一种具有异形汇流条的声表面波谐振器制造技术

本发明专利技术公开了一种具有异形汇流条的声表面波谐振器，属于声表面谐振器优化技术领域，包括两个反射栅、叉指电极、两个汇流条，所述反射栅分别设置在所述汇流条、叉指电极的两侧，所述叉指电极设置在两个所述汇流条之间，并与两侧的所述反射栅相互平行，两个汇流条中至少有一个为异形汇流条。本发明专利技术通过各种汇流条的形状，解决了常规汇流条容易引发横向模式杂散的问题，从而改善了谐振器的性能；采用不同种形状的汇流条，解决常规谐振器形状单一的问题，设计上更加灵活，有利于射频芯片集成，空间利用率得到进一步提高。利用率得到进一步提高。利用率得到进一步提高。

【技术实现步骤摘要】
一种具有异形汇流条的声表面波谐振器


[0001]本专利技术涉及声表面谐振器优化
，具体涉及一种具有异形汇流条的声表面波谐振器。

技术介绍

[0002]如图1所示，声表面波谐振器的结构类型主要包括反射栅1、汇流条3、叉指电极2。压电材料的压电效应可以实现电信号和声波的相互转换。通过指条和压电材料相互作用激发声表面波，两侧的反射栅将表面波的能量束缚在叉指电极之间。声表面波的振幅随着基片材料的深度增加会指数级的递减。如图2所示，为普通型声表面波谐振器的截面结构示意图，主要包括电极4、压电材料5。如图3所示，为高性能型声表面波谐振器的截面结构示意图，主要包括电极6、压电材料7、低声速层8与衬底9。如图4所示，为温补型声表面波谐振器的截面结构示意图，主要包括温补层10、电极11、压电材料12。
[0003]目前声表面波谐振器的压电薄膜材料主要由铌酸锂(LiNbO3)、钽酸锂(LiTaO3)等压电材料。金属电极材料主要是铝、铜、铝化铜合金、铂金等金属。低声速层和温补层主要由二氧化硅(SiO2)、氮化硅(Si3N4)组成。这种类型的声表面波谐振器会有一个非常突出的缺点，会在汇流条之间形成横向驻波，即横向模式，如图5中的曲线14所示，横向模式表现在谐振器的电响应方面，会在主谐振点和反谐振点之间出现杂散，该杂散模式会影响通带内谐振曲线的平坦性，增大谐振器的损耗。因此，提出一种具有异形汇流条的声表面波谐振器。

技术实现思路

[0004]本专利技术所要解决的技术问题在于：如何解决现有声表面波谐振器会在汇流条之间形成横向驻波，即形成横向模式，会在主谐振点和反谐振点之间出现杂散，该杂散模式会影响通带内谐振曲线的平坦性，增大谐振器的损耗，提供了一种具有异形汇流条的声表面波谐振器。
[0005]本专利技术是通过以下技术方案解决上述技术问题的，本专利技术包括两个反射栅、叉指电极、两个汇流条，所述反射栅分别设置在所述汇流条、叉指电极的两侧，所述叉指电极设置在两个所述汇流条之间，并与两侧的所述反射栅相互平行，两个汇流条中至少有一个为异形汇流条。
[0006]更进一步地，两个所述汇流条均为异形汇流条，所述异形汇流条为倾斜汇流条，每个倾斜汇流条和水平方向的夹角α为汇流条的倾斜角，其中倾斜角为
‑7°
至7
°
。
[0007]更进一步地，其中一个汇流条为异形汇流条，所述异形汇流条为V形或者倒V形汇流条，另一个汇流条为直线形汇流条。
[0008]更进一步地，两个汇流条均为异形汇流条，所述异形汇流条为V形或者倒V形汇流条，上下两个汇流条相互平行。
[0009]更进一步地，V形或者倒V形汇流条的斜边和水平方向的夹角为
‑
10
°
至10
°
。
[0010]更进一步地，其中一个汇流条为异形汇流条，所述异形汇流条为圆弧形汇流条，另
一个汇流条为直线形汇流条。
[0011]更进一步地，两个汇流条均为异形汇流条，所述异形汇流条为圆弧形汇流条，上下两个圆弧形汇流条对称设置。
[0012]更进一步地，两个汇流条均为异形汇流条，所述异形汇流条为圆弧形汇流条，上下两个圆弧形汇流条相互平行。
[0013]本专利技术相比现有技术具有以下优点：该具有异形汇流条的声表面波谐振器，在常规的声表面声波谐振器的基础上，对谐振器的汇流条形状进行优化设计并提出了多种设计方案；所提出的各种汇流条形状不仅可以抑制杂散模的产生，改善谐振器的性能，而且给出了极大的设计自由度，以便于灵活的适用于不同的应用要求，提升了空间利用率，值得被推广使用。
附图说明
[0014]图1是声表面波谐振器的俯视结构示意图；
[0015]图2是普通型声表面波谐振器的截面结构示意图；
[0016]图3是高性能型声表面波谐振器的截面结构示意图；
[0017]图4是温补型声表面波谐振器的截面结构示意图；
[0018]图5是横向模式被抑制之后与未抑制的Y参数曲线对比示意图(其中曲线13为横向模式经过抑制之后的Y参数曲线，曲线14为横向模式未抑制的Y参数曲线)；
[0019]图6是实施例一中声表面波谐振器的俯视结构示意图；
[0020]图7a是实施例二中声表面波谐振器的俯视结构示意图(一个汇流条为V形汇流条，另一个汇流条为直线形汇流条)；
[0021]图7b是实施例二中声表面波谐振器的俯视结构示意图(两个汇流条为倒V形汇流条)；
[0022]图8a是实施例三中声表面波谐振器的俯视结构示意图(一个汇流条为圆弧形汇流条，另一个汇流条为直线形汇流条)；
[0023]图8b是实施例三中声表面波谐振器的俯视结构示意图(两个汇流条均为圆弧形汇流条，并对称设置)；
[0024]图8c是实施例三中声表面波谐振器的俯视结构示意图(两个汇流条均为圆弧形汇流条，并相互平行设置)。
[0025]图1中：1、反射栅；2、叉指电极；3、汇流条。
[0026]图2中：1、反射栅；2、叉指电极；4、电极；5、压电材料。
[0027]图3中：1、反射栅；2、叉指电极；6、电极；7、压电材料；8、低声速层；9、衬底。
[0028]图4中：1、反射栅；2、叉指电极；11、电极；10、温补层；12、压电材料。
具体实施方式
[0029]下面对本专利技术的实施例作详细说明，本实施例在以本专利技术技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本专利技术的保护范围不限于下述的实施例。
[0030]实施例一
[0031]本实施例提供一种技术方案：一种具有异形汇流条的声表面波谐振器，包括两个反射栅、叉指电极、两个汇流条，所述反射栅分别设置在所述汇流条、叉指电极的两侧，所述叉指电极设置在两个所述汇流条之间，两个汇流条中至少有一个为异形汇流条，本实施例中的声表面波谐振器的结构组成相对于现有声表面波谐振器的主要结构组成(图1中的结构)没有变化，主要是在汇流条形状上做出了改变。
[0032]在本实施例中，两个所述汇流条均为异形汇流条，即倾斜汇流条，如图6所示，每个倾斜汇流条和水平方向的夹角α为汇流条的倾斜角，其中倾斜的角度为
‑7°
至7
°
，可以根据版图布局、电学响应等因素进行单独自由调整，上下两个汇流条在一定范围内自由变动，包含了上下两个汇流条平行、对称等特殊情况。叉指电极的朝向依然是保持垂直于水平方向，并和两侧的反射栅保持平行。
[0033]实施例二
[0034]本实施例提供一种技术方案：一种具有异形汇流条的声表面波谐振器，包括两个反射栅、叉指电极、两个汇流条，所述反射栅分别设置在所述汇流条、叉指电极的两侧，所述叉指电极设置在两个所述汇流条之间，两个汇流条中至少有一个为异形汇流条，本实施例中的声表面波谐振器的结构组成相对于现有声表面波谐振器的主要结构组成(图1中的结构)没有变化，主要是在汇流条形状上做出了改变。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有异形汇流条的声表面波谐振器，其特征在于，包括两个反射栅、叉指电极、两个汇流条，所述反射栅分别设置在所述汇流条、叉指电极的两侧，所述叉指电极设置在两个所述汇流条之间，并与两侧的所述反射栅相互平行，两个汇流条中至少有一个为异形汇流条。2.根据权利要求1所述的一种具有异形汇流条的声表面波谐振器，其特征在于：两个所述汇流条均为异形汇流条，所述异形汇流条为倾斜汇流条，每个倾斜汇流条和水平方向的夹角α为汇流条的倾斜角，其中倾斜角为
‑7°
至7
°
。3.根据权利要求1所述的一种具有异形汇流条的声表面波谐振器，其特征在于：其中一个汇流条为异形汇流条，所述异形汇流条V形为或者倒V形汇流条，另一个汇流条为直线形汇流条。4.根据权利要求1所述的一种具有异形汇流条的声表面波谐振器，其特征在于：两个汇流条均为异形汇流条，所述异形...

【专利技术属性】
技术研发人员：张海力，刘贤栋，王亮，姜伟，高安明，
申请(专利权)人：浙江星曜半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：