常压式化学气相沉积机履带速度监测报警装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种常压式化学气相沉积机履带速度监测报警装置。它包括带辊和控制器。所述带辊上套有履带。邻近带辊的履带下方有底座。其特点是：底座上有轮座，轮座上有从动轮，从动轮的轮面与途径带辊处的履带表面间呈滚动状相配合。所述轮座上有测速传感器，测速传感器通过导线与控制器相连，控制器上连有蜂鸣器。采用这种监测报警装置，可避免因履带停止运行而导致的晶圆报废情况发生。适用于常压式化学气相沉积机履带速度的监测。式化学气相沉积机履带速度的监测。式化学气相沉积机履带速度的监测。

【技术实现步骤摘要】
常压式化学气相沉积机履带速度监测报警装置


[0001]本技术涉及一种报警装置。具体说，是用来检测常压式化学气相沉积机履带速度的检测报警装置。

技术介绍

[0002]常压式化学气相沉积机半导体晶圆生产线中的主流设备。它是在接近一个标准大气压的压力环境下，载着晶圆的履带沿着加热底板依次从几个喷嘴下方通过。在通过的过程中，由喷嘴喷出硅烷和氧气，使气体在被加热的晶圆表面其化学反应并生成一层二氧化硅薄膜。其中，履带的驱动马达上带有编码器，当出现马达速度异常情况时，编码器会将马达的速度异常信号反馈给控制器，再由控制器给蜂鸣器发出报警指令。但当出现减速箱、平键、链条、齿轮打滑、辊轴打滑等故障而导致履带的速度异常情况时，就无法发出报警信号。尤其当履带的速度降低至停止运行时，其上的晶圆会被堵在腔体内，从而导致这些晶圆的报废。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的问题是克服上述不足、提供一种常压式化学气相沉积机履带速度监测报警装置。采用这种监测报警装置，可避免因履带停止运行而导致的晶圆报废情况发生。
[0004]本技术要解决的上述问题由以下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.常压式化学气相沉积机履带速度监测报警装置，包括带辊和控制器；所述带辊上套有履带；邻近带辊的履带下方有底座；其特征在于：底座上有轮座，轮座上有从动轮，从动轮的轮面与途径带辊处的履带表面间呈滚动状相配合；所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘招林，
申请(专利权)人：无锡柏斯威科技有限公司，
类型：新型
国别省市：