一种新型电极驱动结构及MEMS开关制造技术

本申请公开了一种新型电极驱动结构，包括基底；设于所述基底上表面的滑动部件；用于驱动所述滑动部件的驱动部件，且驱动部件的位置不低于所述基底的上表面，所述驱动部件驱动所述滑动部件在所述基底的上表面滑动。本申请的驱动结构中滑动部件设置在基底的上表面，驱动部件的位置不低于基底的上表面，即驱动部件并不设置在基底内部，驱动部件在驱动滑动部件在基底上表面滑动时，驱动部件和滑动部件之间的力并不会施加在滑动部件朝向基底的方向上，滑动部件在更小的驱动力作用下就可以实现更快速地驱动。此外，本申请还提供一种MEMS开关。本申请还提供一种MEMS开关。本申请还提供一种MEMS开关。

【技术实现步骤摘要】
一种新型电极驱动结构及MEMS开关


[0001]本申请涉及射频器件
，特别是涉及一种新型电极驱动结构及MEMS开关。

技术介绍

[0002]RF MEMS(Radio Frequency Micro
‑
Electro
‑
Mechanical System，射频微机电系统)开关具有高线性度、低损耗、高隔离度等优异特性，广泛应用在移动通信终端及系统、卫星通信系统、高性能相控阵雷达等领域。
[0003]现有的RF MEMS电容开关，驱动部件设置在基底的内部，滑动部件设置在基底上方，通过底部的驱动部件形成的压差驱动滑动部件的运动。由于驱动部件设置在基底的内部，驱动部件和滑动部件之间会由于静电吸合作用，驱动部件朝向基底具有较大的力，使得驱动部件驱动滑动部件需要更大的驱动力，且可能导致静电击穿。
[0004]因此，如何解决上述技术问题应是本领域技术人员重点关注的。

技术实现思路

[0005]本申请的目的是提供一种新型电极驱动结构及MEMS开关，以更小的驱动力实现更快的驱动速度。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型电极驱动结构，其特征在于，包括：基底；设于所述基底上表面的滑动部件；用于驱动所述滑动部件的驱动部件，且驱动部件的位置不低于所述基底的上表面，所述驱动部件驱动所述滑动部件在所述基底的上表面滑动。2.如权利要求1所述的新型电极驱动结构，其特征在于，所述驱动部件位于所述滑动部件的两侧。3.如权利要求1所述的新型电极驱动结构，其特征在于，所述驱动部件位于所述滑动部件的上方；相应的，还包括设于所述基底上表面且与所述驱动部件连接的支撑部件。4.如权利要求1所述的新型电极驱动结构，其特征在于，所述驱动部件设于所述滑动部件的两端，且所述滑动部件于所述驱动部件之间运动。5.如权利要求3所述的新型电极驱动结构，其特征在于，所述支撑部件为绝缘部件。6.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：李闯，向小健，聂锦辉，胡恒谦，郑泉水，
申请(专利权)人：深圳清华大学研究院，
类型：新型
国别省市：