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本实用新型公开一种晶圆分选机上料托盘的晶圆转移检测机构，包括机架以及设置在机架上的转移机构和检测机构，所述转移机构包括架设在机架侧面的水平穿梭组件，所述水平穿梭组件包括穿梭单轨和滑移连接在穿梭单轨上的穿梭小车，所述检测机构包括安装在机架内垂...
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