一种真空泵轴结构及多级真空泵制造技术

本发明专利技术涉及一种真空泵，特别涉及一种真空泵轴结构及多级真空泵。真空泵轴结构包括真空泵轴及设置于真空泵轴上的多组转子组件；多组转子组件的直径和厚度沿真空泵内气流方向均逐渐减小；多组转子组件与真空泵轴为一体式结构。多级真空泵包括壳体和设置于壳体内的电机及两个真空泵轴结构；两个真空泵轴结构相互啮合，电机与一真空泵轴结构同轴，电机转子设置于该真空泵轴结构的真空泵轴上。本发明专利技术的转子与轴通过加工而成为一个整体，从而保证了轴的完整性，提高了轴的强度，转子与轴之间无需拆装，提高了装配效率，节省了连接件的数量，降低装配难度，提高装配精度。提高装配精度。提高装配精度。

【技术实现步骤摘要】
一种真空泵轴结构及多级真空泵


[0001]本专利技术涉及一种真空泵，特别涉及一种真空泵轴结构及多级真空泵。
技术背景
[0002]多级罗茨泵一般包括一对轴，每一个轴都支撑腔体中的多个转子，该腔体提供用于泵的定子部件。一对轴分为主动轴和从动轴，电机转子安装于电机轴上，使真空泵的轴向尺寸比较大，从而增大了泵的体积。在半导体工业中，场地空间有限，使用的设备种类多，占地面积大，空间利用率低，因此为提高半导体厂空间利用率，急需一种小型化、轻型化的泵轴结构及真空泵。

技术实现思路

[0003]针对上述问题，本专利技术的目的在于提供一种真空泵轴结构及多级真空泵，以实现真空泵的小型化和轻型化，提高半导体厂空间的利用率。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0005]一种真空泵轴结构，包括真空泵轴及设置于所述真空泵轴上的多组转子组件；
[0006]多组转子组件的直径沿真空泵内气流方向逐渐减小；
[0007]多组转子组件的厚度沿真空泵内气流方向逐渐减小；
[0008]多组转子组件与所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空泵轴结构，其特征在于，包括真空泵轴(30)及设置于所述真空泵轴(30)上的多组转子组件；多组转子组件的直径沿真空泵内气流方向逐渐减小；多组转子组件的厚度沿真空泵内气流方向逐渐减小；多组转子组件与所述真空泵轴(30)为一体式结构。2.根据权利要求1所述的真空泵轴结构，其特征在于，多组转子组件包括转子组Ⅰ和转子组Ⅱ，所述转子组Ⅰ的直径大于所述转子组Ⅱ的直径；所述转子组Ⅰ的厚度大于所述转子组Ⅱ的厚度。3.根据权利要求2所述的真空泵轴结构，其特征在于，所述转子组Ⅰ的各级转子的直径相等，并且厚度沿靠近所述转子组Ⅱ的方向逐渐减小。4.根据权利要求2所述的真空泵轴结构，其特征在于，所述转子组Ⅱ的各级转子的直径相等，并且厚度沿远离所述转子组Ⅱ的方向逐渐减小。5.根据权利要求2所述的真空泵轴结构，其特征在于，所述转子组Ⅰ的级数小于所述转子组Ⅱ的级数；所述转子组Ⅰ的级数为1
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3级，所述转子组Ⅱ的级...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷震霖，孔祥玲，王冰冰，毕德龙，张佳崎，张军，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：