温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种化学气相沉积炉用导气座，该导气座包括用于与气相沉积炉气体分布器连接的上连接口、导气座筒体以及用于与进气软管连接的下连接口，其中，所述上连接口和下连接口分别设置在导气座筒体的上下两端。本实用新型所述的一种化学气相沉积炉用导...
该专利属于西安美兰德新材料有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安美兰德新材料有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。