基于颜色识别的空气腐蚀性检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种基于颜色识别的空气腐蚀性检测装置。采用这种检测装置，可实时检测车间空气中的酸性物质含量，避免对操作人员健康的危害。其特点是：包括箱体、光源、晶圆片、传感器、单板计算机、显示器和报警灯，所述光源、晶圆片、传感器和单板计算机均位于箱体内，所述光源入射到晶圆片表面的入射光线的入射角和从晶圆片上表面反射的反射光线的反射角均小于90度，所述传感器位于晶圆片的反射光线上。所述显示器和报警灯均位于箱体的箱壁上，所述传感器、显示器和报警灯均通过导线与单板计算机相连。采用这种检测装置，可实时检测车间空气中的酸性物质含量，避免对操作人员健康的危害。

【技术实现步骤摘要】
基于颜色识别的空气腐蚀性检测装置
本技术涉及一种空气质量检测装置。具体说，是用来检测半导体晶圆生产车间内空气的腐蚀性检测装置。
技术介绍
在半导体晶圆生产行业都知道，在半导体晶圆生产过程中，要用到诸如硅烷、氯气、氧气和氢氟酸等各种不同的气体，其中的一些气体含有酸性物质，这种酸性物质具有很强的腐蚀性，如处置不当挥发到车间的空气中，会危害操作人员的健康。虽然在半导体晶圆的生产设备上设置有用来检测空气中酸性物质的装置，但随着设备的老化、维护不当等因素，用来检测空气中酸性物质的装置失效情况时有发生，无法实时检测车间空气中的酸性物质。一旦出现空气中的酸性物质超标，就会危及操作人员的身体健康。
技术实现思路
本技术要解决的问题是提供一种基于颜色识别的空气腐蚀性检测装置。采用这种检测装置，可实时检测车间空气中的酸性物质含量，避免对操作人员健康的危害。本技术要解决的上述问题有以下技术方案实现：本技术的基于颜色识别的空气腐蚀性检测装置的特点是：包括箱体、光源、晶圆片、传感器、单板计算机、显示器和报警灯，所述光源、晶圆片、传感器和单板计算机均位于箱体内，所述光源入射到晶圆片表面的入射光线的入射角和从晶圆片上表面反射的反射光线的反射角均小于90度，所述传感器位于晶圆片的反射光线上。所述显示器和报警灯均位于箱体的箱壁上，所述传感器、显示器和报警灯均通过导线与单板计算机相连。其中：所述晶圆片位于箱体的底板上面；所述光源和传感器分别通过第一支架和第二支架连接在箱体的相对箱壁内侧面上；>所述单板计算机连接在一个箱壁的内侧面上；所述显示器和报警灯均连接在单板计算机上侧箱壁的外侧面上；所述光源是发光二极管灯；所述光源入射到晶圆片上表面的入射角和从晶圆片上表面反射的反射角均为45度；所述晶圆片是废晶圆片；所述传感器是颜色识别传感器；本技术的进一步改进方案是，箱体的顶板中心有通孔，通孔内有冷却风机。由上述方案可以看出，由于本技术含有箱体、光源、晶圆片、传感器、单板计算机、显示器和报警灯，所述光源、晶圆片、传感器和单板计算机均位于箱体内，所述光源入射到晶圆片表面的入射光线的入射角和从晶圆片上表面反射的反射光线的反射角均小于90度，所述传感器位于晶圆片的反射光线上。所述显示器和报警灯均位于箱体的箱壁上，所述传感器、显示器和报警灯均通过导线与单板计算机相连。工作时，光源发出的光线以小于90度的入射角入射到晶圆片表面，再以与入射角相同的反射角反射到传感器上。由于传感器为颜色传感器，当其接受到反射来的光线并进行颜色识别后会转换成电信号。当空气中的酸性物质增强时，晶圆片会受到酸性物质的腐蚀，使得其颜色发生变化。当颜色变化超过设定指标如0.13%时，传感器就会输出一个信号给单板计算机，再由单板计算机运算后送给显示器和报警灯，最后由显示器和报警灯显示出来，提醒人们进行处理。从而避免了空气中的酸性物质超标而对操作人员健康带来的危害。附图说明图1是本技术的基于颜色识别的空气腐蚀性检测装置示意图。具体实施方式如图1所示，本技术的基于颜色识别的空气腐蚀性检测装置含有箱体3、光源1、晶圆片10、传感器8、单板计算机7、显示器5和报警灯6。所述光源1、晶圆片10、传感器8和单板计算机7均位于箱体3内。所述光源1为发光二极管灯。其中，所述晶圆片10为废晶圆片，其固定在箱体3的底板内侧面中心。所述箱体3的相对两个箱壁内侧面上分别固定有第一支架2和第二支架9，所述第一、第二支架均是用长条状钢板弯折成45度夹角而形成。所述光源1和传感器8分别连接在第一支架2和第二支架9的邻侧。其中，所述光源1入射到晶圆片10表面的入射光线的入射角和从晶圆片10上表面反射的反射光线的反射角均为45度，所述传感器8位于晶圆片10的反射光线上。其中的传感器8是颜色识别传感器。所述单板计算机7连接在另一个箱壁的内侧面上，其通过导线与传感器8相连。为简单起见，图1中省略了单板计算机7与传感器8间连接的导线。所述显示器5和报警灯6均连接在单板计算机7所在的那个箱壁外侧面上，显示器5和报警灯6均借助导线与单板计算机7相连。其中，图1中省略了显示器5和报警灯6与单板计算机7间连接的导线。为降低箱体3内的传感器8和单板计算机7的温度，在箱体3的顶板中心加工有通孔，通孔内安装有冷却风机4。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.基于颜色识别的空气腐蚀性检测装置，其特征在于：包括箱体、光源、晶圆片、传感器、单板计算机、显示器和报警灯，所述光源、晶圆片、传感器和单板计算机均位于箱体内，所述光源入射到晶圆片表面的入射光线的入射角和从晶圆片上表面反射的反射光线的反射角均小于90度，所述传感器位于晶圆片的反射光线上；所述显示器和报警灯均位于箱体的箱壁上，所述传感器、显示器和报警灯均通过导线与单板计算机相连。/n

【技术特征摘要】
1.基于颜色识别的空气腐蚀性检测装置，其特征在于：包括箱体、光源、晶圆片、传感器、单板计算机、显示器和报警灯，所述光源、晶圆片、传感器和单板计算机均位于箱体内，所述光源入射到晶圆片表面的入射光线的入射角和从晶圆片上表面反射的反射光线的反射角均小于90度，所述传感器位于晶圆片的反射光线上；所述显示器和报警灯均位于箱体的箱壁上，所述传感器、显示器和报警灯均通过导线与单板计算机相连。


2.根据权利要求1所述的基于颜色识别的空气腐蚀性检测装置，其特征在于：所述晶圆片位于箱体的底板上面。


3.根据权利要求1所述的基于颜色识别的空气腐蚀性检测装置，其特征在于：所述光源和传感器分别通过第一支架和第二支架连接在箱体的相对箱壁内侧面上。


4.根据权利要求1所述的基于颜色识别的空气腐蚀性检测装置，其特征在于：所述单板计算机连接在一个箱壁的内侧面上。
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【专利技术属性】
技术研发人员：刘招林，
申请(专利权)人：无锡柏斯威科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32