多晶硅生产中氯硅烷精馏分离系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种多晶硅生产中氯硅烷精馏分离系统，涉及多晶硅生产技术领域，主要目的是提高热效率。本实用新型专利技术的主要技术方案为：多晶硅生产中氯硅烷精馏分离系统，包括：精馏塔的中部进口连接于进料管道的一端，进料管道的另一端连接于预热器的第一空间，第一再沸器包括第三空间和第四空间，第四空间连通于蒸汽管道，精馏塔的下端侧连接于侧线采出管的一端；第二再沸器包括第五空间和第六空间，第五空间的一端连接于反歧化分离塔的下端，另一端连接于反歧化分离塔的下端侧，第六空间的一端连接于侧线采出管的另一端，第二空间的另一端连接于反歧化反应器的进口，反歧化反应器的出口连接于反歧化分离塔的中部进口。出口连接于反歧化分离塔的中部进口。出口连接于反歧化分离塔的中部进口。

【技术实现步骤摘要】
多晶硅生产中氯硅烷精馏分离系统


[0001]本技术涉及多晶硅生产
，尤其涉及一种多晶硅生产中氯硅烷精馏分离系统。

技术介绍

[0002]本专利应用于多晶硅生产过程中精馏系统对四氯化硅的分离提纯。自还原炉出来的气相混合物经过尾气回收系统将氢气与氯硅烷分离后，液态氯硅烷混合物进入精馏系统的还原精馏一级塔，对四氯化硅进行分离。塔釜得到的四氯化硅需要分出一部分用另一台精馏塔进行进一步分离提纯去除高沸杂质，然后供给反歧化系统使用。反歧化反应器出口的氯硅烷混合物再进入反歧化分离塔进行分离。
[0003]以上工艺过程共需要三台精馏塔，三台精馏塔的再沸器均使用蒸汽作为热源，热效率较低。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术提供一种多晶硅生产中氯硅烷精馏分离系统，主要目的是提高热效率，降低多晶硅的生产成本。
[0005]为达到上述目的，本技术主要提供如下技术方案：
[0006]本技术提供了一种多晶硅生产中氯硅烷精馏分离系统，该系统包括：初级分离部、反歧化反应器和二级分离部；
[0007]所述初级分离部包括预热器和精馏机构，所述预热器包括第一空间和第二空间，所述第一空间和所述第二空间相互隔离，所述精馏机构包括精馏塔和第一再沸器，所述精馏塔的中部进口连接于进料管道的一端，所述进料管道的另一端连接于所述预热器的第一空间，所述第一再沸器包括第三空间和第四空间，所述第三空间和所述第四空间相互隔离，所述第三空间的一端连接于所述精馏塔的下端，另一端连接于所述精馏塔的下端侧，所述第四空间连通于蒸汽管道，所述精馏塔的下端侧连接于侧线采出管的一端；
[0008]所述二级分离部包括反歧化分离塔和第二再沸器，所述第二再沸器包括第五空间和第六空间，所述第五空间和所述第六空间相互隔离，所述第五空间的一端连接于所述反歧化分离塔的下端，另一端连接于所述反歧化分离塔的下端侧，所述第六空间的一端连接于所述侧线采出管的另一端，所述第六空间的另一端连接于所述第二空间的一端，所述第二空间的另一端连接于所述反歧化反应器的进口，所述反歧化反应器的出口连接于所述反歧化分离塔的中部进口。
[0009]本技术的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
[0010]可选的，所述精馏塔的下端连接于第一底部采出管。
[0011]可选的，所述反歧化分离塔的下端连接于第二底部采出管。
[0012]可选的，所述第二空间的另一端还连接于成品采出管。
[0013]可选的，还包括第一冷凝器，所述第一冷凝器连接于所述精馏塔的上端。
[0014]可选的，所述精馏塔的顶部设有第一回流管。
[0015]可选的，还包括第二冷凝器，所述第二冷凝器连接于所述反歧化分离塔的上端。
[0016]可选的，所述反歧化分离塔的顶部设有第二回流管。
[0017]借由上述技术方案，本技术至少具有下列优点：
[0018]还原炉出来的物料主要为未反应完全的氢气与三氯氢硅、副产物四氯化硅与二氯二氢硅的气相混合物，经过尾气回收系统进行分离后，三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅以液态氯硅烷混合物的状态依次经过第一空间和进料管道进入精馏塔。
[0019]第一再沸器连通于蒸汽管道，为精馏塔提供热量，混合物中的重组分(四氯化硅)通过侧线采出管依次进入第六空间和第二空间，再进入反歧化反应器，最终进入反歧化分离塔，以分离反歧化反应后生成的三氯氢硅和未反应完全的四氯化硅。
[0020]在上述过程中，混合物中的重组分(四氯化硅)的热量先传递至第二再沸器的第五空间，再传递至预热器的第一空间，提高了热量的利用效率，降低了多晶硅的生产成本。
附图说明
[0021]图1为本技术实施例提供的一种多晶硅生产中氯硅烷精馏分离系统的工艺流程图。
[0022]说明书附图中的附图标记包括：反歧化反应器1、预热器2、精馏塔3、第一再沸器4、进料管道5、侧线采出管6、反歧化分离塔7、第二再沸器8、二氯二氢硅管道9、第一底部采出管10、第二底部采出管11、成品采出管12、第一冷凝器13、第一回流管14、第二冷凝器15、第二回流管16。
具体实施方式
[0023]为更进一步阐述本技术为达成预定技术目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本技术申请的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。在下述说明中，不同的“一实施例”或“实施例”指的不一定是同一实施例。此外，一或多个实施例中的特定特征、结构、或特点可由任何合适形式组合。
[0024]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。
[0025]如图1所示，本技术的一个实施例提供的一种多晶硅生产中氯硅烷精馏分离系统，其包括：初级分离部、反歧化反应器1和二级分离部；
[0026]所述初级分离部包括预热器2和精馏机构，所述预热器2包括第一空间和第二空间，所述第一空间和所述第二空间相互隔离，所述精馏机构包括精馏塔3和第一再沸器4，所述精馏塔3的中部进口连接于进料管道5的一端，所述进料管道5的另一端连接于所述预热器2的第一空间，所述第一再沸器4包括第三空间和第四空间，所述第三空间和所述第四空间相互隔离，所述第三空间的一端连接于所述精馏塔3的下端，另一端连接于所述精馏塔3的下端侧，所述第四空间连通于蒸汽管道，所述精馏塔3的下端侧连接于侧线采出管6的一端；
[0027]所述二级分离部包括反歧化分离塔7和第二再沸器8，所述第二再沸器8包括第五空间和第六空间，所述第五空间和所述第六空间相互隔离，所述第五空间的一端连接于所述反歧化分离塔7的下端，另一端连接于所述反歧化分离塔7的下端侧，所述第六空间的一
端连接于所述侧线采出管6的另一端，所述第六空间的另一端连接于所述第二空间的一端，所述第二空间的另一端连接于所述反歧化反应器1的进口，所述反歧化反应器1的出口连接于所述反歧化分离塔7的中部进口。
[0028]多晶硅生产中氯硅烷精馏分离系统的工作过程如下:
[0029]还原炉出来的物料主要为未反应完全的氢气与三氯氢硅、副产物四氯化硅与二氯二氢硅的气相混合物，经过尾气回收系统进行分离后，三氯氢硅、四氯化硅、二氯二氢硅以液态氯硅烷混合物的状态依次经过第一空间和进料管道5进入精馏塔3。
[0030]第一再沸器4连通于蒸汽管道，为精馏塔3提供热量，混合物中的重组分(四氯化硅)通过侧线采出管6依次进入第六空间和第二空间，再进入反歧化反应器1，最终进入反歧化分离塔7，以分离反歧化反应后生成的三氯氢硅和未反应完全的四氯化硅。
[0031]在上述过程中，混合物中的重组分(四氯化硅)的热量先传递至第二再沸器8的第五空间，再传递至预热器2的第一空间，提高了热量的利用效率，降低了多晶硅的生产成本。
[0032]在本技术的技术方案中，通过精馏混合物中重组分的两次热量输出，替代了蒸汽加热的作用，提高了本系统整体的热量使用效率，降低了多晶硅的生产本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅生产中氯硅烷精馏分离系统，其特征在于，包括：初级分离部，所述初级分离部包括预热器和精馏机构，所述预热器包括第一空间和第二空间，所述第一空间和所述第二空间相互隔离，所述精馏机构包括精馏塔和第一再沸器，所述精馏塔的中部进口连接于进料管道的一端，所述进料管道的另一端连接于所述预热器的第一空间，所述第一再沸器包括第三空间和第四空间，所述第三空间和所述第四空间相互隔离，所述第三空间的一端连接于所述精馏塔的下端，另一端连接于所述精馏塔的下端侧，所述第四空间连通于蒸汽管道，所述精馏塔的下端侧连接于侧线采出管的一端；反歧化反应器；二级分离部，所述二级分离部包括反歧化分离塔和第二再沸器，所述第二再沸器包括第五空间和第六空间，所述第五空间和所述第六空间相互隔离，所述第五空间的一端连接于所述反歧化分离塔的下端，另一端连接于所述反歧化分离塔的下端侧，所述第六空间的一端连接于所述侧线采出管的另一端，所述第六空间的另一端连接于所述第二空间的一端，所述第二空间的另一端连接于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘华鹏，翟占利，樊晶，
申请(专利权)人：新疆大全新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：