温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种空晶圆盒管理方法、装置、计算机设备和存储介质，属于仓库管理领域，方法包括通过本地管理设备根据负载平衡控制原则控制第一存储货架接收空晶圆盒，并根据空晶圆盒的晶盒标识将空晶圆盒的存储状态设置为未清洁；控制本地管理设备接收远程管理...
该专利属于弥费实业（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过弥费实业（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。