一种非连续支撑的驱动部件和MEMS开关制造技术

本申请公开了一种非连续支撑的驱动部件，包括支撑架，支撑架包括相对设置的基底；设于支撑架上的滑动部件；滑动部件的宽度大于基底之间的距离；设于基底相对范围内且不完全位于相对范围内的驱动部件，驱动部件的高度小于基底的高度，且初始位置时，滑动部件与位于滑动部件外侧的驱动部件在水平面的投影重叠面积大于或者等于零。本申请中的驱动部件仅通过基底形成的支撑架对滑动部件支撑，减小滑动部件与基底之间的接触面积，从而降低两者间的摩擦力，从而降低滑动部件所需的驱动力；且滑动部件与位于其外侧的驱动部件的边缘处于刚好搭接的临界状态，可以消除边缘效应，使得摩擦力大幅度降低。本申请还提供一种MEMS开关。本申请还提供一种MEMS开关。本申请还提供一种MEMS开关。

【技术实现步骤摘要】
一种非连续支撑的驱动部件和MEMS开关


[0001]本申请涉及射频器件
，特别是涉及一种非连续支撑的驱动部件和MEMS开关。

技术介绍

[0002]RF MEMS(Radio Frequency Micro
‑
Electro
‑
Mechanical System，射频微机电系统)驱动部件具有高线性度、低损耗、高隔离度等优异特性，广泛应用在移动通信终端及系统、卫星通信系统、高性能相控阵雷达等领域。
[0003]目前，面内滑动式的驱动部件在基底的内部设置驱动部件，滑动部件设在基底上表面，驱动部件在驱动滑动部件移动的过程中，滑动部件与基底的接触面积为滑动部件的下表面，接触面积较大，使得摩擦力较大；滑动部件受到驱动部件向下的吸力，由于滑动部件正下方也是基底，也使得摩擦力较大，从而使得驱动力较大。
[0004]因此，如何解决上述技术问题应是本领域技术人员重点关注的。

技术实现思路

[0005]本申请的目的是提供一种非连续支撑的驱动部件和MEMS开关，以降低滑动部件所需的驱动力，并消除滑本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种非连续支撑的驱动部件，其特征在于，包括：支撑架，所述支撑架包括相对设置的基底；设于所述支撑架上的滑动部件；所述滑动部件的宽度大于所述基底之间的距离；设于所述基底相对范围内且不完全位于所述相对范围内的驱动部件，所述驱动部件的高度小于所述基底的高度，且初始位置时，所述滑动部件与位于所述滑动部件外侧的所述驱动部件在水平面的投影重叠面积大于或者等于零。2.如权利要求1所述的驱动部件，其特征在于，所述驱动部件包括至少两个驱动电极。3.如权利要求2所述的驱动部件，其特征在于，所述驱动部件包括三个所述驱动电极。4.如权利要求3所述的驱动部件，其特征在于，当所述驱动电极的数量为三个时，相邻所述驱动电极间距离相等。5.如权利要求3所述的驱动部件，其特征在于，所述基底包括多个间隔设置的基底单元，两侧的所述驱动电极位于所述基底单元的相对范围内。6.如权利要求3所述的驱动部件，其特征在于，所述基底包括多个间隔设置的基...

【专利技术属性】
技术研发人员：李闯，向小健，聂锦辉，柏帆，郑泉水，
申请(专利权)人：深圳清华大学研究院，
类型：新型
国别省市：