下载常压式化学气相沉积机履带速度监测报警装置的技术资料

文档序号:30215547

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本实用新型涉及一种常压式化学气相沉积机履带速度监测报警装置。它包括带辊和控制器。所述带辊上套有履带。邻近带辊的履带下方有底座。其特点是:底座上有轮座,轮座上有从动轮,从动轮的轮面与途径带辊处的履带表面间呈滚动状相配合。所述轮座上有测速传感器...
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