一种新型多级罗茨真空泵制造技术

本发明专利技术涉及真空技术领域，具体地说是一种新型多级罗茨真空泵，包括壳体、驱动组件、主动轴和从动轴，其中主动轴和从动轴设于壳体中并通过驱动组件驱动转动，主动轴上依次设有主动螺杆转子、主动扭叶罗茨转子和主动罗茨转子，从动轴上依次设有从动螺杆转子、从动扭叶罗茨转子和从动罗茨转子，且主动螺杆转子与从动螺杆转子啮合，主动扭叶罗茨转子与从动扭叶罗茨转子啮合，主动罗茨转子与从动罗茨转子啮合，壳体内部通过隔板分成第一泵腔和第二泵腔，且各个螺杆转子设于第一泵腔中，各个罗茨转子和各个扭叶罗茨转子设于第二泵腔中，第一泵腔设有排气口，第二泵腔设有进气口，隔板上设有流通孔。本发明专利技术在较宽的压力范围内有较大的抽速，且运行平稳。且运行平稳。且运行平稳。

【技术实现步骤摘要】
一种新型多级罗茨真空泵


[0001]本专利技术涉及真空
，具体地说是一种新型多级罗茨真空泵。

技术介绍

[0002]近年来随着半导体等行业的发展，真空获得技术在生产中的应用也越来越广泛，其中干式真空泵是最普遍、应用最广范的真空获得设备。目前市场上大多干式真空泵为罗茨泵或螺杆泵，其不能在较宽的压力范围内获得较大的抽速并且能耗较大，如果使用罗茨与螺杆机组组合，又存在占地面积大、噪声振动严重的问题。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种新型多级罗茨真空泵，在较宽的压力范围内有较大的抽速，具有较高的气体压缩转移效率，能够保证转子之间的平衡，防止真空泵出现振动和噪音，且保证工作过程中副产物顺利排出。
[0004]本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的：
[0005]一种新型多级罗茨真空泵，包括壳体、驱动组件、主动轴和从动轴，其中主动轴和从动轴均设于所述壳体中且通过所述驱动组件驱动同步反向转动，所述主动轴上依次设有主动螺杆转子、主动扭叶罗茨转子和主动罗茨转子，所述从动轴上依次设有从动螺杆转子、从动扭叶罗茨转子和从动罗茨转子，且所述主动螺杆转子与从动螺杆转子啮合，所述主动扭叶罗茨转子与从动扭叶罗茨转子啮合，所述主动罗茨转子与从动罗茨转子啮合，壳体内部通过隔板分成第一泵腔和第二泵腔，且所述主动螺杆转子和从动螺杆转子设于第一泵腔中，所述主动扭叶罗茨转子、主动罗茨转子、从动扭叶罗茨转子和从动罗茨转子设于第二泵腔中，所述第一泵腔设有排气口，所述第二泵腔设有进气口，所述隔板上设有流通孔。
[0006]所述主动罗茨转子和主动扭叶罗茨转子为一体结构，所述从动罗茨转子和从动扭叶罗茨转子也为一体结构。
[0007]所述主动罗茨转子、主动扭叶罗茨转子、从动罗茨转子和从动扭叶罗茨转子端面型线一致。
[0008]所述主动轴上设有多级主动罗茨转子，所述从动轴上设有多级从动罗茨转子，各级主动罗茨转子与对应的从动罗茨转子啮合。
[0009]所述第二泵腔内通过隔板分隔成多个腔体，且每级主动罗茨转子和从动罗茨转子置于对应的腔体中。
[0010]所述进气口中心轴线和排气口中心轴线垂直设置。
[0011]所述第二泵腔靠近第一泵腔一端设有与所述流通孔连通的凹槽。
[0012]所述第一泵腔侧壁和第二泵腔侧壁均设有水冷通道。
[0013]所述驱动组件包括电机、主动齿轮和从动齿轮，主动轴与电机输出轴连接，主动齿轮套装于主动轴轴端，从动齿轮套装于从动轴轴端，且所述主动齿轮与从动齿轮啮合。
[0014]在所述壳体一端设有齿轮室，所述主动齿轮和从动齿轮设于所述齿轮室中。
[0015]本专利技术的优点与积极效果为：
[0016]1、本专利技术包括螺杆转子、扭叶罗茨转子和罗茨转子，其中扭叶罗茨转子和罗茨转子形成的复合结构在增大真空泵抽速的同时降低了其流量脉动系数与压力脉动系数，运行更加稳定，而螺杆转子齿间间隙很小，但又不接触，因而可产生较高真空，又不容易磨损，与涡旋泵、爪型泵等其它干泵相比，螺杆泵具有明显优势，既具有较高的压缩比，又相对平稳。
[0017]2、本专利技术包括第一泵腔和第二泵腔，此结构利于转子的安装与间隙的调节，另外在第二泵腔靠近第一泵腔一端设有与隔板上的流通孔连通的凹槽，所述凹槽能保证过程室内的副产物被顺利吸出压缩排出到螺杆转子侧。
附图说明
[0018]图1为本专利技术的整体剖视图，
[0019]图2为图1中本专利技术的另一角度剖视图，
[0020]图3为图1中罗茨转子及扭叶罗茨转子示意图，
[0021]图4为图3中罗茨转子及扭叶罗茨转子立体示意图，
[0022]图5为图1中主动螺杆转子、主动扭叶罗茨转子及主动罗茨转子的整体示意图。
[0023]其中，1为电机；2为主动齿轮；3为齿轮室；4为主动轴；5为螺栓；6为主动螺杆转子；7为壳体，701为第一泵腔，702为第二泵腔；8为销；9为主动扭叶罗茨转子；10为主动罗茨转子；11为第一轴承；12为第二轴承；13为流通孔；14为从动罗茨转子；15为水冷通道；16为从动扭叶罗茨转子；17为隔板；18为从动轴；19为排气口；20为从动螺杆转子；21为从动齿轮；22为进气口；23为凹槽。
具体实施方式
[0024]下面结合附图对本专利技术作进一步详述。
[0025]如图1～5所示，本专利技术包括壳体7、驱动组件、主动轴4和从动轴18，其中主动轴4和从动轴18均设于所述壳体7中，驱动组件设于所述壳体7外侧，且所述主动轴4和从动轴18通过所述驱动组件驱动同步反向转动，所述主动轴4上依次设有主动螺杆转子6、主动扭叶罗茨转子9和主动罗茨转子10，所述从动轴18上依次设有从动螺杆转子20、从动扭叶罗茨转子16和从动罗茨转子14，且所述主动螺杆转子6与从动螺杆转子20啮合，所述主动扭叶罗茨转子9与从动扭叶罗茨转子16啮合，所述主动罗茨转子10与从动罗茨转子14啮合，壳体7内部通过隔板17分成第一泵腔701和第二泵腔702，且所述主动螺杆转子6和从动螺杆转子20设于第一泵腔701中，所述主动扭叶罗茨转子9、主动罗茨转子10、从动扭叶罗茨转子16和从动罗茨转子14设于第二泵腔702中，如图2所示，所述第一泵腔701设有排气口19，所述第二泵腔702设有进气口22，所述隔板17上设有流通孔13。
[0026]如图3～4所示，所述主动罗茨转子10和主动扭叶罗茨转子9为一体结构的复合转子，同样所述从动罗茨转子14和从动扭叶罗茨转子16也为一体结构的复合转子，所述主动罗茨转子10、主动扭叶罗茨转子9、从动罗茨转子14和从动扭叶罗茨转子16端面型线一致，且转子叶数可以为二叶、三叶、四叶、五叶或六叶，所述主动扭叶罗茨转子9和从动扭叶罗茨转子16的扭叶扭转角范围为0
°
～360
°
。
[0027]所述主动轴4上可设置多级主动罗茨转子10，所述从动轴18上可设置多级从动罗
茨转子14，各级主动罗茨转子10与对应的从动罗茨转子14啮合，并且所述第二泵腔702内通过隔板17分隔成若干腔体，每级主动罗茨转子10和从动罗茨转子14置于对应的腔体中，不同级别罗茨转子即通过所述隔板17隔开。本实施例中可设置1～6级罗茨转子。
[0028]如图1所示，最前端主动罗茨转子10的转子轴端通过第一轴承10支撑转动，最前端从动罗茨转子14的转子轴端通过第二轴承12支撑转动，第一泵腔701、第二泵腔702及两者之间的隔板17通过销8固定。
[0029]所述主动螺杆转子6和从动螺杆转子20通过驱动组件驱动转动，且所述主动螺杆转子6和从动螺杆转子20齿间间隙很小，但又不接触，因而可产生较高真空，又不容易磨损，与涡旋泵、爪型泵等其它干泵相比，螺杆泵具有明显优势，既具有较高的压缩比，又相对平稳。
[0030]如图2所示，所述进气口22中心轴线和排气口19中心轴线垂直设置，气体通过各个转子作用由第二泵腔702上侧的进气口22进入，并经过隔板17上的流通本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型多级罗茨真空泵，其特征在于：包括壳体(7)、驱动组件、主动轴(4)和从动轴(18)，其中主动轴(4)和从动轴(18)均设于所述壳体(7)中且通过所述驱动组件驱动同步反向转动，所述主动轴(4)上依次设有主动螺杆转子(6)、主动扭叶罗茨转子(9)和主动罗茨转子(10)，所述从动轴(18)上依次设有从动螺杆转子(20)、从动扭叶罗茨转子(16)和从动罗茨转子(14)，且所述主动螺杆转子(6)与从动螺杆转子(20)啮合，所述主动扭叶罗茨转子(9)与从动扭叶罗茨转子(16)啮合，所述主动罗茨转子(10)与从动罗茨转子(14)啮合，壳体(7)内部通过隔板(17)分成第一泵腔(701)和第二泵腔(702)，且所述主动螺杆转子(6)和从动螺杆转子(20)设于第一泵腔(701)中，所述主动扭叶罗茨转子(9)、主动罗茨转子(10)、从动扭叶罗茨转子(16)和从动罗茨转子(14)设于第二泵腔(702)中，所述第一泵腔(701)设有排气口(19)，所述第二泵腔(702)设有进气口(22)，所述隔板(17)上设有流通孔(13)。2.根据权利要求1所述的新型多级罗茨真空泵，其特征在于：所述主动罗茨转子(10)和主动扭叶罗茨转子(9)为一体结构，所述从动罗茨转子(14)和从动扭叶罗茨转子(16)也为一体结构。3.根据权利要求2所述的新型多级罗茨真空泵，其特征在于：所述主动罗茨转子(10)、主动扭叶罗茨转子(9)、从动罗茨转子(14)和从动扭叶罗茨转子...

【专利技术属性】
技术研发人员：李小号，李中浩，王光玉，徐静怡，刘坤，刘在行，王桂鹏，巴要帅，巴德纯，毕德龙，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：