晶元位置纠偏方法、纠偏装置、电子设备及存储介质制造方法及图纸

技术编号:41564166 阅读:14 留言:0更新日期:2024-06-06 23:46
本申请公开了一种晶元位置纠偏方法、纠偏装置、电子设备及存储介质,晶元位置纠偏方法包括:获取晶元的晶元图像,晶元包括预先标记的基准晶元及多个待吸取晶元;当根据晶元图像确定当前待吸取晶元出现位置偏移时,根据基准晶元对当前待吸取晶元进行位置纠偏。本方法实现了基于预先标记的基准晶元,自动对出现位置偏移的当前待吸取晶元进行位置纠偏,无需人工对当前待吸取晶元进行位置纠偏,提高了对当前待吸取晶元进行位置纠偏的纠偏效率。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于半导体,尤其涉及一种晶元位置纠偏方法、纠偏装置、电子设备及存储介质


技术介绍

1、在对晶元进行封装时,通常需要对吸附晶元的蓝膜进行扩张处理,晶元在蓝膜上按照晶元生产商提供的晶元分布图进行分布,以便根据晶元分布图对晶元进行吸取。

2、目前,晶元在蓝膜扩张过程中,晶元在蓝膜上的实际分布位置较晶元在晶元分布图中的理论分布位置,容易出现较大偏移,因此需要对出现位置偏移的晶元进行位置纠偏。

3、然而,当前蓝膜扩张导致晶元出现位置偏移时,主要依赖人工对出现位置偏移的晶元进行位置纠偏,导致对晶元进行位置纠偏的纠偏效率较低。


技术实现思路

1、有鉴于此,本申请实施例提供了一种晶元位置纠偏方法、纠偏装置、电子设备及存储介质,以克服以上现有技术的问题。

2、第一方面,本申请实施例提供了一种晶元位置纠偏方法,包括:获取晶元的晶元图像,晶元包括预先标记的基准晶元及多个待吸取晶元;当根据晶元图像确定当前待吸取晶元出现位置偏移时,根据基准晶元对当前待吸取晶元进行位置纠偏

3、本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶元位置纠偏方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的晶元位置纠偏方法,其特征在于,所述当根据所述晶元图像确定当前待吸取晶元出现位置偏移时,根据所述基准晶元对所述当前待吸取晶元进行位置纠偏,包括:

3.根据权利要求2所述的晶元位置纠偏方法,其特征在于,所述根据所述晶元搜索路径对所述当前待吸取晶元进行位置纠偏,包括:

4.根据权利要求1至3中任一项所述的晶元位置纠偏方法,其特征在于,所述当根据所述晶元图像确定当前待吸取晶元出现位置偏移时,根据所述基准晶元对所述当前待吸取晶元进行位置纠偏之前,所述晶元位置纠偏方法,还包括

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【技术特征摘要】

1.一种晶元位置纠偏方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的晶元位置纠偏方法,其特征在于,所述当根据所述晶元图像确定当前待吸取晶元出现位置偏移时,根据所述基准晶元对所述当前待吸取晶元进行位置纠偏,包括:

3.根据权利要求2所述的晶元位置纠偏方法,其特征在于,所述根据所述晶元搜索路径对所述当前待吸取晶元进行位置纠偏,包括:

4.根据权利要求1至3中任一项所述的晶元位置纠偏方法,其特征在于,所述当根据所述晶元图像确定当前待吸取晶元出现位置偏移时,根据所述基准晶元对所述当前待吸取晶元进行位置纠偏之前,所述晶元位置纠偏方法,还包括:

5.根据权利要求4所述的晶元位置纠偏方法,其特征在于,...

【专利技术属性】
技术研发人员:周赞王师郭奇张攀
申请(专利权)人:深圳新益昌科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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