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一种高稳定性驱动部件和MEMS开关制造技术
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下载一种高稳定性驱动部件和MEMS开关的技术资料
文档序号:33664598
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本申请公开了一种高稳定性驱动部件,包括支撑架,支撑架包括相对设置的基底;设于支撑架上的滑动部件;设于基底之间的用于驱动滑动部件移动的驱动部件;设于基底外侧的用于校正滑动部件偏移的纠偏部件;驱动部件和纠偏部件的高度均小于基底的高度,滑动部件与...
该专利属于深圳清华大学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳清华大学研究院授权不得商用。
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