的双臂机械手，所述双
臂机械手包括分别用于同步上料和下料的两个机械手组件。
[0014]本技术作进一步改进，所述双臂机械手还包括手臂安装板、设置在手臂安装板下方的控制结构，机械手组件并列设置在手臂安装板上方，所述机械手组件包括手臂组件和设置在手臂末端的手指组件，所述手指组件设有一对与物料外周形状相同的仿形夹指。
[0015]与现有技术相比，本技术的有益效果是：不需要翻转物料的前提下，能够进行产品的背面检测，减少了设备的接触摩擦损坏概率；本技术在正面检测完，通过双臂机械手将物料转运至本技术的背面检测装置上，能够在一台设备上同时进行正反面检测，大大提高了检测效率。
附图说明
[0016]图1为本技术结构示意图；
[0017]图2为本技术侧面结构示意图；
[0018]图3为本技术双臂机械手结构示意图。
具体实施方式
[0019]下面结合附图和实施例对本技术做进一步详细说明。
[0020]如图1
‑
2所示，本技术包括大理石工作台302、设置在大理石工作台302上的二维运动模组，设置在所述二维运动模组上、由所述二维运动模组平面驱动的固定板311，所述固定板311下方设有马达旋转组件304，所述马达旋转组件304下方设有、由所述马达旋转组件304驱动旋转的吸附组件306。
[0021]本例的大理石工作台302为中空的U型大理石平台，所述马达旋转组件304、吸附组件306设置在中空区域317。在中空区域的中部、吸附组件306下方还设有Z轴气缸组件307，用于检测芯片物料背面的相机检测组件308设置在所述Z轴气缸组件307的驱动轴上，相机镜头朝向所述吸附组件306设置。
[0022]为了使平台运行更加稳固，本例在大理石工作台302下方还设有若干个支撑大理石工作台302的气源减震垫303。
[0023]优选的，本例二维运动模组包括设置在U型大理石平台侧面的X轴直线电机组件305，所述U型大理石两个立柱顶面设有X轴导轨313，Y轴直线运动模组的两端设置在两侧的X轴导轨313上，由所述X轴直线电机组件305驱动沿X向导轨313运动。
[0024]在本例的X向导轨313两端还设有限位固定板314，在所述限位固定板314内侧还设有缓冲块。
[0025]本例的Y轴直线运动模组包括Y轴直线电机组件301及由Y轴直线电机组件301驱动的两条Y轴导轨312，所述固定板311的两端分别设置在两条Y轴导轨312上，并通过转接板与Y轴直线电机组件301上的滑块固定连接，所述马达旋转组件304通过固定板311设置在两条Y轴导轨312中间。
[0026]本例的Y轴导轨两端同样设有缓冲块310，此外，在缓冲块310的外侧还设有到位检测结构309，使二维运动模组的运动更加平稳和可靠。
[0027]作为本技术的一个优选实施例，所述X轴导轨313上设有调整架315，所述调整
架315上设有若干组用于固定Y轴导轨312的固定孔316，远离Y轴直线电机组件301的Y轴导轨312通过固定孔316调整与另一个Y轴导轨的宽度并固定。从而适应不同行程和不同物料的大小。
[0028]每组固定孔316包括若干个Y向排列的固定孔，从而对Y向的安装位置微调。本例的两组固定孔之间设有减重孔，保证运动稳定性的基础上，进一步降低物料所需，减重的同时降低设备成本。
[0029]如图3所示，本例的背面检测装置还包括设置在所述工作台附近的双臂机械手，所述双臂机械手包括分别用于同步上料和下料的两个机械手组件401。
[0030]所述双臂机械手还包括手臂安装板402、设置在手臂安装板402下方的控制结构403，机械手组件401并列设置在手臂安装板402上方，所述机械手组件401包括手臂组件和设置在手臂末端的手指组件404，所述手指组件404设有一对与物料外周形状相同的仿形夹指。本例的芯片物料为圆形，因此，本例的两个仿形夹指404组合成半圆形的结构，对芯片物料的侧面进行夹取。
[0031]本例的工作过程为：
[0032]当物料完成正面检测后，其中一个机械手组件401将物料取出并运输到背面检测装置上，同时另外一个机械手组件401将待检的物料放到正面检测平台上。正面检测平台对物料进行正面检测。...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种芯片背面检测装置，其特征在于：包括工作台、设置在工作台上的二维运动模组，设置在所述二维运动模组上、由所述二维运动模组平面驱动的固定板，所述固定板下方设有旋转组件，所述旋转组件下方设有、由所述旋转组件驱动旋转的吸附组件，还包括Z轴运动模组，由所述Z轴运动模组驱动上下运动的检测组件，所述检测组件设置在所述吸附组件下方，朝向所述吸附组件设置。2.根据权利要求1所述的芯片背面检测装置，其特征在于：还包括设置在所述工作台下方的气源减震垫。3.根据权利要求1所述的芯片背面检测装置，其特征在于：所述工作台为中空的U型大理石平台，所述旋转组件、吸附组件、检测组件均设置在中空区域。4.根据权利要求3所述的芯片背面检测装置，其特征在于：所述二维运动模组包括设置在U型大理石平台侧面的X轴直线运动模组，所述U型大理石两个立柱顶面设有X轴导轨，Y轴直线运动模组的两端设置在两侧的X轴导轨上，由所述X轴直线运动模组驱动沿X向导轨运动。5.根据权利要求4所述的芯片背面检测装置，其特征在于：所述Y轴直线运动模组包括Y轴直线电机组件及由Y轴直线电机组件驱动的两条Y轴导轨，所述固定板的两端分别设置在两条Y轴导轨上...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄剑锋，关巍，湛思，陈超科，唐博识，
申请(专利权)人：深圳市智立方自动化设备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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