一种用于检测含粉尘气体流量的自清洁流量计制造技术

本实用新型专利技术提供了一种用于检测含粉尘气体流量的自清洁流量计，包括进气管、排气管、第一管体和第二管体，所述排气管设在进气管下方，所述第一管体固定设在进气管靠近排气管的一端，所述第二管体固定设在排气管靠近进气管的一端，所述第二管体设在第一管体下方，所述第一管体和第二管体之间形成安装腔，所述安装腔内部设有文丘里管，所述文丘里管内部开设有贯穿文丘里管的文丘里小孔，所述安装腔内部设有弹簧，所述文丘里管设在弹簧外侧，所述安装腔内部设有驱动组件。本实用新型专利技术通过弹簧将文丘里小孔内壁上积聚的粉尘及时刮除，实现自清洁功能，以保持文丘里小孔孔径不变，大大提高流量测量的精确度，保证了产品质量的稳定性。保证了产品质量的稳定性。保证了产品质量的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于检测含粉尘气体流量的自清洁流量计


[0001]本技术涉及气体流量检测
，具体涉及一种用于检测含粉尘气体流量的自清洁流量计。

技术介绍

[0002]APCVD设备是半导体晶圆生产过程中的主流设备，中文名称为常压式化学气相沉积机，是在大约一个标准大气压环境下，利用气体(氧气和硅烷等)在被加热到特定工艺温度的晶圆表面起化学反应，生成一层二氧化硅薄膜。
[0003]在此类设备中，反应气体是在一个标准大气压的腔体压力下工作，进入反应腔的气体总流量等于排出反应腔的气体的总流量，进入反应腔的气体是纯净的，室温下的气体，因而它们的总流量是可以用质量流量控制器来监测和控制的，而排出反应腔的气体因为其中含有粉尘，温度较高(约80度)，用一般的方法很难来实现总流量的监测和控制。为了提高含粉尘气体流量测量的精确度，提出一种用于检测含粉尘气体流量的自清洁流量计。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种用于检测含粉尘气体流量的自清洁流量计，通过实现自清洁功能，以保持文丘里小孔孔径不变，大大提高流量测量的精确度，保证了产品质量的稳定性。
[0005]本技术的上述目的可采用下列技术方案来实现：
[0006]本技术提供一种用于检测含粉尘气体流量的自清洁流量计，包括进气管、排气管、第一管体和第二管体，所述排气管设在进气管下方，所述第一管体固定设在进气管靠近排气管的一端，所述第二管体固定设在排气管靠近进气管的一端，所述第二管体设在第一管体下方，所述第一管体和第二管体之间形成安装腔，所述安装腔内部设有文丘里管，所述文丘里管内部开设有贯穿文丘里管的文丘里小孔，所述安装腔内部设有弹簧，所述文丘里管设在弹簧外侧，所述文丘里小孔内壁与弹簧外侧相接触，所述安装腔内部设有驱动组件，且驱动组件延伸出第一管体和第二管体后侧。
[0007]在本技术的一些实施例中，所述第一管体靠近第二管体的一端设有内管体，所述第一管体与内管体一体成型，所述内管体卡接在第二管体内部，便于第一管体与第二管体的拆装。
[0008]在本技术的一些实施例中，所述第一管体顶端开设有进气口，所述进气管底端开设有排气口，所述进气口和排气口分别设在文丘里小孔上方和下方，所述进气口和排气口均与文丘里小孔内部连通，所述进气口设在进气管底部且与进气管内部连通，所述排气口设在排气管顶部且与排气管内部连通，气体通过进气口和进气管进入，通过排气口和排气管排出。
[0009]在本技术的一些实施例中，所述弹簧两端分别设在进气口和排气口内部，所述弹簧两端通过第三轴承分别与进气口和排气口内壁活动连接，弹簧自身在旋转的文丘里
小孔的摩擦作用下通过保持转动，起到清洁的作用。
[0010]在本技术的一些实施例中，所述文丘里管外端顶部与第一管体之间设有第一轴承，所述第一轴承外圈与第一管体内部顶端固定连接，所述文丘里管插接入第一轴承的内圈内部，便于文丘里管转动。
[0011]在本技术的一些实施例中，所述第一管体内部顶端与文丘里管顶端之间设有第一密封圈，所述第一密封圈设在进气口外侧，用于对文丘里管与第一管体之间密封，防止气体泄漏。
[0012]在本技术的一些实施例中，所述文丘里管外端底部与第二管体之间设有第二轴承，所述第二轴承外圈与第二管体内部底端固定连接，所述文丘里管插接入第二轴承的内圈内部，便于文丘里管转动。
[0013]在本技术的一些实施例中，所述第二管体内部底端与文丘里管底端之间设有第二密封圈，所述第二密封圈设在排气口外侧，用于对文丘里管与第二管体之间密封，防止气体泄漏。
[0014]在本技术的一些实施例中，所述驱动组件包括第一齿轮、第二齿轮和电机，所述第一齿轮设在安装腔内部且固定设在文丘里管外端，所述第二齿轮设在第二管体后侧，所述第二齿轮前端贯穿第二管体和内管体后侧延伸入安装腔内部且与第一齿轮啮合，所述电机设在第二管体后侧，且电机输出轴与第二齿轮底端固定连接，用于驱动文丘里小孔转动使得弹簧将文丘里小孔内壁上积聚的粉尘及时刮除，实现自清洁功能。
[0015]在本技术的一些实施例中，所述第二管体和内管体后侧开设有相互连通的两个开口，且开口设在安装腔后侧且与安装腔内部连通，所述第二齿轮前端贯穿两个开口，第二齿轮通过开口延伸入安装腔内部用于驱动第一齿轮转动。
[0016]本技术的用于检测含粉尘气体流量的自清洁流量计的特点及优点是：
[0017]通过在测流量同时启动电机驱动第二齿轮转动，第二齿轮驱动文丘里管恒速转动，实现自清洁功能，以保持文丘里小孔孔径不变，大大提高流量测量的精确度，保证了产品质量的稳定性。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1是本技术的整体结构图；
[0020]图2是本技术的侧视剖视图；
[0021]图3是本技术图2的中部局部结构图；
[0022]图4是本技术的驱动组件俯视结构图；
[0023]图5是本技术的文丘里管剖视图。
[0024]附图标号说明：
[0025]1、进气管；2、排气管；3、第一管体；4、第二管体；5、内管体；6、进气口； 7、排气口；8、文丘里管；9、文丘里小孔；10、弹簧；11、驱动组件；12、第一齿轮；13、第二齿轮；14、电机；
15、第一轴承；16、第一密封圈；17、第二轴承；18、第二密封圈。
具体实施方式
[0026]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0027]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0028]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于检测含粉尘气体流量的自清洁流量计，其特征在于，包括：进气管(1)和排气管(2)，所述排气管(2)设在进气管(1)下方；第一管体(3)和第二管体(4)，所述第一管体(3)固定设在进气管(1)靠近排气管(2)的一端，所述第二管体(4)固定设在排气管(2)靠近进气管(1)的一端，所述第二管体(4)设在第一管体(3)下方，所述第一管体(3)和第二管体(4)之间形成安装腔，所述安装腔内部设有文丘里管(8)，所述文丘里管(8)内部开设有贯穿文丘里管(8)的文丘里小孔(9)，所述安装腔内部设有弹簧(10)，所述文丘里管(8)设在弹簧(10)外侧，所述文丘里小孔(9)内壁与弹簧(10)外侧相接触，所述安装腔内部设有驱动组件(11)，且驱动组件(11)延伸出第一管体(3)和第二管体(4)后侧。2.根据权利要求1所述的一种用于检测含粉尘气体流量的自清洁流量计，其特征在于，所述第一管体(3)靠近第二管体(4)的一端设有内管体(5)，所述第一管体(3)与内管体(5)一体成型，所述内管体(5)卡接在第二管体(4)内部。3.根据权利要求1所述的一种用于检测含粉尘气体流量的自清洁流量计，其特征在于，所述第一管体(3)顶端开设有进气口(6)，所述进气管(1)底端开设有排气口(7)，所述进气口(6)和排气口(7)分别设在文丘里小孔(9)上方和下方，所述进气口(6)和排气口(7)均与文丘里小孔(9)内部连通，所述进气口(6)设在进气管(1)底部且与进气管(1)内部连通，所述排气口(7)设在排气管(2)顶部且与排气管(2)内部连通。4.根据权利要求1所述的一种用于检测含粉尘气体流量的自清洁流量计，其特征在于，所述弹簧(10)两端分别设在进气口(6)和排气口(7)内部，所述弹簧(10)两端通过第三轴承分别与进气口(6)和排气口(7)内壁活动连接。5.根据权利要求3所述的一种用...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘招林，
申请(专利权)人：无锡柏斯威科技有限公司，
类型：新型
国别省市：