【技术实现步骤摘要】
一种晶圆传输的过渡装置及其形成的晶圆传输系统
[0001]本专利技术属于晶圆传输领域，具体属于一种晶圆传输的过渡装置及其形成的晶圆传输系统。
技术介绍
[0002]在晶圆传输过程中，需要在多个晶圆平台之间进行转运，转运的晶圆有可能是经过加工处理之后的晶圆，此时晶圆需要保持在真空环境中，防止表面被污染。
[0003]然而现有的晶圆平台可能来自不同厂家，具有不同的大小和尺寸，无法拼接形成整体，因此就需要采用过渡装置将不同的晶圆平台拼接在一起。现有的过渡装置需要针对待拼接的晶圆平台进行专门设计，不同形状和尺寸的晶圆平台所需要的过渡装置不同，这就导致晶圆传输系统中需要多个过渡装置，制备存储这些过渡装置需要花费大量的成本，间接提升了晶圆传输系统的运营成本。
技术实现思路
[0004]本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的问题之一。为此，本专利技术的目的在于提供一种晶圆传输的过渡装置及其形成的晶圆传输系统，能够将过渡装置拆分为通用部和补充部，通用部结合不同的补充部即可实现不同晶圆平台之间的拼接转运，降低了...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆传输的过渡装置，其特征在于，包括：通用部；其内部形成放置晶圆的中转腔，所述中转腔外侧设置有通用连接侧壁，所述通用连接侧壁中设置有容纳晶圆通过的连接通孔；补充部；其内部形成能够容纳晶圆通过的补充腔，所述补充腔外侧设置有补充连接侧壁，且所述补充连接侧壁与所述通用连接侧壁相匹配；所述补充连接侧壁中设置有容纳晶圆通过的补充通孔。2.根据权利要求1所述一种晶圆传输的过渡装置，其特征在于，所述通用连接侧壁包括第一通用连接侧壁和第二通用连接侧壁，所述第一通用连接侧壁中包含第一连接通孔，所述第二通用连接侧壁中包含第二连接通孔。3.根据权利要求2所述一种晶圆传输的过渡装置，其特征在于，所述第一通用连接侧壁和第二通用连接侧壁之间设置有第一弯折侧壁和第二弯折侧壁；所述第一通用连接侧壁、第二通用连接侧壁、第一弯折侧壁和第二弯折侧壁共同围成所述中转腔，所述中转腔内部设置有放置晶圆的承载台。4.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯琳，刘锐，高飞翔，田君一，
申请(专利权)人：上海广川科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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