空晶圆盒管理方法、装置、计算机设备和存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种空晶圆盒管理方法、装置、计算机设备和存储介质，属于仓库管理领域，方法包括通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收空晶圆盒，并根据空晶圆盒的晶盒标识将空晶圆盒的存储状态设置为未清洁；控制本地管理设备接收远程管理系统发送来的清洁请求；根据清洁请求获取所有存储状态为未清洁的空晶圆盒的晶盒标识；基于晶盒标识，通过本地管理设备生成输送空晶圆盒到清洁系统的输送路径；通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收清洁后的空晶圆盒，并将空晶圆盒的存储状态设置为清洁。通过本申请的处理方案，可以对空晶圆盒进行区分，从而及时地响应生产中更换FOUP的需求。求。求。

【技术实现步骤摘要】
空晶圆盒管理方法、装置、计算机设备和存储介质


[0001]本专利技术涉及仓库管理领域，具体涉及一种空晶圆盒管理方法、装置、计算机设备和存储介质。

技术介绍

[0002]在晶圆生产过程中，常常需要空且清洁的晶盘盒(空FOUP)，例如，有时需要对同一工单的一批晶圆做拆批(即将该批晶圆分为多个批次)，需要采用空晶圆盒对被拆分出来的晶圆进行承装；或是对晶圆进行抽检量测，也需要另外干净的空晶圆盒；而且当晶圆在不同工艺步骤传递时，也需要空闲且清洁的晶盘盒。因此，在晶圆生产过程中，为了保证最终的晶圆的洁净度，系统需要对清洁的和非清洁的空FOUP区分，并且需要协调整个系统中每个存储仓(STOCKER)中空FOUP的数量是均衡的。

技术实现思路

[0003]因此，为了克服上述现有技术的缺点，本专利技术提供一种空晶圆盒管理方法、装置、计算机设备和存储介质。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术提供一种空晶圆盒管理方法，包括：通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收空晶圆盒，并根据所述空晶圆盒的晶盒标识将所述空晶圆盒的存储本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种空晶圆盒管理方法，其特征在于，包括：通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收空晶圆盒，并根据所述空晶圆盒的晶盒标识将所述空晶圆盒的存储状态设置为未清洁；控制所述本地管理设备接收远程管理系统发送来的清洁请求；根据所述清洁请求获取所有存储状态为未清洁的所述空晶圆盒的晶盒标识；基于所述晶盒标识，通过所述本地管理设备生成输送所述空晶圆盒到清洁系统的输送路径；通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制所述第一存储货架接收清洁后的空晶圆盒，并将空晶圆盒的存储状态设置为清洁。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述根据所述清洁请求获取所有存储状态为未清洁的所述空晶圆盒的晶盒标识之前，还包括：获取所述第一存储货架接收所述空晶圆盒的时长信息；判断所述时长信息是否超出预设阈值；当判定为是时，根据所述空晶圆盒的晶盒标识将所述空晶圆盒的存储状态设置为未清洁。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述清洁请求的获取方法，包括：通过本地管理设备定时获取所述第一存储货架的空晶圆盒的存储状态；当判定存在存储状态为未清洁的空晶圆盒时，所述本地管理设备生成清洁请求。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制所述第一存储货架接收清洁后的空晶圆盒，还包括：当所述本地管理设备根据负载平衡控制原则判定所述第一存储货架停止接收清洁后的空晶圆盒时，所述本地管理设备获取与所述第一存储货架相邻的第二存储货架；所述本地管理设备根据负载平衡控制原则控制所述第二存储货架继续接收清洁后的空晶圆盒。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述负载平衡控制原则包括控制所述第一存储货架中空晶圆盒的数量不小于预设阈值。6.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：缪峰，申国莉，
申请(专利权)人：弥费实业上海有限公司，
类型：发明
国别省市：