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一种新型电极驱动结构及MEMS开关制造技术
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下载一种新型电极驱动结构及MEMS开关的技术资料
文档序号:33664306
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本申请公开了一种新型电极驱动结构,包括基底;设于所述基底上表面的滑动部件;用于驱动所述滑动部件的驱动部件,且驱动部件的位置不低于所述基底的上表面,所述驱动部件驱动所述滑动部件在所述基底的上表面滑动。本申请的驱动结构中滑动部件设置在基底的上表...
该专利属于深圳清华大学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳清华大学研究院授权不得商用。
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