【技术实现步骤摘要】
一种晶圆分选机上料托盘的晶圆转移检测机构
[0001]本技术涉及一种晶圆分选机组件，具体地说，是一种晶圆分选机上料托盘的晶圆转移检测机构。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆加工过程中，由于外界因素会导致生产的晶圆种类和质量有所不同，通常在自动光学检测机中进行AOI测试，对晶圆的种类、质量进行检测后，然后依据种类及质量的不同对晶圆进行分选，把不同的晶圆分隔开来。
[0003]目前，晶圆的分选工艺主要是通过人工进行分选，分选工人需要对每片晶圆进行仔细检查后进行归类放置，不但分选效率低，劳动强度大，分选成本高，且人工分选无法对衬底号进行排序，在分选过程中，由于人员操作不细心等各种主观原因易导致分选错误，且在分选时易对晶圆造成划伤，会导致晶圆直接报废或降级处理，直接影响晶圆的生产质量及产品合格率。因此，开发一种晶圆自动分选机，不但具有迫切的研究价值，也具有良好的经济效益和工业应用潜力。
[0004]传统的晶圆分拣机中采用的晶圆取放装置是单轴设置的取放吸...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆分选机上料托盘的晶圆转移检测机构，包括机架以及设置在机架上的转移机构和检测机构，其特征在于：所述转移机构包括架设在机架侧面的水平穿梭组件，所述水平穿梭组件包括穿梭单轨和滑移连接在穿梭单轨上的穿梭小车，所述检测机构包括安装在机架内垂直升降的测试压头和配合安装在穿梭平台两侧的IC方向检测传感器组。2.根据权利要求1所述的一种晶圆分选机上料托盘的晶圆转移检测机构，其特征在于：所述水平穿梭组件包括两根穿梭单轨，两根所述穿梭单轨分别架设在机架的两侧，每根所述穿梭单轨上均设有配合的穿梭...
【专利技术属性】
技术研发人员：季林，卞则军，
申请(专利权)人：苏州博康智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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