本实用新型专利技术公开了一种去胶剥离机剥离液的回收再利用装置，包括新液储罐和回收液储罐，所述新液储罐的出液口通过新液供应系统与去胶剥离机的高压喷嘴相连通，所述回收液储罐通过回收液供应系统与去胶剥离机的下喷嘴和常压喷嘴连通；所述去胶剥离机上的排液口通过回收液收集系统与回收液储罐连通，所述新液储罐和回收液储罐上均设置有温控装置，所述新液储罐上还设置有新液补充管路。该回收再利用装置可以将去胶剥离机回收的剥离液回收后再利用，从而减少剥离液的消耗。从而减少剥离液的消耗。从而减少剥离液的消耗。
【技术实现步骤摘要】
一种去胶剥离机剥离液的回收再利用装置
[0001]本技术涉及一种回收再利用装置，尤其涉及一种去胶剥离机剥离液的回收再利用装置。
技术介绍
[0002]在半导体
中，需要在晶圆的表面生成金属层，目前的做法先在晶圆上生成一层光刻胶，然后进行刻蚀形成线条槽，然后通过金属离子蒸发工艺在光刻胶表面和晶圆线条槽内形成金属层，最终通过去胶和剥离工艺将无用的光刻胶和金属层去除，而保留线条槽内的金属。而目前的剥离装置的结构是通过将晶圆安装在旋转的晶圆卡座上，晶圆卡座处于清洗腔内，然后通过偏摆的喷头对晶圆表面进行喷淋剥离液，剥离液可以去除光刻胶，使无用的金属层脱落，然目前去胶剥离机在喷淋时都是使用新液进行喷淋，这样就造成了剥离液的使用消耗过大。
技术实现思路
[0003]本技术所要解决的技术问题是：提供一种去胶剥离机剥离液的回收再利用装置，该回收再利用装置可以将去胶剥离机回收的剥离液回收后再利用，从而减少剥离液的消耗。
[0004]为解决上述技术问题，本技术的技术方案是：一种去胶剥离机剥离液的回收再利用装置，包括新液储罐和回收液储罐，所述新液储罐的出液口通过新液供应系统与去胶剥离机的高压喷嘴相连通，所述回收液储罐通过回收液供应系统与去胶剥离机的下喷嘴和常压喷嘴连通；所述去胶剥离机上的排液口通过回收液收集系统与回收液储罐连通，所述新液储罐和回收液储罐上均设置有温控装置，所述新液储罐上还设置有新液补充管路。
[0005]作为一种优选的方案，所述回收液收集系统包括回收液收集管道和回收液缓存罐，该回收液缓存罐与去胶剥离机的排液口之间形成高度差，所述所述回收液收集管道一端与排液口连通，所述回收液收集管道的另一端与回收液缓存罐的入口相连通，所述回收液缓存罐的出口通过回收液连通管道与回收液储罐连通，所述回收液连通管道上设置有输送泵和第一过滤器。
[0006]作为一种优选的方案，所述回收液供应系统包括回收液供应管道，所述回收液供应管道上设置有回收液供应泵、第二过滤器、第一控制阀和第一压力表，所述第二过滤器设置于回收液供应泵的上游。
[0007]作为一种优选的方案，所述新液供应系统包括新液供应管道，所述新液供应管道上设置有新液供应泵、第二控制阀和第二压力表。
[0008]作为一种优选的方案，所述新液储罐上的温控装置包括电加热棒，该电加热棒固定在新液储罐的底部，所述新液储罐的中部设置有温度传感器。
[0009]作为一种优选的方案，所述的排液口数量为多个，所述回收液收集管道包括若干个与排液口一一对应连通的回收分管道。
[0010]采用了上述技术方案后，本技术的效果是：由于去胶剥离机剥离液的回收再利用装置，包括新液储罐和回收液储罐，所述新液储罐的出液口通过新液供应系统与去胶剥离机的高压喷嘴相连通，所述回收液储罐通过回收液供应系统与去胶剥离机的下喷嘴和常压喷嘴连通；所述去胶剥离机上的排液口通过回收液收集系统与回收液储罐连通，所述新液储罐和回收液储罐上均设置有温控装置，所述新液储罐上还设置有新液补充管路，因此，该回收再利用装置可以将回收的剥离液收集起来，然后再次利用到常压喷嘴和下喷嘴上，这样可以进行常压喷淋，回收的剥离液可以去胶，同时由于常压喷淋，可以减少杂质对晶圆内表面的损伤，然后利用新的剥离液供给高压喷嘴进行高压喷淋，新的剥离液进行高压喷淋可以产生相对大点的喷淋力而冲刷晶圆表面，使去胶剥离更彻底，效果更好，该回收再利用装置可以保证剥离效果的前提下能减少剥离液的损耗。
[0011]又由于所述回收液收集系统包括回收液收集管道和回收液缓存罐，该回收液缓存罐与去胶剥离机的排液口之间形成高度差，所述所述回收液收集管道一端与排液口连通，所述回收液收集管道的另一端与回收液缓存罐的入口相连通，所述回收液缓存罐的出口通过回收液连通管道与回收液储罐连通，所述回收液连通管道上设置有输送泵和第一过滤器，因此，该回收液收集系统中采用了回收液缓存罐，这样可以方便通过重力而自流入到回收液缓存罐中，然后输送泵提供输送力，在进入到回收液储罐之前先通过第一过滤器进行过滤，从而可以过滤回收液中的固体颗粒物，方便再次使用。
[0012]又由于所述回收液供应系统包括回收液供应管道，所述回收液供应管道上设置有回收液供应泵、第二过滤器、第一控制阀和第一压力表，所述第二过滤器设置于回收液供应泵的上游，这样回收液再利用之前，可以通过第二过滤器过滤，同时利用第一压力表可以反映出回收液供应泵提供的压力，从而更直观的调整回收液供应泵输出功率。
附图说明
[0013]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0014]图1是本技术实施例的结构示意图；
[0015]附图中：1、剥离腔；2、高压供液管；3、常压供液管；4、下喷嘴；5、排液口；6、回收液收集管道；7、回收液缓存罐；8、输送泵；9、第一过滤器；10、回收液储罐；11、电加热棒；12、温度传感器；13、第二过滤器；14、回收液供应泵；15、第一压力表；16、第一控制阀；17、回收液供应管道；18、新液储罐；19、新液供应泵；20、第二压力表；21、第二控制阀。
具体实施方式
[0016]下面通过具体实施例对本技术作进一步的详细描述。
[0017]如图1所示，一种去胶剥离机剥离液的回收再利用装置，包括新液储罐18和回收液储罐10，所述新液储罐18的出液口通过新液供应系统与去胶剥离机的高压喷嘴相连通，所述回收液储罐10通过回收液供应系统与去胶剥离机的下喷嘴4和常压喷嘴连通；附图中高压喷嘴和常压喷嘴并未示出，只是描述了供给高压喷嘴和常压喷嘴的高压供液管2和常压供液管3，常压喷嘴和高压喷嘴是通过各自的升降摆臂带动升降和摆动来切换喷淋模式的。升降摆臂、高压喷嘴、常压喷嘴以及下喷嘴4均为去胶剥离机中的常规结构。
[0018]所述去胶剥离机上的排液口5通过回收液收集系统与回收液储罐10连通，所述新
液储罐18和回收液储罐10上均设置有温控装置，所述新液储罐18上还设置有新液补充管路。所述新液储罐18上的温控装置包括电加热棒11，该电加热棒11固定在新液储罐18的底部，所述新液储罐18的中部设置有温度传感器12。当然，回收液储罐10上的温控装置结构与前述温控结构相同。
[0019]本实施例中，所述的排液口5数量为多个分布在去胶剥离机的剥离腔1的各个区域，方便更好的收集回收液，所述回收液收集管道6包括若干个与排液口5一一对应连通的回收分管道。
[0020]所述回收液收集系统包括回收液收集管道6和回收液缓存罐7，该回收液缓存罐7与去胶剥离机的排液口5之间形成高度差，所述所述回收液收集管道6一端与排液口5连通，所述回收液收集管道6的另一端与回收液缓存罐7的入口相连通，所述回收液缓存罐7的出口通过回收液连通管道与回收液储罐10连通，所述回收液连通管道上设置有输送泵8和第一过滤器9。
[0021]所述回收液供应系统包括回收液供应管道17，所述回收液供应管道17上设置有回收液供应泵14、第二过滤器1本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种去胶剥离机剥离液的回收再利用装置，其特征在于：包括新液储罐和回收液储罐，所述新液储罐的出液口通过新液供应系统与去胶剥离机的高压喷嘴相连通，所述回收液储罐通过回收液供应系统与去胶剥离机的下喷嘴和常压喷嘴连通；所述去胶剥离机上的排液口通过回收液收集系统与回收液储罐连通，所述新液储罐和回收液储罐上均设置有温控装置，所述新液储罐上还设置有新液补充管路。2.如权利要求1所述的一种去胶剥离机剥离液的回收再利用装置，其特征在于：所述回收液收集系统包括回收液收集管道和回收液缓存罐，该回收液缓存罐与去胶剥离机的排液口之间形成高度差，所述回收液收集管道一端与排液口连通，所述回收液收集管道的另一端与回收液缓存罐的入口相连通，所述回收液缓存罐的出口通过回收液连通管道与回收液储罐连通，所述回收液连通管道上设置有输送泵和第一过滤器。3.如权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘毅，陆瑞珠，
申请(专利权)人：江苏晋誉达半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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