一种输送硅片的有料夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种输送硅片的有料夹持装置，包括安装架和固定架，所述安装架的底部固定连接有固定板，固定板的上表面固定连接有多个导轨，所述固定架的底部固定连接有多个滑座，且滑座与导轨滑动连接，所述固定架的底部固定连接有直线电机，且直线电机与导轨滑动连接，所述固定架的顶部活动连接有多个滑杆，滑杆的底端固定连接有连接杆，连接杆的底端固定连接有钩爪。本实用新型专利技术不仅能够通过夹爪与钩爪的配合使用，使硅片得到稳固的夹持，提高了装置的固定效果，同时能够通过有篮感应头对钩爪上的硅片进行感应，提高了装置的便捷性，还能够通过定位杆对滑块移动的位置进行定位，提高了装置的定位效果。提高了装置的定位效果。提高了装置的定位效果。

【技术实现步骤摘要】
一种输送硅片的有料夹持装置


[0001]本技术涉及硅片加工
，尤其涉及一种输送硅片的有料夹持装置。

技术介绍

[0002]科学技术的发展不断推动着半导体的发展，使硅片得到广泛使用，硅片在加工过程中必不可少的一项是运输转移到下一工序，上下工序的有序衔接可以大大提高其生产效率，在对硅片移动的过程中，需要对硅片进行固定。
[0003]目前市场上输送硅片的有料夹持装置在对硅片进行转移时，通常采用钩爪钩住转移，然而在转移的过程中会产生抖动，严重时会脱离钩爪，造成产品的损坏，因此，提出一种输送硅片的有料夹持装置显得非常必要。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种输送硅片的有料夹持装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种输送硅片的有料夹持装置，包括安装架和固定架，所述安装架的底部固定连接有固定板，固定板的上表面固定连接有多个导轨，所述固定架的底部固定连接有多个滑座，且滑座与导轨滑动连接，所述固定架的底部固定连接有直线电机，且直线电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种输送硅片的有料夹持装置，包括安装架(1)和固定架(4)，其特征在于，所述安装架(1)的底部固定连接有固定板(8)，固定板(8)的上表面固定连接有多个导轨(5)，所述固定架(4)的底部固定连接有多个滑座，且滑座与导轨(5)滑动连接，所述固定架(4)的底部固定连接有直线电机(3)，且直线电机(3)与导轨(5)滑动连接，所述固定架(4)的顶部活动连接有多个滑杆(21)，滑杆(21)的底端固定连接有连接杆(2)，连接杆(2)的底端固定连接有钩爪(7)，钩爪(7)的内部活动连接有连接轴，连接轴的一侧固定连接有夹爪(6)，所述连接轴的一侧活动连接有扭力弹簧(11)，且扭力弹簧(11)的两端分别与连接轴和钩爪(7)相固定，所述钩爪(7)的一侧开设有滑槽，滑槽内活动连接有滑块(15)，滑块(15)的一侧固定连接有受力杆(16)，且夹爪(6)与受力杆(16)相接触，所述滑块(15)的底部固定连接有第一弹簧(14)，且第一弹簧(14)与钩爪(7)相固定。2.根据权利要求1所述的一种输送硅片的有料夹持装置，其特征在于，所述固定架(4)的上表面固定连接有多个安装板(20)，安装板(20)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：章祥静，周裕吉，
申请(专利权)人：无锡京运通科技有限公司，
类型：新型
国别省市：