一种高稳定性驱动部件和MEMS开关制造技术

本申请公开了一种高稳定性驱动部件，包括支撑架，支撑架包括相对设置的基底；设于支撑架上的滑动部件；设于基底之间的用于驱动滑动部件移动的驱动部件；设于基底外侧的用于校正滑动部件偏移的纠偏部件；驱动部件和纠偏部件的高度均小于基底的高度，滑动部件与纠偏部件在水平面上的投影重叠面积大于零。本申请中滑动部件设置基底上，驱动部件的高度小于基底的高度，即仅通过基底对滑动部件进行支撑，减小基底与滑动部件的接触面积，降低两者间的摩擦力，从而降低滑动部件的驱动力；且基底外侧还设置有纠偏部件，可以实现对滑动部件的偏移校正，降低滑动部件在移动时发生偏移的可能性，提升滑动部件移动的稳定性。本申请还提供一种MEMS开关。MEMS开关。MEMS开关。

【技术实现步骤摘要】
一种高稳定性驱动部件和MEMS开关


[0001]本申请涉及射频器件
，特别是涉及一种高稳定性驱动部件和MEMS开关。

技术介绍

[0002]RF MEMS(Radio Frequency Micro
‑
Electro
‑
Mechanical System，射频微机电系统)驱动部件具有高线性度、低损耗、高隔离度等优异特性，广泛应用在移动通信终端及系统、卫星通信系统、高性能相控阵雷达等领域。
[0003]目前，面内滑动式的驱动部件在基底的内部设置驱动部件，滑动部件设在基底上表面，驱动部件在驱动滑动部件移动的过程中，滑动部件与基底的接触面积为滑动部件的下表面，接触面积较大，使得摩擦力较大；滑动部件受到驱动部件向下的吸力，由于滑动部件正下方也是基底，也使得摩擦力较大，从而使得驱动力较大。同时，由于驱动部件仅位于滑动部件的正下方，滑动部件会向与设定移动方向垂直的方向发生偏移，滑动部件的运动并不稳定。
[0004]因此，如何解决上述技术问题应是本领域技术人员重点关注的。

技术实现思路

[本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高稳定性驱动部件，其特征在于，包括：支撑架，所述支撑架包括相对设置的基底；设于所述支撑架上的滑动部件；设于所述基底之间的用于驱动所述滑动部件移动的驱动部件；设于所述基底外侧的用于校正所述滑动部件偏移的纠偏部件；所述驱动部件和所述纠偏部件的高度均小于所述基底的高度，所述滑动部件与所述纠偏部件在水平面上的投影重叠面积大于零。2.如权利要求1所述的高稳定性驱动部件，其特征在于，所述滑动部件的外缘在所述纠偏部件的外缘内部，或者与所述纠偏部件的外缘重合。3.如权利要求1所述的高稳定性驱动部件，其特征在于，所述滑动部件的外缘超出所述纠偏部件的外缘。4.如权利要求1所述的高稳定性驱动部件，其特征在于，所述纠偏部件包括至少两个纠偏电极，且两个所述纠偏电极分别设置在所述滑动部件移动方向上相对的两侧，且所述滑动部件与两侧的所述纠偏电极的投影重叠面积均大于零。5.如权利要求4所述的高稳定性驱动部件，其特征在于，在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李闯，向小健，聂锦辉，胡恒谦，郑泉水，
申请(专利权)人：深圳清华大学研究院，
类型：新型
国别省市：