【技术实现步骤摘要】
本申请属于半导体固晶设备，更具体地说，是涉及一种进出料装置及固晶设备。
技术介绍
1、固晶基板上料方式一般分为两种，一种是将基板放入料盒上料，一种是基板叠放上料。其中，尺寸较大的基板难以直接从皮带传动机构直接平稳地传输到上料工位上，并且也难以平稳地直接从下料工位放置到流动的皮带传动机构上，所以在上下料的过程中基本需要采用皮带传动配合手动搬运的方式，从而导致整个加工工序自动化程度不高，导致整体加工效率低。同时，由于人工上下料的过程中会对物料取放位置的判断出现细微偏差，从而在将物料从皮带传动机构手动搬运到上料工位或者从下料工位手动搬运到皮带传动机构的过程中，上料和下料工序的稳定性不高，导致生产的产品质量差。
技术实现思路
1、本申请实施例的目的在于提供一种进出料装置，以解决现有技术中固晶设备的进出料装置由于需要皮带传动机构配合手动搬运的方式完成上料和下料工序，导致整个加工工序的加工效率低和生产的产品质量差。
2、为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：提供一种进出料装置，包括：传送...
【技术保护点】
1.一种进出料装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的进出料装置，其特征在于：所述第一料叉块上设有用于辅助所述第一料叉块取料的第一吸盘，所述第二料叉块上设有用于辅助所述第二料叉块取料的第二吸盘。
3.如权利要求2所述的进出料装置，其特征在于：各所述第一料叉块上的所述第一吸盘的数量为多个，多个所述第一吸盘沿所述第一料叉块长度沿伸方向排列设置；各所述第二料叉块上的所述第二吸盘的数量为多个，多个所述第二吸盘沿所述第二料叉块长度沿伸方向排列设置。
4.如权利要求3所述的进出料装置，其特征在于：所述第一料叉块靠近所述传送机构的一端设有...
【技术特征摘要】
1.一种进出料装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的进出料装置，其特征在于：所述第一料叉块上设有用于辅助所述第一料叉块取料的第一吸盘，所述第二料叉块上设有用于辅助所述第二料叉块取料的第二吸盘。
3.如权利要求2所述的进出料装置，其特征在于：各所述第一料叉块上的所述第一吸盘的数量为多个，多个所述第一吸盘沿所述第一料叉块长度沿伸方向排列设置；各所述第二料叉块上的所述第二吸盘的数量为多个，多个所述第二吸盘沿所述第二料叉块长度沿伸方向排列设置。
4.如权利要求3所述的进出料装置，其特征在于：所述第一料叉块靠近所述传送机构的一端设有第一倒角结构；所述第二料叉块靠近所述传送机构的一端设有第二倒角结构。
5.如权利要求1所述的进出料装置，其特征在于：所述传送机构包括有传送组件和传送台，所述传送台可活动地设置在所述传送组件上，所述传送组件用于带动所述传送台沿第一方向和第二方向来回移动。
6.如权利要求5所述的进出料装置，其特征在于：所述传送台为真空吸附平台，所述传送台能够通过真空吸附的方式对物料进行吸附定位。
7.如权利要求1所述的进出料装置，其特征在于：所述第一驱动组件包...
【专利技术属性】
技术研发人员：严楚雄，黄岗，曾国鹏，
申请(专利权)人：深圳新益昌科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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