晶环供给装置制造方法及图纸

本申请提供了一种晶环供给装置，包括：上料机构，用于支撑晶环盒；载移平台，用于支撑并带动晶环移动，所述载移平台具有至少两个用于存储晶环的容置槽；取料机构；以及，取送机构。本申请提供的晶环供给装置，通过设置取送机构、取料机构和载移平台，并在载移平台上设置至少两个容置槽，以承托晶环，这样在使用时，取料机构可以将晶环盒中的满晶环推送到一个容置槽，并将另一个容置槽中的空晶环放置回晶环盒；取送机构可以将供晶位的空晶环移送到另一个容置槽，而将一个容置槽中满晶环移送到供晶位，以实现同时移送空晶环与满晶环，无需等待时间，效率高。效率高。效率高。

【技术实现步骤摘要】
晶环供给装置


[0001]本申请属于固晶
，更具体地说，是涉及一种晶环供给装置。

技术介绍

[0002]固晶机在固晶时，需要将晶圆上的晶片供给到邦头，以便安装晶片。晶圆一般安装在晶环中，通过晶环支撑晶圆。晶圆上晶片被取出后，形成空晶环。为便于描述，将存储有晶圆的晶环称为满晶环。当前晶环供给，一般是采用三轴移动平台驱动夹爪将供晶位的空晶环取出，移动放置到晶环盒中，再从晶环盒取出满晶环，移动放置到供晶位。这种结构，无论晶环从晶环盒取放，还是从供晶位取放，以及夹爪往复移动，都需要等待时间，效率低。

技术实现思路

[0003]本申请实施例的目的在于提供一种晶环供给装置，以解决相关技术中存在的晶环供给装置直接使用三轴移动平台驱动夹爪往复晶环盒与供晶位取放晶环，效率低的问题。
[0004]为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案是：提供一种晶环供给装置，包括：
[0005]上料机构，用于支撑晶环盒，并驱动所述晶环盒升降移动；
[0006]载移平台，用于支撑并带动晶环移动，所述载移平台具有至少两个用于存储晶环的容置槽；
[0007]取料机构，用于将所述晶环盒中的满晶环取放至所述载移平台，并将所述载移平台中的空晶环移送至所述晶环盒；以及，
[0008]取送机构，用于将供晶位的空晶环移送至所述载移平台，并将所述载移平台上的满晶环移送至所述供晶位；
[0009]所述上料机构与所述取料机构分别设于所述载移平台的相对两侧，所述载移平台设于所述取送机构的下方。
[0010]在一个可选实施例中，所述载移平台包括托盘和驱动所述托盘往返于所述取料机构与所述取送机构的直线驱动模块，各所述容置槽设于所述托盘上。
[0011]在一个可选实施例中，所述直线驱动模块包括底板、安装于所述底板上的导轨、安装于所述导轨上的滑块、安装于所述底板一端的驱动电机、安装于所述驱动电机上的主动轮、安装于所述底板另一端的从动轮、连接所述主动轮与所述从动轮的传动带和连接所述传动带与所述托盘的夹块，所述托盘安装于所述滑块上。
[0012]在一个可选实施例中，所述导轨为平行设置的至少两根，各所述导轨上分别安装有所述滑块，各所述滑块与所述托盘相连。
[0013]在一个可选实施例中，所述取料机构包括用于夹持晶环的活动夹、驱动所述活动夹的驱动器、支撑所述活动夹的滑板、支撑所述滑板的滑动块、驱动所述滑板移动的直线推行模块、引导所述滑动块移动的滑轨和支撑所述滑轨的支座，所述直线推行模块安装于所述支座上，所述直线推行模块的驱动端与所述滑板相连，所述滑动块安装于所述滑轨上，所
述驱动器安装于所述滑板上。
[0014]在一个可选实施例中，所述直线推行模块为气缸，所述滑板上安装有连接板，所述连接板与所述直线推行模块的驱动端相连。
[0015]在一个可选实施例中，所述上料机构包括用于支撑所述晶环盒的托板、与所述托板固定相连的升降板、支撑所述升降板的滑行块、引导所述滑行块升降的竖向轨、驱动所述升降板升降移动的直线推进模块和支撑所述直线推进模块的固定座，所述滑行块安装于所述竖向轨上，所述竖向轨安装于所述固定座上。
[0016]在一个可选实施例中，所述取送机构包括用于抓取晶环的抓取组件、支撑所述抓取组件的支架、支撑所述支架的升降座、驱动所述升降座升降移动的升降驱动模块、支撑所述升降驱动模块的安装座、驱动所述安装座往返于所述供晶位与所述载移平台的直线行进模块和支撑所述直线行进模块的支撑座。
[0017]在一个可选实施例中，所述抓取组件包括用于配合吸取晶环的多个吸盘和支撑多个所述吸盘的支撑盘，所述支撑盘与所述支架相连。
[0018]在一个可选实施例中，所述取送机构还包括用于感应晶环，以定位多个所述吸盘的感应器，所述感应器安装于所述支撑盘上。
[0019]本申请实施例提供的晶环供给装置的有益效果在于：与现有技术相比，本申请实施例的晶环供给装置，通过设置取送机构、取料机构和载移平台，并在载移平台上设置至少两个容置槽，以承托晶环，这样在使用时，取料机构可以将晶环盒中的满晶环推送到一个容置槽，并将另一个容置槽中的空晶环放置回晶环盒；取送机构可以将供晶位的空晶环移送到另一个容置槽，而将一个容置槽中满晶环移送到供晶位，以实现同时移送空晶环与满晶环，无需等待时间，效率高。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或示范性技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1为本申请实施例提供的晶环供给装置的结构示意图；
[0022]图2为本申请实施例提供的上料机构支撑晶环盒时的结构示意图；
[0023]图3为本申请实施例提供的取料机构的结构示意图；
[0024]图4为本申请实施例提供的载移平台的结构示意图；
[0025]图5为本申请实施例提供的取送机构的结构示意图。
[0026]其中，图中各附图主要标记：
[0027]100
‑
晶环供给装置；
[0028]10
‑
上料机构；11
‑
托板；12
‑
升降板；13
‑
直线推进模块；14
‑
固定座；15
‑
滑行块；16
‑
竖向轨；
[0029]20
‑
取料机构；21
‑
支座；22
‑
滑轨；23
‑
滑动块；24
‑
滑板；25
‑
直线推行模块；26
‑
活动夹；27
‑
驱动器；28
‑
连接板；
[0030]30
‑
载移平台；31
‑
托盘；311
‑
容置槽；32
‑
直线驱动模块；321
‑
底板；322
‑
导轨；323
‑
滑块；324
‑
夹块；325
‑
传动带；326
‑
驱动电机；327
‑
主动轮；328
‑
从动轮；
[0031]40
‑
取送机构；41
‑
抓取组件；411
‑
吸盘；412
‑
支撑盘；42
‑
支架；43
‑
升降座；44
‑
升降驱动模块；45
‑
安装座；46
‑
直线行进模块；47
‑
支撑座；48
‑
感应器；
[0032]91
‑
晶环盒；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶环供给装置，其特征在于，包括：上料机构，用于支撑晶环盒，并驱动所述晶环盒升降移动；载移平台，用于支撑并带动晶环移动，所述载移平台具有至少两个用于存储晶环的容置槽；取料机构，用于将所述晶环盒中的满晶环取放至所述载移平台，并将所述载移平台中的空晶环移送至所述晶环盒；以及，取送机构，用于将供晶位的空晶环移送至所述载移平台，并将所述载移平台上的满晶环移送至所述供晶位；所述上料机构与所述取料机构分别设于所述载移平台的相对两侧，所述载移平台设于所述取送机构的下方。2.如权利要求1所述的晶环供给装置，其特征在于：所述载移平台包括托盘和驱动所述托盘往返于所述取料机构与所述取送机构的直线驱动模块，各所述容置槽设于所述托盘上。3.如权利要求2所述的晶环供给装置，其特征在于：所述直线驱动模块包括底板、安装于所述底板上的导轨、安装于所述导轨上的滑块、安装于所述底板一端的驱动电机、安装于所述驱动电机上的主动轮、安装于所述底板另一端的从动轮、连接所述主动轮与所述从动轮的传动带和连接所述传动带与所述托盘的夹块，所述托盘安装于所述滑块上。4.如权利要求3所述的晶环供给装置，其特征在于：所述导轨为平行设置的至少两根，各所述导轨上分别安装有所述滑块，各所述滑块与所述托盘相连。5.如权利要求1
‑
4任一项所述的晶环供给装置，其特征在于：所述取料机构包括用于夹持晶环的活动夹、驱动所述活动夹的驱动器、支撑所述活动夹的滑板、支撑所述滑板的滑动块、驱动所述滑板移动的直线推行...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄岗，曾国鹏，严楚雄，
申请(专利权)人：深圳新益昌科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：