一种化学气相沉积炉用导气座制造技术

本实用新型专利技术公开了一种化学气相沉积炉用导气座，该导气座包括用于与气相沉积炉气体分布器连接的上连接口、导气座筒体以及用于与进气软管连接的下连接口，其中，所述上连接口和下连接口分别设置在导气座筒体的上下两端。本实用新型专利技术所述的一种化学气相沉积炉用导气座，主要设计了用于连接进气软管的管螺纹，还有用于连接炉底的外螺丝管螺纹，本设计避免了因炉底振动导致锁紧螺母松动而造成气体泄漏。底振动导致锁紧螺母松动而造成气体泄漏。底振动导致锁紧螺母松动而造成气体泄漏。

【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积炉用导气座


[0001]本技术涉及导气装置
，特别涉及一种化学气相沉积炉用导气座。

技术介绍

[0002]化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术；
[0003]目前，在进行化学气相沉积时，需要向沉积炉内导入反应气体，不可避免需要设计导气装置来连接管路，其次，在化学气相沉积时，炉底振动容易导致锁紧螺母松动，而造成气体泄漏，为此，我们提出一种化学气相沉积炉用导气座。

技术实现思路

[0004]（一）解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种化学气相沉积炉用导气座，解决上述
技术介绍
中存在的技术问题。
[0006]（二）技术方案
[0007]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：
[0008]一种化学气相沉积炉用导气座，该导气座包括用于与气相沉积炉气体分布器连接的上连接口、导气座筒体以及用于与进气软管连接的下连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积炉用导气座，其特征在于，该导气座包括用于与气相沉积炉气体分布器连接的上连接口（1）、导气座筒体（2）以及用于与进气软管连接的下连接口（3），其中，所述上连接口（1）和下连接口（3）分别设置在导气座筒体（2）的上下两端。2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉用导气座，其特征在于：所述导气座采用圆钢制成。3.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志保，裴洋，樊乾国，侯光远，贾武林，杨浩，
申请(专利权)人：西安美兰德新材料有限责任公司，
类型：新型
国别省市：