下载多晶硅生产中氯硅烷精馏分离系统的技术资料

文档序号:33737013

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本实用新型公开了一种多晶硅生产中氯硅烷精馏分离系统,涉及多晶硅生产技术领域,主要目的是提高热效率。本实用新型的主要技术方案为:多晶硅生产中氯硅烷精馏分离系统,包括:精馏塔的中部进口连接于进料管道的一端,进料管道的另一端连接于预热器的第一空间...
该专利属于新疆大全新能源股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过新疆大全新能源股份有限公司授权不得商用。

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