多级干式真空泵制造技术

本发明专利技术涉及真空技术领域，具体地说是一种多级干式真空泵，其中主泵体内设有主动转子轴和从动转子轴，且主动转子轴两端和从动转子轴两端分别安装于第一侧封板和第二侧封板上，并且主动转子轴的驱动轴端伸入至齿轮箱中并通过挠性联轴器与电机的电机转子轴连接，电机转子轴另一端转动安装于电机的壳体后端，主动转子轴上套设有主动齿轮，从动转子轴上套设有从动齿轮与所述主动齿轮啮合，主泵体包括多级腔体，且在各级腔体内均设有主动转子和从动转子，并且各级腔体内的主动转子均套装于所述主动转子轴上，各级腔体内的从动转子均套装于所述从动转子轴上。本发明专利技术运行更加可靠平稳，耐冲击性更强，具有体积小、抽速大、节约能源和空间等特点。间等特点。间等特点。

【技术实现步骤摘要】
多级干式真空泵


[0001]本专利技术涉及真空
，具体地说是一种多级干式真空泵。

技术介绍

[0002]多级干式真空泵广泛用于化工、造纸、冶金、薄膜制备、食品等行业，也是IC装备行业中常用的一种真空泵，但随着技术发展，对于多级真空泵而言，客户要求其满足更高的转速、更小体积、运行更稳定且更耐冲击，因此需要对多级干式真空泵结构作出改进。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种多级干式真空，运行更加可靠平稳，泵的耐冲击性更强，与以往多级干式真空泵相比具有体积小、抽速大、节约能源和空间等特点。
[0004]本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的：
[0005]一种多级干式真空泵，包括依次相连的电机、齿轮箱、第一侧封板、主泵体、第二侧封板和油箱，其中主泵体内设有主动转子轴和从动转子轴，且所述主动转子轴的驱动轴端转动安装于第一侧封板上、从动轴端转动安装于第二侧封板上，并且所述主动转子轴的驱动轴端伸入至所述齿轮箱中并通过挠性联轴器与所述电机的电机转子轴连接，所述电机转子轴另一端转动安装于电机的壳体后端，在所述主动转子轴位于齿轮箱内的轴端上套设有主动齿轮，所述从动转子轴的驱动轴端转动安装于第一侧封板上、从动轴端转动安装于第二侧封板上，且所述从动转子轴的驱动轴端伸入至所述齿轮箱中并套设有从动齿轮与所述主动齿轮啮合，所述主泵体包括多级腔体，且靠近油箱一侧的腔体上设有进气口，靠近齿轮箱一侧的腔体上设有出气口，在各级腔体内均设有主动转子和从动转子，且各级腔体内的主动转子均套装于所述主动转子轴上，各级腔体内的从动转子均套装于所述从动转子轴上。
[0006]所述电机包括电机定子、电机转子轴和壳体，其中壳体与所述齿轮箱固连，电机定子固设于壳体内壁上，电机转子轴穿过电机定子且一端伸入至所述齿轮箱中并通过挠性联轴器与主动转子轴连接，所述电机转子轴两端分别通过电机轴承转动安装于壳体上。
[0007]所述主动转子轴两端以及所述从动转子轴两端均设有轴承、双唇式轴封和迷宫式轴封，且双唇式轴封和迷宫式轴封分设于轴承两侧。
[0008]所述从动转子轴内设置轴向通孔，在从动转子轴两端均设置滤油装置，同时在从动转子轴安装双唇式轴封处开设径向通道与所述轴向通孔连通，第一侧封板位于主动转子轴和从动转子轴之间的部分以及第二侧封板位于主动转子轴和从动转子轴之间的部分均设有连通气孔，双唇式轴封两唇之间开有通气孔，并且所述通气孔与对应侧封板内的连通气孔连通，在齿轮箱侧的从动转子轴轴端内设有单向阀。
[0009]所述第一侧封板内的轴承通过第一侧压盖压紧固定，且所述第一侧压盖与第一侧封板为螺纹连接，所述第一侧压盖上设有固定用的齿部，在第一侧封板上设有间隙固定片，且所述间隙固定片设有与第一侧压盖相配合的齿部。
[0010]所述主动转子轴两端以及所述从动转子轴两端均设有提油叶片。
[0011]所述主泵体包括前腔体、三级腔体、四级腔体和五级腔体，其中一级主动转子和一级从动转子以及二级主动转子和二级从动转子均设于所述前腔体中，其余各级主动转子和从动转子分别设于对应的腔体中。
[0012]主泵体内的各级转子中，首级转子为罗茨转子，末级转子为五叶罗茨转子，中间的各级转子为非对称爪型转子。
[0013]所述主泵体上下表面配置有通过电磁阀控制水流通断的水冷排，各级腔体内设有水冷通道结构，另外所述油箱、齿轮箱和电机壳体内均设有水冷通道结构。
[0014]所述主泵体腔体外形上下侧为平直段，左右两侧为弧形端，且四角设有凸起。
[0015]本专利技术的优点与积极效果为：
[0016]1、本专利技术是在已有悬臂式多级干式真空泵的基础上发展而来，改为两端支持后，同时电机改为独立的轴承支持方式，并通过挠性联轴器与泵相连，且传动力矩的主动齿轮位于电机与泵之间，传递扭矩更加可靠，平稳，泵的耐冲击性更强，泵的运转更加平衡，抗粉尘及面对苛刻工艺工作的能力均有所提升。
[0017]2、本专利技术采用双唇轴封配合迷宫式密封和滤油装置，解决了油蒸汽向真空室的泄漏问题，保证了泵腔体的清洁度。
[0018]3、本专利技术的转子型线采用了特殊设计，降低了剐蹭的风险。
[0019]4、本专利技术的主泵体，油箱，齿轮箱，电机均配置水冷管，保证腔体温度在预设范围，同时保证通过水冷形式，对润滑油进行冷却。
[0020]5、本专利技术在抽气过程中可保持真空环境不受污染，适用于半导体、石化、冶金、食品、医药、电子、包装、印刷等行业。
[0021]6、本专利技术与以往多级干式真空泵相比具有体积小、抽速大、节约能源、节约空间、抗冲击、抗粉尘、抗苛刻工艺能力提升等特点。
附图说明
[0022]图1为本专利技术的整体示意图，
[0023]图2为图1中的A
‑
A视图，
[0024]图3为图2中的E处放大图，
[0025]图4为图2中的F处放大图，
[0026]图5为图2中的从动转子轴轴端剖视图，
[0027]图6为图1中的B
‑
B视图，
[0028]图7为图1中的C
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C视图，
[0029]图8为图1中的D
‑
D视图，
[0030]图9为图1中的G
‑
G视图。
[0031]其中，1为电机，101为电机定子，102为主动齿轮，103为从动齿轮，104为电机轴承，105为挠性联轴器，106为电机转子轴；2为主动转子轴，201为一级主动转子，202为二级主动转子，203为三级主动转子，204为四级主动转子，205为五级主动转子；3为从动转子轴，301为一级从动转子，302为二级从动转子，303为三级从动转子，304为四级从动转子，305为五级从动转子；4为第一侧封板，5为五级腔体，6为四级腔体，7为三级腔体，8为前腔体，9为第
二侧封板，10为油箱，11为齿轮箱，12为双唇式轴封，13为迷宫式轴封，14为轴承，15为提油叶片，16为第一侧压盖，17为单向阀，18为滤油装置，19为间隙固定片。
具体实施方式
[0032]下面结合附图对本专利技术作进一步详述。
[0033]如图1～9所示，本专利技术包括依次相连的电机1、齿轮箱11、第一侧封板4、主泵体、第二侧封板9和油箱10，其中主泵体内设有主动转子轴2和从动转子轴3，且所述主动转子轴2的驱动轴端转动安装于第一侧封板4上、从动轴端转动安装于第二侧封板9上，并且所述主动转子轴2的驱动轴端伸入至所述齿轮箱11中并通过挠性联轴器105与所述电机1的电机转子轴106连接，所述电机转子轴106另一端通过电机轴承104转动安装于电机1的壳体后端，在所述主动转子轴2位于齿轮箱11内的轴端上套设有主动齿轮102，所述从动转子轴3的驱动轴端转动安装于第一侧封板4上、从动轴端转动安装于第二侧封板9上，且所述从动转子轴3的驱动轴端伸入至所述齿轮箱11中并套设有从动齿轮103与所述主动齿轮102啮合，所述主泵体包括多级腔体，且靠本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多级干式真空泵，其特征在于：包括依次相连的电机(1)、齿轮箱(11)、第一侧封板(4)、主泵体、第二侧封板(9)和油箱(10)，其中主泵体内设有主动转子轴(2)和从动转子轴(3)，且所述主动转子轴(2)的驱动轴端转动安装于第一侧封板(4)上、从动轴端转动安装于第二侧封板(9)上，并且所述主动转子轴(2)的驱动轴端伸入至所述齿轮箱(11)中并通过挠性联轴器(105)与所述电机(1)的电机转子轴(106)连接，所述电机转子轴(106)另一端转动安装于电机(1)的壳体后端，在所述主动转子轴(2)位于齿轮箱(11)内的轴端上套设有主动齿轮(102)，所述从动转子轴(3)的驱动轴端转动安装于第一侧封板(4)上、从动轴端转动安装于第二侧封板(9)上，且所述从动转子轴(3)的驱动轴端伸入至所述齿轮箱(11)中并套设有从动齿轮(103)与所述主动齿轮(102)啮合，所述主泵体包括多级腔体，且靠近油箱(10)一侧的腔体上设有进气口，靠近齿轮箱(11)一侧的腔体上设有出气口，在各级腔体内均设有主动转子和从动转子，且各级腔体内的主动转子均套装于所述主动转子轴(2)上，各级腔体内的从动转子均套装于所述从动转子轴(3)上。2.根据权利要求1所述的多级干式真空泵，其特征在于：所述电机(1)包括电机定子(101)、电机转子轴(106)和壳体，其中壳体与所述齿轮箱(11)固连，电机定子(101)固设于壳体内壁上，电机转子轴(106)穿过电机定子(101)且一端伸入至所述齿轮箱(11)中并通过挠性联轴器(105)与主动转子轴(2)连接，所述电机转子轴(106)两端分别通过电机轴承(104)转动安装于壳体上。3.根据权利要求1所述的多级干式真空泵，其特征在于：所述主动转子轴(2)两端以及所述从动转子轴(3)两端均设有轴承(14)、双唇式轴封(12)和迷宫式轴封(13)，且双唇式轴封(12)和迷宫式轴封(13)分设于轴承(14)两侧。4.根据权利要求3所述的多级干式真空泵，其特征在于：所述从动转子轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷震霖，孔祥玲，刘云鹏，秦柏林，毕德龙，郭丽娟，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：