下载一种输送硅片的有料夹持装置的技术资料

文档序号:33641350

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本实用新型公开了一种输送硅片的有料夹持装置,包括安装架和固定架,所述安装架的底部固定连接有固定板,固定板的上表面固定连接有多个导轨,所述固定架的底部固定连接有多个滑座,且滑座与导轨滑动连接,所述固定架的底部固定连接有直线电机,且直线电机与导...
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