下载一种体声波谐振器的技术资料

文档序号:33673039

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本实用新型提供一种体声波谐振器,包括:衬底;声反射层,设置在所述衬底上,所述声反射层远离所述衬底的一侧形成有开口;第一电极层,设置在所述声反射层上,且与所述声反射层的所述开口形成空腔;压电层,设置在所述第一电极层上;第二电极层,设置在所述压...
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