一种体声波谐振器制造技术

本实用新型专利技术提供一种体声波谐振器，包括：衬底；声反射层，设置在所述衬底上，所述声反射层远离所述衬底的一侧形成有开口；第一电极层，设置在所述声反射层上，且与所述声反射层的所述开口形成空腔；压电层，设置在所述第一电极层上；第二电极层，设置在所述压电层上。设置在所述压电层上。设置在所述压电层上。

【技术实现步骤摘要】
一种体声波谐振器


[0001]本技术涉及谐振器
，具体涉及一种体声波谐振器。

技术介绍

[0002]体声波谐振器是使用诸如硅的衬底、借助微型电子机械技术以及薄膜技术而制造出来的。具有尺寸小、性能好、可集成等优势，在无线收发器中实现镜像消除、寄生滤波和信道选择等功能。
[0003]现有技术中的体声波谐振器，如图10所示，通常包括形成有空腔的衬底1、形成在空腔上方的底电极3、形成在底电极3上的压电层4以及形成在压电层4上的上电极5。当电压施加在底电极3与上电极5之间时，压电层4由于逆压电效应产生机械变型并在薄膜内激励出体声波，并在第一电极层3和第二电极层5之间来回反射，形成机械谐振。体声波谐振器的振动能量会通过底电极3与衬底1的接触部分，如图10中的A所示，泄露到衬底1导致谐振器的Q值降低。

技术实现思路

[0004]因此，本技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的体声波谐振器中的能量容易发生泄漏的缺陷。
[0005]为此，本技术提供本技术提供一种体声波谐振器，包括：衬底；声反射层，设置在所述衬底上，所述声反射层远本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括：衬底；声反射层，设置在所述衬底上，所述声反射层远离所述衬底的一侧形成有开口；第一电极层，设置在所述声反射层上，且与所述声反射层的所述开口形成空腔；压电层，设置在所述第一电极层上；第二电极层，设置在所述压电层上。2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述开口的底部保留有所述声反射层。3.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，还包括：至少一个支撑结构，形成在所述开口内，用于支撑所述第一电极层。4.根据权利要求3所述的体声波谐振器，其特征在于，所述支撑结构与所述声反射层由相同材料构成。5.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其特征在于，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐滨，赖志国，杨清华，
申请(专利权)人：苏州汉天下电子有限公司，
类型：新型
国别省市：