一种基于高温等离子的真空封管装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于高温等离子的真空封管装置，包括真空封管机、抽真空管机构、第一活动台、第二活动台和高温等离子烧结机构，所述真空封管机的右侧面上部安装有抽真空管机构，所述左侧架和右侧架的下端垂直固定在底座的上端面，且左侧架的下部内开设有凹槽，并且凹槽的中部安装有第一丝杆；所述第一活动台的上端面活动设置有第二活动台,且高温等离子烧结机构安装在第二活动台的上端。本发明专利技术是采用高温等离子作为热源对管状物焊接，且等离子温度可调，方便手动和PLC自动控制；可密封不同材质、管径和壁厚的管件、使用范围更广泛，且可密封不同类型的管状对象，设置更智能便利，使用更安全稳定可靠。更安全稳定可靠。更安全稳定可靠。

【技术实现步骤摘要】
一种基于高温等离子的真空封管装置及方法


[0001]本专利技术涉及真空封管相关
，具体为一种基于高温等离子的真空封管装置及方法。

技术介绍

[0002]随着先进电子材料器件市场快速增长的需求，需采用真空封管制备工艺生长制备高性能材料器件，真空封管的普遍推广和广泛用途也在日新月异的变化中。为了提高材料器件制造工艺的可靠稳定性，人们也将一些磁流体旋转结构和密封引入到了真空封管设备中。传统的封管工艺为手动旋转加热器，用易燃易爆气体（如氢气氧气，乙炔、甲烷等）燃烧的热源加热管件进行密封，用气体燃烧高温熔融工件即管件进而达到密封目的，这种采用燃气封管的技术安全性不高，极易发生燃气泄漏引发爆炸等重大安全事故，且只能熔融普通玻璃制品，可靠性差，无法熔融一些金属管件，使用不安全、不可靠、不智能、不环保。而采用高温等离子做为热源进行真空封管能有效避免传统封管存在的安全风险，防止出现安全事故，能安全高效、可靠稳定、环保节能的解决先进电子材料器件研发生产中的真空封管工艺。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种基于高温等离子的真空封管装置及方法，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的管状物封装或封装设备都是利用可燃性气体温熔融管口进行封装，安全性不高，且易发生爆炸等事故，且只能熔融玻璃制品，无法熔融一些金属管状物，使用并不智能安全可靠的问题。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种基于高温等离子的真空封管装置，包括真空封管机、抽真空管机构、第一活动台、第二活动台和高温等离子烧结机构，所述真空封管机的右侧面上部安装有抽真空管机构，且真空封管机的左侧面中部固定有左旋轴,左旋轴的另一端穿过左侧架设置，并且左旋轴的左端安装在左侧架左侧面上端的第一电机上，所述真空封管机的右侧面中部固定有右旋轴，且右旋轴的右端穿过右旋轴设置；所述左侧架和右侧架的下端垂直固定在底座的上端面，且左侧架的下部内开设有凹槽，并且凹槽的中部安装有第一丝杆，同时第一丝杆上活动设置有第三活动台，且左右两边的两组第三活动台之间活动设置有第一活动台；所述第一活动台的上端面活动设置有第二活动台,且高温等离子烧结机构安装在第二活动台的上端。
[0005]作为进一步的技术方案所述真空封管机的前侧面设置有前操控面板,前操控面板上设置有三组管体旋转电机开关按钮和第二按钮，每组管体旋转电机开关按钮和一组第二按钮上下对齐设置，且真空封管机的下端面设置有三组上连接座，上连接座的下端设置有下接口，并且下接口下依次安装有密封垫圈和管接口，并且管接口下安装有管状物，同时管接口和管状物之间通过调节夹安装在一起。
[0006]作为进一步的技术方案所述凹槽内前后两部均设置有第一导向杆，且第三活动台的中部活动连接在第一丝杆中，第一丝杆的上端安装在第二电机下，第一丝杆的下端转动连接在底座上安装槽内，第三活动台的前后两部分别套置在第一导向杆内，并且第三活动台在垂直方向上升降活动。
[0007]作为进一步的技术方案所述抽真空管机构的中部安装有气压表,气压表下设置有气压调节阀，且抽真空管机构的右部设置有主流控制阀，且主流控制阀的下方设置有分流控制阀，并且抽真空管机构的右端设置有气管接口。作为进一步的技术方案所述第一活动台的中部活动连接在第二丝杆上，且第二丝杆的左端安在第三活动台的左侧面中心的第三电机上，第二丝杆的右端转动连接在右侧的第三活动台中，并且第一活动台的前后两部均套置在一组第二导向杆上，第二导向杆固定在两边的第三活动台之间，且第一活动台在水平方向上左右移动活动。
[0008]作为进一步的技术方案所述第二活动台的底端设置有滑块，且第一活动台的上端面设置有直线滑轨,滑块滑动连接在直线滑轨上，并且第二活动台在水平方向上前后移动活动。
[0009]作为进一步的技术方案，所述第二活动台的下部设置有安装座,安装座的右侧面设置有右固定板,右固定板上垂直固定有右套杆,右套杆上套置有第二齿轮，且安装座的中心转动连接有安装轴,安装轴的下部套置有第一齿轮，并且第一齿轮与第二齿轮之间齿动连接在一起。
[0010]作为进一步的技术方案，所述高温等离子烧结机构上设置有轴销，且轴销上铰接有两组夹板，且前后两组夹板之间夹持有高温等离子发射焊枪，并且前后两组夹板的上部之间安装有锁紧螺栓，并且高温等离子发射焊枪与左侧架左侧面上部的高温等离子PLC操控台之间连接有连接管，且高温等离子发射焊枪为拆卸结构。
[0011]一种基于高温等离子的真空封管方法，包括连接分子泵组、在真空封管机上安装管状物、装样前抽真空处理、管状物缩颈处理、装样、装样后抽真空处理、充入保护气体和管状物封接，包括：步骤一：连接分子泵；真空封管机接口连接25转16的变径，使用卡箍锁紧，使用KF25波纹管的一端连接真空封管机的变径接口，KF25波纹管的另一端连接分子泵组接口，并与卡箍锁紧。
[0012]步骤二：在真空封管机上安装管状物；使用卡箍将管接头锁紧在真空封管机上，拧开管接头，安装一定的顺序将管状物连接在管接头上。
[0013]步骤三：装样前抽真空处理；开启分子泵组，拧开分流抽真空控制阀，当压力表达到负压值
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1bar后，可拧紧分流抽真空控制阀并暂停分子泵组，停止抽真空。
[0014]步骤四：管状物缩颈处理；开启抽真空封管机绿色电机开关，通过速度调节旋钮控制旋转速度，拧松高温等离子发射焊枪夹持装置的固定螺丝，将高温等离子发射焊枪安装到夹持装置上，拧紧固定，拧开高温等离子发射焊枪调节阀产气，然后点燃高温等离子发射焊枪，对管状物中部预热，之后将焊枪焰挪到管状物需要缩颈的对应位置，开始烧结缩颈，带上护目镜，观察烧结情况，看到管状物缩颈部位明显烧熔凹陷即完成缩颈，快速拧紧高温等离子发射焊枪调节阀停止烧结，关闭真空封管机电机开关，拧开放气口泄压后关闭放气口，带上防护手套，拧开管接头，取下管状物，放入试管架冷却。
[0015]步骤五：装样，将样品放入管状物内，将装样后的管状物连接在管接头上。
[0016]步骤六：装样后抽真空处理；开启抽真空管机，要缓慢拧开分流抽真空控制阀，以免样品被抽出，当压力表达到负压值
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1bar后，可以缓慢拧开主流抽真空控制阀，拧紧分流抽真空控制阀，在分子泵组面板上查看抽真空度数，达到想要的高真空度值后即可拧紧主流抽真空控制阀。
[0017]步骤七：充入保护气体；将充气设备的充气管插入到真空封管机充气口，缓慢拧开充气口控制阀，压流表指针指向负压中间值
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0.6bar时，快速关闭充气口控制阀。
[0018]步骤八：管状物封接；拧开拧开等离子电源开关，打开等离子发射焊枪，将等离子发射焊枪对准管状物锁紧部位开始烧结封管，看到管状柱体管状壁烧结熔融在一起即完成封管，立即拧紧高温等离子发射焊枪调节阀停止烧结。
[0019]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：1.在本专利技术中上连接座下端所设置的下接口下安装有密封垫圈和管接口,密封垫圈采用双重密封安装在下接口和管接口之间，起到密封的作用，避免漏气本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于高温等离子的真空封管装置，包括真空封管机（1）、抽真空管机构（3）、第一活动台（7）、第二活动台（8）和高温等离子烧结机构（9），其特征在于：所述真空封管机（1）的右侧面上部安装有抽真空管机构（3），且真空封管机（1）的左侧面中部固定有左旋轴（14）,左旋轴（14）的另一端穿过左侧架（4）设置，并且左旋轴（14）的左端安装在左侧架（4）左侧面上端的第一电机（40）上，所述真空封管机（1）的右侧面中部固定有右旋轴（15），且右旋轴（15）的右端穿过右旋轴（15）设置；所述左侧架（4）和右侧架（5）的下端垂直固定在底座（6）的上端面，且左侧架（4）的下部内开设有凹槽（47），并且凹槽（47）的中部安装有第一丝杆（44），同时第一丝杆（44）上活动设置有第三活动台（45），且左右两边的两组第三活动台（45）之间活动设置有第一活动台（7）；所述第一活动台（7）的上端面活动设置有第二活动台（8）,且高温等离子烧结机构（9）安装在第二活动台（8）的上端。2.根据权利要求1所述的一种基于高温等离子的真空封管装置，其特征在于：所述真空封管机（1）的前侧面设置有前操控面板（10）,前操控面板（10）上设置有三组管体旋转电机开关按钮（11）和第二按钮（12），每组管体旋转电机开关按钮（11）和一组第二按钮（12）上下对齐设置，且真空封管机（1）的下端面设置有三组上连接座（13），上连接座（13）的下端设置有下接口（16），并且下接口（16）下依次安装有密封垫圈（17）和管接口（18），并且管接口（18）下安装有管状物（2），同时管接口（18）和管状物（2）之间通过调节夹（19）安装在一起。3.据权利要求1所述的一种基于高温等离子的真空封管装置，其特征在于：所述凹槽（47）内前后两部均设置有第一导向杆（48），且第三活动台（45）的中部活动连接在第一丝杆（44）中，第一丝杆（44）的上端安装在第二电机（43）下，第一丝杆（44）的下端转动连接在底座（6）上安装槽（60）内，第三活动台（45）的前后两部分别套置在第一导向杆（48）内，并且第三活动台（45）在垂直方向上升降活动。4.根据权利要求1所述的一种基于高温等离子的真空封管装置，其特征在于：所述抽真空管机构（3）的中部安装有气压表（30）,气压表（30）下设置有气压调节阀（33），且抽真空管机构（3）的右部设置有主流控制阀（31），且主流控制阀（31）的下方设置有分流控制阀（34），并且抽真空管机构（3）的右端设置有气管接口（32）。5.根据权利要求1所述的一种基于高温等离子的真空封管装置，其特征在于：所述第一活动台（7）的中部活动连接在第二丝杆（70）上，且第二丝杆（70）的左端安在第三活动台（45）的左侧面中心的第三电机（46）上，第二丝杆（70）的右端转动连接在右侧的第三活动台（45）中，并且第一活动台（7）的前后两部均套置在一组第二导向杆（71）上，第二导向杆（71）固定在两边的第三活动台（45）之间，且第一活动台（7）在水平方向上左右移动活动。6.根据权利要求1所述的一种基于高温等离子的真空封管装置，其特征在于：所述第二活动台（8）的底端设置有滑块（80），且第一活动台（7）的上端面设置有直线滑轨（72）,滑块（80）滑动连接在直线滑轨（72）上，并且第二活动台（8）在水平方向上前后移动活动。7.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：王瑞，莫琴，
申请(专利权)人：武汉是维光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：