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本申请属于半导体固晶设备技术领域，本申请提供了一种进出料装置及固晶设备，进出料装置包括传送机构、上料机构和下料机构，传送机构的两侧分别设有上料工位和下料工位；上料机构与上料工位对应设置，上料机构包括有第一料叉组件和第一驱动组件，第一驱动组件...
该专利属于深圳新益昌科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳新益昌科技股份有限公司授权不得商用。

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