一种蒸镀破片检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种蒸镀破片检测装置，包括腔体和机械手，所述腔体内设有用于放置玻璃基板的承接托盘，所述机械手用于将玻璃基板放置在承接托盘上；所述承接托盘和机械手的四个承接脚上均安装有压力检测装置，压力检测装置用于分别测试四个承接脚上的压力，压力检测装置与设备控制端电性连接；本实用新型专利技术提供的一种蒸镀破片检测装置，本实用新型专利技术在玻璃基板进入腔体之后，通过压力检测装置反馈装置，检测玻璃基板给予承接托盘的接触的压力，反馈出玻璃基板有无破裂，叠层，滑片等异常现象，及时反馈制程的状态，有利保护机台内部贵重的机构（蒸镀MASK），减少异常破片对机台的伤害，提高机台的稼动率。机台的稼动率。机台的稼动率。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀破片检测装置


[0001]本技术属于OLED显示器
，具体涉及一种蒸镀破片检测装置。

技术介绍

[0002]目前随着显示技术的发展，OLED显示器具备自发光特性，低功耗，宽视角，响应速度快，超轻期薄，抗震性好，可实现柔性显示与大面积全色显示等优势，被业界公认为是最有发展潜力的显示装置显示面板行业中。
[0003]其中OLED显示器包含TFT驱动电路，OLED发光器件，在制备TFT器件器件线路时，需要借助PVD/CVD设备进行TF（镀膜），曝光机进行Photo（曝光显影），DRY设备进行Etch（干刻蚀刻），制备OLED发光器件多采用蒸镀真空设备进行蒸镀，所使用的设备大多数为真空设备，或者需要在密闭腔室内完成制程；
[0004]在器件制备过程中需要采用铟瓦合金制作的MASK遮挡非成膜区域，并且蒸镀MASK，玻璃基板，磁铁吸盘三者压合在一起，起到承接基板防止基板裂片和滑片以及避免Showde affect的作用；但是玻璃基板传过程中多采用光栅以及光电检测sensor在玻璃基板的底部和顶部检测反馈玻璃的状态，以实现玻璃基板在机械手以及设备各个腔体内部来回传送换片，在蒸镀制程中蒸镀MASK，玻璃基板，磁铁吸盘三者压合在一起时，顶部和底部均被遮挡无法设置光栅以及光电检测sensor，无法检测制程中的玻璃有无破裂，这导致机台进行下一步动作，直接导致玻璃碎片撞击着机台内部结构，导致机台内部结构损伤，MASK划伤戳伤等异常报废；为此，我们提出一种蒸镀破片检测装置，以解决上述
技术介绍
中提到的问题。
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技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种蒸镀破片检测装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种蒸镀破片检测装置，包括腔体和机械手，所述腔体内设有用于放置玻璃基板的承接托盘，所述机械手用于将玻璃基板放置在承接托盘上；
[0007]所述承接托盘和机械手的四个承接脚上均安装有压力检测装置，压力检测装置用于分别测试四个承接脚上的压力，压力检测装置与设备控制端电性连接；
[0008]所述腔体内设有位于承接托盘上方的磁铁吸盘、位于承接托盘下方的蒸镀MASK、位于蒸镀MASK正下方的坩埚蒸发源，所述腔体底部设有pump抽气管道。
[0009]所述玻璃基板的密度为2.5克/立方厘米，玻璃基板的长宽高分别为470毫米、365毫米、0.5毫米。2.5G玻璃的体积=长
×
宽
×
高，即其体积=470毫米
×
365毫米
×
0.5毫米=85.775立方厘米，因此2.5G玻璃重量约为214克，其重力为G=mg=2.14N，因此可设立检测装置的压力规格质值为0.53
±
0.03，其规格值可根据不同世代玻璃的重力值而灵活设置。
[0010]所述压力检测装置检测玻璃基板给与的压力值小于规格值时，表示此处玻璃基板
有位移或者此处的玻璃基板已近发生破裂。
[0011]一种蒸镀破片检测装置的检测方法，具体包括以下步骤：
[0012]S1、玻璃基板通过机械手进入腔体，并且机械手携带玻璃基板插入承接托盘，机械手往下降落并将玻璃基板放置在承接托盘之上，机械手缩回；
[0013]S2、承接托盘和机械手的四个承接脚上安装有压力检测装置，压力检测装置可以分别测试四个承接脚上的压力；每个承接脚之上的压力检测装置单独控制并反馈信息，压力检测装置检测玻璃基板给与的压力值小于规格值时，表示此处玻璃基板有位移或者此处的玻璃基板已近发生破裂，此时设备控制端接收到压力检测装置反馈的信息，设备控制端控制腔体制程中止并发出破片或者玻璃滑片警报，有效阻止碎片玻璃基板进一步破碎，保护了机台内部结构不被碎片玻璃划伤；
[0014]当压力检测装置检测到玻璃基板给与的压力值大于规格值时，此时表示此处的玻璃基板叠片或者玻璃基板破碎，破碎的玻璃基板叠加在一起增加了该处玻璃基板的重力，导致该处压力检测装置检测的压力异常变大，此时设备控制端接收到压力检测装置反馈的信息，设备控制端控制腔体制程中止并发破片或者发出玻璃叠片警报，有效阻止碎片玻璃基板进一步破碎，保护了机台内部结构不被碎片玻璃划伤。
[0015]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术提供的一种蒸镀破片检测装置，本技术在玻璃基板进入腔体之后，通过压力检测装置反馈装置，检测玻璃基板给予承接托盘的接触的压力，反馈出玻璃基板有无破裂，叠层，滑片等异常现象，及时反馈制程的状态，有利保护机台内部贵重的机构（蒸镀MASK），减少异常破片对机台的伤害，提高机台的稼动率。
附图说明
[0016]图1为本技术机械手将玻璃基板放在承接托盘时的整体正视结构示意图；
[0017]图2为本技术玻璃基板放在承接托盘后的正视结构示意图；
[0018]图3为本技术机械手将玻璃基板放在承接托盘时的局部俯视结构示意图。
[0019]图中：1、坩埚蒸发源；2、蒸镀MASK；3、承接托盘；4、机械手；5、玻璃基板；6、磁铁吸盘；7、腔体；8、pump抽气管道。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]本技术提供了如图1
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3的一种蒸镀破片检测装置，包括腔体7和机械手4，所述腔体7内设有用于放置玻璃基板5的承接托盘3，所述机械手4用于将玻璃基板5放置在承接托盘3上；
[0022]所述承接托盘3和机械手4的四个承接脚上均安装有压力检测装置，压力检测装置用于分别测试四个承接脚上的压力，压力检测装置与设备控制端电性连接；
[0023]所述腔体7内设有位于承接托盘3上方的磁铁吸盘6、位于承接托盘3下方的蒸镀
MASK 2、位于蒸镀MASK 2正下方的坩埚蒸发源1，所述腔体7底部设有pump抽气管道8。
[0024]所述玻璃基板5的密度为2.5克/立方厘米，玻璃基板5的长宽高分别为470毫米、365毫米、0.5毫米。2.5G玻璃的体积=长
×
宽
×
高，即其体积=470毫米
×
365毫米
×
0.5毫米=85.775立方厘米，因此2.5G玻璃重量约为214克，其重力为G=mg=2.14N，因此可设立检测装置的压力规格质值为0.53
±
0.03，其规格值可根据不同世代玻璃的重力值而灵活设置。
[0025]所述压力检测装置检测玻璃基板5给与的压力值小于规格值时，表示此处玻璃基板5有位移或者此处的玻璃基板5已近发生破裂。
[0026]一种蒸镀破本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀破片检测装置，包括腔体（7）和机械手（4），其特征在于：所述腔体（7）内设有用于放置玻璃基板（5）的承接托盘（3），所述机械手（4）用于将玻璃基板（5）放置在承接托盘（3）上；所述承接托盘（3）和机械手（4）的四个承接脚上均安装有压力检测装置，压力检测装置用于分别测试四个承接脚上的压力，压力检测装置与设备控制端电性连接；所述腔体（7）内设有位于承接托盘（3）上方的磁铁吸盘（6）、位于承接托盘（3）下方的蒸镀MASK（2）、位于蒸镀M...

【专利技术属性】
技术研发人员：温质康，庄丹丹，乔小平，苏智昱，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：新型
国别省市：