【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种驱动装置，尤其涉及一种离子注入机中具有减速作用的电机驱动装置，属于半导体器件制造的控制领域。
技术介绍
近年来，随着半导体集成电路技术和芯片技术的发展，半导体集成电路制造技术中，集成度越来越高，电路规模越来越大，电路中单元器件尺寸越来越小，对各种半导体工艺设备提出了更高的要求。离子注入机作为半导体离子掺杂工艺线的关键设备之一，也对它提出了很高的要求，要求离子注入机具有整机可靠性好、生产效率高、多种电荷态离子宽能量范围注入、精确控制束注入能量精度、精确控制束纯度、低尘粒污染、整机全自动控制、注片均匀性和平行度好等多种功能和特征。而本专利所涉及到的电机驱动装置是靶室自动化设备中的一个关键部件，对提高晶片的自动传输效率，减少晶片的碎片率有着重要的意义。
技术实现思路
为了解决上述存在的问题，本技术的目的是提供一种具有减速机构的、用于离子注入机靶室终端自动传送晶片的电机驱动装置。本技术的技术方案是这样实现的电机驱动装置包括电机座、主动轴、轴承盖、轴承座、主动轮、联块、从动轴、轴套、从动轮、电机、轴承，其中主动轴与电机上的电机轴凹凸配合在一起，主动轴与主动轮固定在一起，从动轴与从动轮固定在一起，主动轴与从动轴的上部两端分别固定两个轴承，一端的两个轴承镶嵌在轴承盖上面，另两个轴承镶嵌在轴承座下面。主动轮与从动轮之间的齿数比为1∶4，使从动轴上面的输出转速是电机转速的1/4。起到减速的作用。与现有技术相比，本技术的有益效果是1、具有减速的作用，使之达到整个自动化设备的技术要求。2、原理简单，运动平稳，可靠性高。附图说明图1为本技术结构图。具体实施方式以下结合...
【技术保护点】
电机驱动装置包括：电机座、主动轴、轴承盖、轴承座、主动轮、联块、从动轴、轴套、从动轮、电机、轴承，其特征在于主动轴与电机上的电机轴凹凸配合在一起，主动轴与主动轮固定在一起，从动轴与从动轮固定在一起，主动轴与从动轴的上部两端分别固定两个轴承，一端的两个轴承镶嵌在轴承盖上面，另两个轴承镶嵌在轴承座下面。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：易文杰，唐景庭，郭健辉，龙会跃，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。