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本发明涉及一种真空泵，特别涉及一种真空泵轴结构及多级真空泵。真空泵轴结构包括真空泵轴及设置于真空泵轴上的多组转子组件；多组转子组件的直径和厚度沿真空泵内气流方向均逐渐减小；多组转子组件与真空泵轴为一体式结构。多级真空泵包括壳体和设置于壳体内...
该专利属于中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司授权不得商用。

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