履带防走偏装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种履带防走偏装置。它包括履带输送机，履带输送机的辊轴两端均伸出履带的边沿之外。其特点是：辊轴外伸端上套有轴座。轴座上部有轴孔，辊轴的外伸端固定在该轴孔内。轴孔之下有第一水平通槽。轴座外侧有前后调节板，前后调节板上第二水平通槽，前后调节板借助螺栓及第一、第二水平通槽与轴座连接在一起。前后调节板之外有L形板。L形板横部与前后调节板相连，其竖部外侧有左右调节板。左右调节板邻近履带的一端外侧有销轴及压轮。压轮外圆上有周向槽。销轴之外的左右调节板上有第三水平通槽，L形板竖部有轴孔，该轴孔与第三水平通槽相对应，二者间借助螺栓连接在一起。采用这种装置，可提高产品质量。可提高产品质量。可提高产品质量。

【技术实现步骤摘要】
履带防走偏装置


[0001]本技术涉及一种常压式化学气相沉积机的辅助设备。具体说，是常压式化学气相沉积机中的带式输送机的履带防走偏装置。

技术介绍

[0002]常压式化学气相沉积机是半导体晶圆生产线中的主要设备。它是在接近一个标准大气压的压力环境下，由载着晶圆的带式输送机的履带沿着加热底板依次从几个喷嘴下方通过。在通过的过程中，由喷嘴喷出硅烷和氧气，使气体在被加热的晶圆表面起化学反应并生成一层二氧化硅薄膜。其中的履带长度长达2.5米，运行中要绕过十几个带辊。运行时间一长，难免会出现履带单侧变形拉长、带辊变形卡滞、带辊单侧打滑等情况。一旦出现上述情况，履带就会摩擦到工艺腔体内壁，使得履带容易磨损。而摩擦产生的粉末会沾染到晶圆上，使得产品质量较差。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的问题是克服上述不足、提供一种履带防走偏装置。采用这种装置，可大大提高产品质量。
[0004]本技术要解决的上述问题由以上技术方案实现：
[0005]本技术的履带防走偏装置包括履带输送机，履带输送机的辊轴两端均伸出履带的边沿之外。其特点是：所述辊轴的外伸端上套有轴座。所述轴座为板状，其上部有轴孔，辊轴的外伸端固定在该轴孔内。轴孔之下有第一水平通槽。轴座外侧有前后调节板，前后调节板上第二水平通槽，前后调节板借助螺栓及第一、第二水平通槽与轴座连接在一起。前后调节板之外有L形板；L形板的横部连接在前后调节板的外侧面上，其竖部的板面与履带平行，其竖部外侧有左右调节板。左右调节板为长方形，其邻近履带的一端外侧连有与其板面垂直的销轴，销轴上有可绕其旋转的压轮。压轮外圆上有周向槽，所述周向槽与履带相对应且二者间呈活动配合在一起。销轴之外的左右调节板水平方向上有第三水平通槽，所述L形板的竖部水平方向上有不少于两个轴孔，L形板竖部上的轴孔与左右调节板上的第三水平通槽相对应，二者间借助螺栓连接在一起。
[0006]其中，所述L形板竖部上的轴孔和左右调节板上的第三水平通槽均有两行且相对应。
[0007]由以上方案可以看出，由于所述辊轴的外伸端上套有轴座。所述轴座上部有轴孔，辊轴的外伸端固定在该轴孔内。轴孔之下有第一水平通槽。轴座外侧有前后调节板，前后调节板上第二水平通槽，前后调节板借助螺栓及第一、第二水平通槽与轴座连接在一起。前后调节板之外有L形板。L形板的横部连接在前后调节板的外侧面上，其竖部的板面与履带平行，其竖部外侧有左右调节板。左右调节板为长方形，其邻近履带的一端外侧连有与其板面垂直的销轴，销轴上有可绕其旋转的压轮。压轮外圆上有周向槽，所述周向槽与履带边沿相对应且二者间呈活动配合在一起。销轴之外的左右调节板水平方向上有第三水平通槽，所
述L形板的竖部水平方向上有不少于两个轴孔，L形板竖部上的轴孔与左右调节板上的第三水平通槽相对应，二者间借助螺栓连接在一起。通过移动前后调节板的前后位置，可带动与其相连的L形板、左右调节板及压轮一起前后移动。通过调节L形板的横部绕前后调节板的俯仰角，可带动左右调节板及压轮两侧面在竖方向上的俯仰角。通过这些调节，实现了对履带的纠偏，即使出现履带单侧变形拉长、带辊变形卡滞、带辊单侧打滑等情况，履带也不会摩擦到工艺腔体内壁，使得履带不易磨损。由于履带不易磨损，避免了摩擦产生的粉末沾染到晶圆上的情况发生，从而大大提高了产品质量。
附图说明
[0008]图1是本技术的履带防走偏装置立体图。
具体实施方式
[0009]如图1所示，本技术的履带防走偏装置含有履带输送机。所述履带输送机
[0010]的辊轴5两端均伸出在履带4的边沿之外。所述辊轴5的外伸端上设置有轴座3；所述轴座3为板状，其上部加工有轴孔，辊轴5的外伸端固定在该轴孔内。轴孔之下的轴座3上加工有第一水平通槽6。轴座3外侧设置有前后调节板8，该前后调节板8为长方形，其呈横向布置，其上加工有第二水平通槽9。所述前后调节板8借助螺栓及第一水平通槽6、第二水平通槽9与轴座3连接在一起。前后调节板8之外设置有L形板。L形板的横部7上加工有轴孔，其借助该轴孔、第二水平通槽9和螺栓连接在前后调节板8的外侧面上，其竖部10的板面与履带4平行，其竖部10外侧设置有左右调节板11。所述左右调节板11为长方形，其邻近履带4的一端外侧连有与其板面垂直的销轴13，销轴13上安装有可绕其旋转的压轮2。压轮2外圆上加工有周向槽1，该周向槽1与履带4相对应且二者间呈活动配合在一起。销轴13之外的左右调节板11水平方向上加工有第三水平通槽12。所述L形板的竖部10水平方向上加工有三个轴孔，L形板竖部10上的轴孔与左右调节板11上的第三水平通槽12相对应，二者间借助螺栓连接在一起。
[0011]其中：所述L形板竖部10上的轴孔和左右调节板11上的第三水平通槽12均有两行且相对应。
[0012]通过移动前后调节板8的前后位置，可带动与其相连的L形板、左右调节板11及压轮2一起前后移动。通过调节L形板的横部7绕前后调节板8的俯仰角，可带动左右调节板11及压轮2两侧面在竖方向上的俯仰角。通过这些调节，实现了对履带的纠偏，即使出现履带单侧变形拉长、带辊变形卡滞、带辊单侧打滑等情况，履带也不会摩擦到工艺腔体内壁，使得履带不易磨损。由于履带不易磨损，避免了摩擦产生的粉末沾染到晶圆上的情况发生，从而大大提高了产品质量。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.履带防走偏装置，包括履带输送机，履带输送机的辊轴（5）两端均伸出履带（4）的边沿之外；其特征在于：所述辊轴（5）的外伸端上套有轴座（3）；所述轴座（3）为板状，其上部有轴孔，辊轴（5）的外伸端固定在该轴孔内；轴孔之下有第一水平通槽（6）；轴座（3）外侧有前后调节板（8），前后调节板（8）上第二水平通槽（9），前后调节板（8）借助螺栓及第一、第二水平通槽与轴座（3）连接在一起；前后调节板（8）之外有L形板；L形板的横部（7）连接在前后调节板（8）的外侧面上，其竖部（10）的板面与履带（4）平行，其竖部（10）外侧有左右调节板（11）；左右调节板（11）为长方形，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘招林，
申请(专利权)人：无锡柏斯威科技有限公司，
类型：新型
国别省市：